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本文讨论了对积分散射测量的超光滑表面均方粗糙度进行修正的问题,得出结论:可以直接依赖于散射理论从积分散射测量确定表面粗糙度值。 相似文献
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本文介绍一种利用激光在粗造表面散射中的镜反射部份进行高精度球面粗糙度测量的方法,这种方法原理可靠,仪器结构简单、成本低,对环境要求不高,并可在不进行光路调整的前提下,对不同直径的钢球进行测量,适合于生产现场的检测. 相似文献
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本文介绍了一种新型的测量超光滑表面粗糙度的共光路偏振干涉系统。该系统以双折射透镜作为分光元件;采用偏振干涉方法和偏振接收方法对被测光学表面高度变化,实现高灵敏度、非接触探测,垂直分辨率为0.1nm。给出了系统结构,叙述了测量原理。 相似文献
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表面粗糙度的光学测量方法,具有非接触、精度高和响应快等优点,致使研究十分引人注目,发展极快。本文简单介绍了几种典型的光学测量原理和方法及一些商品化的仪器。 相似文献
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齿轮轮齿表面的加工方法很多,因加工方法不同而形成了各种加工纹理(图1中列举了几种常见的齿面加工纹理)。齿面的形状也较复杂。加工纹理的多样性和表面形状的复杂性给齿面粗糙度的测量带来了很多困难。目前国内外对齿面粗糙度的检查和测量有下列几种常用方法。 相似文献
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照射在样本表面的激光束随 表面粗糙度的不同,反射光的密度分布将不同,表面粗糙度增大时,反射光的密度将被扩展。本根据这一原理,提出一种使用激光束快速测量表面粗糙度的无触点光学方法。该方法利用高斯曲线的系数,通过测量反射光的密度分布曲线的宽度,由高斯曲线系数的标准差,利用GCP测量表面粗糙度,给出了测量结果。 相似文献
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本文介绍在微机控制下测量长深孔任意位置的表面粗糙度的实用测量系统。适用于Φ38以上各种孔径系列的测量,测孔深度可达20米。 相似文献
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