线位移传感器综合校准台的研制

一种可实现大测量量程工业用线位移传感器综合校准台,其按照JJF1305-2011《线位移传感器校准规范》的校准方法,利用激光干涉仪测量该装置测量台的位移变化值,并尽量减少阿贝误差和余弦误差,将测量值与被校准线位移传感器的位移显示值进行比较,经数据处理得出该位移传感器的基本误差、回程误差、重复性等校准结果,实现了对大测量量程工业用线位移传感器的校准。     

一种便携式激光位移传感器校准装置

企业生产在线检测中使用许多激光位移传感器,它能够精确非接触测量被测物体的位置、位移等变化。为了能够实现激光位移传感器的现场校准,研制了一种便携式激光位移传感器校准装置,可以在现场检测,无需将其整体拆卸送检,并结合激光位移传感器尺寸特性,设计研制出符合其测量要求的装置微动台,可以任意方向调节位置。实验证明,本装置满足激光位移传感器的校准需求,解决了无法携带校准设备的难题,可以大力推广,具有较好的应用前景。     

激光位移传感器校准方法研究

文章分析了常见的激光位移传感器校准方式,基于激光位移传感器的工作原理和JJF 1305-2011,设计了一套校准激光位移传感器的标准装置并研究了相应的校准方法,最后在实验室环境下开展了相关的校准实验及其示值误差的测量不确定度评定.     

高精度位移传感器动静态溯源和校准装置的研制

介绍了高精度位移传感器的动、静态特性溯源和校准原理及其标准装置的结构组成,并对它进行了实验验证.该装置可根据位移传感器在实际测量中的使用状态以及幅频响应范围,生成相应幅频下的标准动态信号并产生标准振动,经过同步采集及频谱分析,可得到在不同频率下相对激光基准的幅相误差.其生成的标准动态信号量值可直接溯源到激光波长,并可对位移传感器实现0～30 μm下的任意间隔的线性校准和1～100 Hz下的动态校准,它还可用于在线传感器的动静态特性的校准.     

高精度电容式位移传感器校准方法的研究

介绍一种使用激光干涉仪结合单轴精密位移台对电容式位移传感器进行校准的方法。建立了一套高精度电容式位移传感器校准装置,利用单轴精密位移台位移与电压之间的关系产生纳米级的微小位移,同时使用激光干涉仪和待校准电容式位移传感器测量单轴精密位移台的微小位移。该装置可实现电容式位移传感器线性度、测量重复性以及测量分辨率的校准。实验验证了此校准方法的准确性和实用性,对影响校准的主要因素进行了分析,其综合不确定度为2.2 nm。     

位移传感器测量方法

针对位移传感器的检定校准,提出一种采用测长机测量位移传感器示值误差的新方法,可以实现对拉线位移传感器、激光位移传感器、光栅式或电感式位移传感器等各类位移传感器的校准,并应用此方法进行了实例测量和误差分析,为实际应用提供指导.     

主轴回转误差分析仪校准方法北大核心CSCD

针对超精密机床主轴回转误差分析仪校准难的问题,分析了主轴回转误差分析仪的系统组成及测量原理,提出了一种基于示值误差、线性度、重复性等主要计量特性的校准方法;搭建了一种专用的校准装置,该装置采用纳米微动台进行位移驱动,采用高精度激光干涉仪作为计量标准,测量线符合阿贝原则,能够在普通实验环境条件下实现:位移范围±1mm内最佳测量能力优于10 nm,10 min内示值稳定性优于2 nm;进行了主轴回转误差分析仪校准试验,给出了不确定度评定方法。该校准方法及装置能够满足主轴回转误差分析仪以及各种纳米级位移传感器及仪器的溯源需要。     

光谱共焦传感器多参数高准确度校准

针对高准确度光谱共焦传感器缺乏相应校准装置及方法的问题,提出了一种基于激光干涉测量的校准方法,并研制了相应的校准装置。一方面,提出了一种波长倍数间隔测量法,通过位移反馈控制将位移间隔设置为激光波长的整数倍,以减小激光干涉仪非线性误差对测量的影响;另一方面,提出了测点修正算法,消除了受检点处位移标准值因校准装置定位准确度限制不重合对测量的影响。实验结果表明：在0～100μm的测量范围内,示值误差为±23 nm,重复性为5 nm,示值误差测量结果的扩展不确定度U₂=7.0 nm(k=2)。构建的校准装置在0～50 mm的测量范围内的示值误差测量结果不确定度为U₁=3.0 nm+2×10^-7L(k=2)。     

基于精密测长仪的线位移传感器校准技术研究

介绍了一种基于精密测长仪的线位移传感器校准装置。针对工作任务的要求,结合技术基础所计量中心实验室的设备资源对开展校准工作的可行性进行了分析。搭建了基于精密测长仪的线位移传感器误差校准装置并建立了相应校准方法。最后通过对误差结果的测量不确定度分析验证了整个校准方案的可行性。     

基于真空环境的位移传感器校准系统精度研究北大核心CSCD

介绍了基于真空环境下位移传感器静态校准系统原理及其精度验证。传统的位移传感器校准装置和方法都在大气环境下进行,影响因素较多,测量精度也不易提高。该装置通过刚性传动装置,使真空中的位移与空气中的位移保持一致,由位移传感器测得空气中的位移值,由单频激光干涉仪通过迈克尔逊光学系统测得真空中的位移,两者之差,即是传感器的示值误差。最后,按照JJF 1305—2011的校准要求,对被测传感器进行了精度校准。     

位移传感器校准技术研究

介绍了一种直线位移传感器校准装置.该系统以自行研制开发的高准确度单频激光干涉仪为长度标准,通过可编程位移发生装置的配套使用实现了直线位移传感器的校准.     

拉线位移传感器校准方式研究

根据拉线位移传感器的基本原理和JJF 1305-2011《线位移传感器校准规范》,本文研制了基于双频激光干涉仪的专用校准装置,提出了相应的校准方法,实现了此类传感器的量值溯源,并对其示值误差进行了相应的测量不确定度评定.研究结果表明,该校准装置操作简单、精度高、稳定性好,能满足常见拉线位移传感器量值溯源的需求.     

线激光位移传感器像素当量标定方法

为了满足线激光位移传感器的应用测试需求,提出一种基于高度块的线激光位移传感器像素当量的现场标定方法。其中,高度方向上的像素当量利用台阶高度进行标定,以修正厂家设定的像素当量的线性误差;宽度方向上的像素当量则利用台阶块结合传感器的横向移动位移的计算方法得到。考虑到线激光位移传感器可能存在安装倾斜误差,利用台阶块宽度在不同位置的高度差对倾斜角进行了标定,并修正了由倾斜角引入的高度测量误差。经实验证明,本文提出的方法很好地解决了线激光位移传感器在多位置测量时轮廓不连续的问题。     

火炮光栅测径仪校准装置的研制与验证

以靶场火炮光栅测径仪的现场校准为需求,根据测径仪的工作原理和结构,本文提出一种光栅传感器位移量校准方法,设计和研制校准装置,并对校准装置进行多次测量.经验证,该方法设计合理、科学可行,该装置便捷、可靠,可实现光栅传感器在受力环境下位移量的校准,保证测径仪的测量准确度,为武器系统身管寿命评价提供可靠数据.     

一种新的拉线式位移传感器校准方法及装置

对拉线式位移传感器校准提出了一种利用光栅测量仪器替代传统校准设备的新方法,并且设计了用于该方法的校准装置。本文分析了原方法的技术要求及存在的问题,提出了针对性的解决方法,对新方法的技术性能进行分析,并对测量不确定度进行评估。该方法可以在保证拉线式位移传感器量值溯源需要的前提下,克服原方法设备昂贵、操作复杂等缺点,为用户带来诸多便利,为拉线式位移传感器的校准提出了一种新的思路。     

π尺直径示值误差校准方法的研究

该文设计一种在钢卷尺检定台上通过标准钢卷尺和激光干涉仪结合,制作记号点,对π尺示值误差进行校准的方法,该方法简单可靠,可有效提高π尺校准的效率,降低校准成本。     

垂直度检测尺校准装置的研制

垂直度检测尺是建筑行业进行工程质量检测常用的计量器具,为保证垂直度检测尺计量性能的准确可靠,研制了一种垂直度检测尺校准装置。该装置采用可靠的技术手段,对垂直度检测尺的零值误差、示值误差和示值变动性进行校准。文章重点介绍了该装置的结构组成、设计工作原理、主要技术参数及校准方法。     

垂直度检测尺校准装置改进设计及实验验证

从垂直度检测尺实际校准过程中发现的问题入手,对垂直度检测尺示值误差校准装置存在的问题进行了实验研究。依据垂直度检测尺校准原理和JJF 1110-2003《建筑工程质量检测器组校准规范》中对垂直度检测尺的校准要求,对校准装置中的垂直度检测尺悬挂装置进行了改进设计。该改进设计方案减少了校准误差的引入,提高了校准准确度,并完善了校准装置的功能。实验结果表明,对校准装置的改进设计是可行的,其为其他使用该校准装置的同行提供了一种解决方案。     

高精度位移传感器测量

利用高精度的F-P激光干涉仪,研制了一套用于高精度位移传感器的校准装置,可以校准示值误差为十几个纳米到几十个纳米的高精度位移传感器.测量原理是利用F-P激光干涉仪的灵敏度高、测量精度高等特点,将干涉仪和被测传感器同时测量放置在精密位移工作台上,通过比较激光干涉仪移动镜的位移量和被测传感器的位移量间的差异,得出被测传感器的线性,整个测量过程完全由计算机控制.该系统测量范围为0～25mm,测量不确定度为6 nm+l/2 nm(k=1).     

一种基于全自动线纹尺检定仪的π尺示值误差校准方法探索

本文阐述了使用全自动线纹尺检定仪进行π尺示值误差校准的原理和方法,并比较了用全自动线纹尺检定仪、标准钢卷尺及激光干涉仪进行π尺示值误差校准的异同.实验结果证明,该测量方法操作简单、精度高、测量结果准确可靠.