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补偿传感器热漂移的方法很多,采用电阻补偿是一种简便而常用措施,但补偿电阻的计算非常复杂,如果用计算机来解决,问题就容易多了。 相似文献
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本工作提出的具有频率输出的硅压力传感器是建立在CMOS环形振荡器基础上的,该环形振荡器是放置在传感器芯片的薄膜上的.由于压力压阻效应,施加的压力在薄膜上产生的机械应力改变了环形振荡器中MOSFET载流子的迁移率,从而MOSFET的漏电流及相应的环振频率成为压力的函数. 相似文献
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目前各行业应用的多数压力变送器是利用压阻式扩散硅压力传感器作为信号的传送环节。但由于技术等多方面限制的原因,压阻式压力传感器易受现场温度变化的影响,从而产生零点漂移。文章针对此问题进行了探讨。 相似文献
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引言典型的半导体压力传感器变换所加的压力为一“低电平”电压信号,现在的技术能在单片硅集成电路(IC)上使传感器的输出温度补偿和放大到较高的电压电平。在芯片上温度补偿和信号调节提供一有效的增加量值到基本的读出器件时,必须考虑如何使最后的输出和接口做进一... 相似文献
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针对SiC高温MEMS压力传感器易受温度影响,产生零点漂移、测量误差增大等问题,设计了一种温度控制系统,根据科恩-库恩公式建立了系统的数学模型,采用参数自整定PID控制算法,克服了纯PID控制有较大超调量的缺点,实现了一个温度控制系统。利用Matlab仿真软件的Similink模块建立系统的仿真模型,通过仿真和测试验证系统满足设计要求。解决了大温度范围下压力传感器难以补偿的问题,使得压力传感器在高温环境下的应用得以实现,提高了压力传感器的稳定性。 相似文献
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