非接触高准确度表面粗糙度测量仪

本文介绍一种具有纳米级测量准确度的非接触光探针扫描轮郭仪，其分辨力为１ｎｍ，量程１０μｍ。     

触针式表面粗糙度测量仪整机性能指标的分析与测量

一、概述 目前,国内外轮廓法触针式表面粗糙度测量仪按其传感器的类型和测量方法的不同,主要可以分为如下几种形式:按接触式测量方式工作的仪器有电感式表面粗糙度测量仪和压电式表面粗糙度测量仪,按非接触式测量方式工作的仪器有激光光触针式表面粗糙度测量仪等。我国在1985年参照国际标准ISO1880—1979《轮廓法表面粗糙度测量仪—接触(触针)式轮廓转换     

非接触表面粗糙度测量仪

本文介绍了一种以半导体激光器作为光源，ＣＣＤ作为接收器件的光探针表在粗糙度测量仪，对仪器的测量原理，仪器的结构进行了讨论，用该仪器对标准样品进行了实际测量，得到了与实际相符的结果。     

基于光聚焦探测法的表面粗糙度非接触测量系统

本文介绍了基于光聚焦探测法的表面粗糙度非接触测量系统。     

一种新型便携式双触针表面粗糙度测量仪

本文介绍了一种新型的表面粗糙度测量仪，该仪器具有精度高，便于携带，同广等特点。本文分析了该测量仪的测量原理，同时人出了该测量仪的电路结构，工作过程和技术指标。     

光探针式表面形貌测量技术的研究

本文针对机械探针是粗糙度测量仪的不足提出并采用基于差动像散法的光探针技术测量表面粗糙度，采用小波包分析法分离表面粗糙度信号。研究表明该系统不仅测量分辨率高，而且对工件表面无任何划伤，尤其适合对光盘等含有信息的表面及软、脆材料制作的高光洁表面进行形貌测量。对Ra为0．012μm的粗糙度样板进行测量，其测量重复性为2％。     

非接触表面轮廓测量仪的研制

本文研究了一种始终使得光学测头处于焦点位置,以正交衍射光栅干涉位移传感器为位移测量系统,以压电陶瓷作为驱动部件的非接触表面轮廓测量仪,用于实现对零件表面粗糙度,波度,表面形状误差和尺寸的综合测量。论文着重介绍了该仪器的整体结构,测量原理及衍射光栅干涉计量系统的工作原理。     

便携式双触针表面粗糙度测量仪

本文介绍一种新型的利用电感原理的触针式表面粗糙度测量仪。文中论述了该测量仪的测量原理、电路结构、工作过程和技术指标,实验结果。     

双针表面形貌测量系统的研究

介绍一种新颖的双针表面形貌测量系统 ,它将光学位移传感器和触针位移传感器巧妙地结合在一起 ,从而具有接触和非接触两种测量手段。与单一测量模式的表面形貌测量仪器相比 ,它的性能价格比更高 ,应用范围更广。该测量系统已投入实用 ,接触测量模式下其垂直测量范围和垂直分辨率分别是 1mm和 10nm ,非接触测量模式下分别是 5 0 0 μm和 3nm。实践证实 ,该系统使用灵活 ,可靠性高     

光针式轮廓仪的研制

介绍了一种新型的基于动态聚焦探测法的光学轮廓仪,该仪器可实现表面形貌的快速、非接触测量,其最大测量范围为５００μｍ,最小分辨率可达１０ｎｍ,文中详细地描述了该轮廓仪的工作原理、关键技术的实现及其应用。     

一种新型便携式双触针表面粗糙度测量仪

本文介绍一种新型便携式双触针表面粗糙度测量仪的设计原理与方法，虚拟仪器软件界面及实验结果。     

表面形貌焦点跟踪测量方法的研究

介绍了一种新型的基于聚焦探测法的自然焦点跟踪传感器,该传感器可实现表形貌的快速、非接触测量,其垂直测量范围为５００μｍ,最高分辨率为３ｎｍ。中详细叙述了该传感器的工作原理、关键技术的实现及其应用。     

光纤式表面粗糙度测量仪的研制

本文论述了光纤表面粗糙度测量仪研制过程中关键问题的解决方法，对非线性特性的参数计算，零点漂移，信号噪声，不同加工表面特性差异的处理都给出了完美的解决方法。该仪器以光散射理论为测量原理，用光纤为传输媒介，并用单片机８０９８进行计算，数据处理和测量智能控制。     

触针式表面粗糙度测量仪(三十五)

第三十五讲　触针式表面粗糙度测量仪1结构和工作原理触针式表面粗糙度测量仪(以下简称仪器)通常由底座、传感器、驱动器、电子信号处理装置、计算机、打印机等部分组成。图1为常用仪器结构示意图。仪器驱动箱可通过顶部水平调节钮作±10°的水平调整,内部安装了一个40mm行程的高精度直线基准导轨,传感器可沿导轨做直线运动。仪器配     

毛化表面的三维表面形貌在线测量仪

表面形貌影响着毛化钢板的使用性能和轧制工艺,在冷轧毛化钢板的生产中要实时监控.本文介绍了一种便携式的三维表面形貌测量仪,具有三维形貌测量和图像分析的功能,能够在线测量毛化钢板和轧辊的表面形貌.接触式位移传感器基于激光干涉原理,结合二维水平位移工作台,可实现大面积高精度的三维形貌测量.同时分析了该仪器的技术性能,并进行了试验测试,给出了测量结果.     

表面形貌光学法测量技术

介绍了在表面微观形貌测量中常用的光学测量方法，分析了它们各自的原理和优缺点，最后对光学法表面微观形貌测量技术的发展作了简要评述。     

微纳米级表面微观几何形貌和粗糙度特性测量方法

概述微纳米级表面微观几何形貌和粗糙度特性的几种测量方法和测量原理,如触针法、光学法、原子力法等,并介绍市场上在用的几类代表性表面形貌商用仪器(如粗糙度仪、轮廓仪、干涉仪、测量显微镜等)的特点、性能指标及应用范围,对微纳米级表面质量测量和评价有参考价值.     

基于聚焦探测法的非接触表面形貌测量仪的研究

介绍了一种基于光驱聚焦探测技术的光触针式表面形貌测量系统。测量光束聚焦于被测表面上,当被测表面高度变化时,Z向精密位移工作台在步进电机和压电陶瓷的粗、精两级驱动下,使得工件沿垂直方向移动,让焦点始终聚焦在被测表面上,工作台的位移反映了工件表面高度的变化,该位移量由衍射光栅干涉位移传感器测得。该系统的垂直分辨力为1nm,垂直测量范围为2mm左右。