微加工技术之现状

微型化是制造业未来10年发展面临的挑战和动力。人类社会的进步,特别是人们对于日用消费新产品的需求,促使精密光机电技术迅猛发展。现有的技术虽部分已经老化,但仍然是改进和革新产品的基础技术。     

PCR生物芯片微加工技术的研究

聚合酶链式反应（PCR）在生命科学研究及诸多相关领域已经得到了广泛应用。PCR生物芯片是利用微加工技术制作的能够实现PCR扩增反应的微装置。文中给出了基于MEMS技术的PCR生物芯片的微加工技术及加工方法，特别对集成在芯片上的加热器及温度传感器的微加工方法进行了重点介绍，并对它们的特性进行了分析比较。最后预测了PCR生物芯片微加工技术的发展方向及要克服的主要难题。     

超声波微加工间隙在线测控技术研究

硬脆材料和电难以加工材料如玻璃、陶瓷、人造宝石、半导体基板的微型孔、槽及微结构,通常采用超声波通过工具振动和工作液中磨粒的作用达到微加工的目的.为了保证加工精度和提高加工效率,工具和工件之间应保持一定的间隙.控制间隙的大小和精度直接影响加工质量.本文提出超声波谐振来测量工具与工件之间的间隙,实现加工过程的在线控制技术.     

新型微加工专用激光系统

近些年，微加工的发展趋势越来越引起人们的关注。微加工工艺一般均采用激光加工技术，如微切削、微刻蚀、微钻削、微观构造等。就激光微加工系统而言，激光器的性能指标会直接影响到微加工产品的质量。高脉冲能量，短脉冲，高质量光束的激光源是激光微加工应用的必备条件。德国TRUMPF公司研发出一种专门适用于微加工的激光加工系统。     

微加工气相色谱柱制备技术研究

由于气相色谱具有突出的分离特点,高速或快速气相色谱在现场快速分析检测中的应用已经屡见不鲜。仪器的微型化对于现场分析具有重要意义。色谱柱是色谱仪器中的关键部件,本文分析近年来气相色谱微型化中的微加工色谱柱发展,并制备一种硅-玻璃型的微加工色谱柱,获得良好分离效果,本文也对制备过程中各种问题进行深入探讨。     

微槽激光电解组合微加工研究

微槽结构作为微型结构的基本单元,具有增加散热面积、存储润滑剂和减少阻力等功能,多用于大热流密度器件的散热或表面润滑,但其存在加工尺寸小、精度要求高以及加工难度大等问题。为了实现微槽的高效高精度加工,提出了一种激光电解组合微加工方法,并搭建了纳秒激光加工装置和数控微细电解加工装置;利用激光烧蚀快速加工出微槽结构的基本形貌,再通过微细电解的方式去除其表面再铸层及飞溅颗粒,提高其表面精度和表面性能。通过理论研究以及优化加工参数试验,加工出长度为400μm,宽度为220μm,深度为120μm的微槽结构。激光电解组合微加工微槽的表面粗糙度由激光加工后的Ra 5.36μm降低至Ra 1.23μm;激光电解组合微加工的加工效率是微细电解加工的4.26倍。     

激光微加工变焦系统的控制算法研究

提出了一种应用于激光微加工的变焦系统控制的算法。综合利用插补算法和变焦方程,使变焦系统中各运动镜头组获得相应的线性或非线性精确位移。并且控制运动镜头组以合理和稳定的速度移动。保证了通过掩模板的准分子激光光斑的连续和稳定的变化。变焦系统可以不更换掩模板而刻蚀出大小连续变化,形状相似的复杂结构。提高了准分子激光微加工的复杂度和分辨率。     

注意微加工中的每个细节

Matrix公司制造用于微型元件生产用的注塑模具,这种模具具有我们所看不到的功能特点。     

浅谈高速激光微加工的重要性

随着科学技术的发展,高速激光微加工在现代社会中起着非常重要的作用.本文概述了高速激光微加工技术的原理、特点和发展前景.高速激光微加工技术的最大优点是直写加工,极大地简化了微型机械的加工过程,在各个领域都有非常广泛的应用,是现代加工技术发展的重要趋势.     

基于原子力显微镜(AFM)的微加工系统

目前原子力显微镜(AFM)已经成为纳米加工领域中一种重要的加工手段,但由于其自身扫描陶管及针尖等因素的影响,AFM的微加工能力在很大程度上受到限制。利用三维微动工作台结合原子力显微镜以及锋利的金刚石针尖组成微加工系统,通过编程获取微结构的轮廓,选择RS-232串口作为通讯方式,发送字符串命令控制工作台的运动实现预定的轨迹,从而消除了扫描陶管运动范围有限且存在漂移和滞后的影响,解决了氮化硅和单晶硅针尖加工材料范围有限的问题,提升了AFM的加工能力,并加工出较为复杂的微结构及微传感器。实验表明这是一种可行的微加工方法。     

表面微加工中镍的微电铸

介绍了微电铸工艺的基本原理以及脉冲电铸的特点.搭键了电铸实验系统,通过对Watts镍电解液的成分实验得到了一种性能较好的成分配比.利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中的悬臂梁、挡板、驱动电极等MEMS结构,得到了一组较有价值的电铸参数,对电铸中存在的问题进行了阐述.实验结果表明,采用方波脉冲电铸能够得到晶粒粗细均匀、硬度和应力符合设计要求的悬臂梁等MEMS结构.     

高速激光微加工在新能源锂电池上的应用研究

随着时代的发展,科技的进步,我国在很多领域的发展上取得了全新的发展成效.在此种社会背景下,我国的电池技术产业取得了较好的发展,新能源锂电池作为我国电池技术产业中的一项重要技术产物,深受各界人士的关注.作为现代化社会背景下的一项商品化的科技产品,锂电池已经在市场上有着良好的发展口碑,但需要注意的是,在制造锂电池的过程中经...     

CO2激光微加工实验台定位精度预测模型研究

为了提高CO2激光微加工实验台定位精度,提出基于LSSVM的直线电机定位精度误差回归建模和预测方法.采用径向基核函数的LSSVM对不同速度和加速度下的直线电机伺服系统定位误差进行了预测.研究结果表明,采用径向基核函数的LSSVM能提高预测精度,取得较好的预测结果.     

利用MEMS综合微加工方法实现的非全硅微陀螺技术

本文的主要内容包括(1)简要介绍了硅微型陀螺仪的分类及其基本工作原理,包括硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪、振动轮式微机械陀螺仪、硅微型框架驱动式陀螺仪.(2)详细介绍了以微陀螺为核心的微型惯性测量系统的组成,在应用中的关键技术,主要问题及解决途径,并展望了微型惯性测量系统的发展前景.(3)提出了利用MEMS综合微加工方法实现的非全硅微陀螺技术.     

微加工用的新型刀具

虽然微加工的部件可能很小,但刀具和加工选择方案却多种多样。由于微加工带来了各种挑战——紧密的公差、严格的质量要求、难以加工的材料,因此选择合适的方法非常关键。而优化小部件加工的计划可节省材料、缩短周期时间、降低刀具成本、减少机床闲置时间和提高部件质量。     

超精密切削的复杂曲面微加工研究

随着微机电和纳米技术的快速发展,复杂形面微小零件的超精密加工显得越来越重要。本文通过对复杂曲面超精密加工的研究,针对金属材料制作的复杂形面微小零件的超精密切削工艺进行了深入研究。     

制表业的技术后盾SIAMS精密微加工技术展览

近20年来,SLAMS展（salons industriels à Moutier,Suisse）通过自己强劲的实力和业界的声望,令瑞士汝拉山区内的精密制造产业更加出名。     

电化学微加工技术的新进展及关键技术

将电化学加工的原理应用于微加工领域,具有可加工材料的范围广、无宏观加工作用力、工具阴极无损耗、加工表面质量好、无内应力、工艺多样化、可实现批量加工和三维加工等许多优点。从加工原理出发,分析了实现电化学微加工的前提条件。从基础理论研究和应用技术研究两个方面介绍了近年来国内外在电化学微加工领域的一些新进展,总结了实现电化学微加工的关键技术。     

通过微加工 加速模具原型的生产

本文介绍了一家医疗行业的微型硅胶元件模具制造商,他们如何通过一种保守的微加工方法（图1）,使其能够以更快的速度交付模具原型产品。