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衍射微透镜列阵掩模制作软件的设计 总被引:1,自引:0,他引:1
研究了衍射微透镜列阵的设计方法及CIF格式掩模数据的数据结构与生成方法,设计了一套产用软件,采用图形切割、跟踪计算等方法,解决了生成子孔径为矩形、六 方形及圆环扇形的衍射微透镜列阵掩模的问题,满足了实际系统对衍射微透镜列阵子孔径形状的各种需求。 相似文献
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《真空科学与技术学报》2016,(9)
为了避免由于红外探测器焦平面阵列存在占空比导致系统光能损失的影响,设计并制作了一种100%占空比、球面矢高8μm、周期50μm的红外石英方形孔径球面微透镜阵列。应用非序列光学分析方法模拟并分析了微透镜周期结构占空比对光能利用率的影响。运用移动掩膜曝光技术和反应离子刻蚀技术制备微透镜阵列,通过显微镜和白光干涉仪对微透镜表面形貌进行表征,并分析了其面形误差。根据实验结果判断射频功率、工作气压及刻蚀气体流量工艺参数对微透镜形貌具有很大影响,经过分析确定了最佳工艺参数组合。测试结果表明:在最佳工艺参数组合条件下制作的微透镜占空比基本达到100%,红外焦平面光能效率从原来的65%提升到93%以上,说明方形孔径球面微透镜能够代替传统圆形孔径微透镜获得更高的光能利用率。 相似文献
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我红外焦平面研究取得重大突破863计划信息获取与处理主题中的重要项目──硅肖特基势垒红外焦平面列阵最近在重庆光电技术研究所取得重大突破,128×128元PtSi红外焦平面微型化组件摄取到了清晰室温目标热像,组件的性能参数达到了正样要求。红外焦平面的研... 相似文献
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二元位相匹配衍射透镜的研究与应用 总被引:1,自引:0,他引:1
针对大数值孔径衍射透镜制作难、衍射效率低的问题,探讨了用位相匹配原理对元件结构参数优化设计的方法,研制出8台阶二元衍射位相匹配透镜列阵,达到了预期的效果。采用该方法设计的大数值孔径红外锗透镜和为光聚能器,应用在提高红外探测器性能的实验中。 相似文献
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微透镜阵列对Hartmann—Shack波前探测器探测精度的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
微透镜阵列是Hartmann-Shack波前探测器的核心元件之一。本文从理论上分析了微透镜阵列的性能对Hartmann-Shack波前探测器的波前探测精度的影响,并根据理论分析进行了一系列实验,得到了有益的结果。 相似文献
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单层曲面复眼成像系统的优化设计 总被引:2,自引:1,他引:1
与传统曲面复眼结构不同,提出了在曲面基底上设计非均一微透镜阵列的构想.整个透镜阵列呈环状对称分布,沿径向排列的各级透镜其焦距由所处位置决定,与基底到光探测阵列的距离相吻合.根据几何光学成像原理计算了各级透镜的设计参数并通过光线追迹加以验证.仿真结果表明,这种设计可对全视场在光探测阵列上聚焦,解决了传统曲面复眼边缘视场成像质量急剧下降的问题.同时还论证了采用光刻胶热熔法在曲面基底上制作非均一微透镜阵列的可行性. 相似文献