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相似文献
 共查询到18条相似文献,搜索用时 109 毫秒
1.
本文分析了微透镜列阵衍射效应的影响因素,推导出了微透镜焦平面上光强分布的解析表达式,对菲涅尔数评价衍射效应的物理含义给予了合理的解释.并利用ZEMAX软件对微透镜列阵进行仿真,基于惠更斯子波直接积分的算法计算得到了微透镜列阵焦平面上的光场强度分布.通过比较不同条件下所得到的计算结果,验证了以菲涅尔数作为微透镜列阵衍射效应评价依据的的合理性,同时验证了以菲涅尔数判断焦斑间串扰的可行性.  相似文献   

2.
湿法制作连续微透镜列阵新方法   总被引:1,自引:1,他引:0  
制作连续微透镜列阵中主要的问题就是浮雕的深度和浮雕面形的控制,已有的微透镜列阵制作方法不能很好地解决;本文提出了一种利用干法和湿法蚀刻结合在硅片上制作连续深浮雕微透镜列阵的新方法,得到了深度40μm的微柱面和旋转抛物面微透镜列阵。  相似文献   

3.
本文分析了离焦量对微透镜列阵成像光刻图形质量的影响,给出了系统离焦量的容差.同时提出了一种结构简单、可应用于微透镜列阵成像光刻系统调焦的新方法.并将基于该调焦方法的实验装置应用于微透镜列阵成像光刻系统,进行了光刻实验.实验表明,利用该方法时微透镜列阵成像光刻系统调焦,可得到接近微透镜列阵极限像质的光刻图形.  相似文献   

4.
衍射微透镜列阵掩模制作软件的设计   总被引:1,自引:0,他引:1  
研究了衍射微透镜列阵的设计方法及CIF格式掩模数据的数据结构与生成方法,设计了一套产用软件,采用图形切割、跟踪计算等方法,解决了生成子孔径为矩形、六 方形及圆环扇形的衍射微透镜列阵掩模的问题,满足了实际系统对衍射微透镜列阵子孔径形状的各种需求。  相似文献   

5.
首次在国内用光敏玻璃热成形方法研制了一种新型的微透镜列阵,采用具有特定化学组分的光敏玻璃材料,在普通的紫外平行光束照射下进行感光和热处理,制得了孔径为400μm的微透镜列阵。  相似文献   

6.
介绍了测量菲涅耳微透镜列阵的衍射效率的两种不同方法及其系统,方法简单易行,并实际测试了具有微小单元尺寸的菲涅耳微透镜列阵的衍射效率。  相似文献   

7.
为了避免由于红外探测器焦平面阵列存在占空比导致系统光能损失的影响,设计并制作了一种100%占空比、球面矢高8μm、周期50μm的红外石英方形孔径球面微透镜阵列。应用非序列光学分析方法模拟并分析了微透镜周期结构占空比对光能利用率的影响。运用移动掩膜曝光技术和反应离子刻蚀技术制备微透镜阵列,通过显微镜和白光干涉仪对微透镜表面形貌进行表征,并分析了其面形误差。根据实验结果判断射频功率、工作气压及刻蚀气体流量工艺参数对微透镜形貌具有很大影响,经过分析确定了最佳工艺参数组合。测试结果表明:在最佳工艺参数组合条件下制作的微透镜占空比基本达到100%,红外焦平面光能效率从原来的65%提升到93%以上,说明方形孔径球面微透镜能够代替传统圆形孔径微透镜获得更高的光能利用率。  相似文献   

8.
我红外焦平面研究取得重大突破863计划信息获取与处理主题中的重要项目──硅肖特基势垒红外焦平面列阵最近在重庆光电技术研究所取得重大突破,128×128元PtSi红外焦平面微型化组件摄取到了清晰室温目标热像,组件的性能参数达到了正样要求。红外焦平面的研...  相似文献   

9.
红外探测器在当今社会具有不可替代的作用。本文简要介绍了红外探测器的发展,对目前几种常用光子型焦平面红外探测器进行了比较;介绍了焦平面红外探测器在军事领域的需求及应用,介绍了国内外焦平面红外探测器研究现状,对几种典型的探测器性能做了比较;讨论了焦平面红外探测器存在的问题,对其成像非均匀性做了简要分析,总结了焦平面红外探测器发展趋势。  相似文献   

10.
二元位相匹配衍射透镜的研究与应用   总被引:1,自引:0,他引:1  
针对大数值孔径衍射透镜制作难、衍射效率低的问题,探讨了用位相匹配原理对元件结构参数优化设计的方法,研制出8台阶二元衍射位相匹配透镜列阵,达到了预期的效果。采用该方法设计的大数值孔径红外锗透镜和为光聚能器,应用在提高红外探测器性能的实验中。  相似文献   

11.
利用FPGA实现红外焦平面阵列实时非均匀性校正   总被引:13,自引:0,他引:13  
实时非均匀性校正是红外成像的一项关键技术。根据红外焦平面阵列探测元光谱响应的特点和基于参照源的两点温标非均匀性校正理论,提出一种利用FPGA硬件实现红外焦平面阵列实时非均匀性两点校正的新方法。该方法动态范围大、处理速度快,适用于红外成像系统实时图像处理场合。仿真和实验结果证明是可行的。  相似文献   

12.
针对基于微透镜阵的光纤激光外腔谱组束系统的光束质量评价问题,利用高斯光束的传输变换理论,建立了评价谱组束激光光束质量的理论模型.通过数值模拟,详细分析了各相关参数对谱组束光束质量的影响,结果表明:在基于微透镜阵的谱组束系统中,离焦量、微透镜焦距及模场半径是影响谱组束激光光束质量的主要因素;阵列宽度对谱组束激光光束质量影...  相似文献   

13.
微透镜阵列对Hartmann—Shack波前探测器探测精度的影响   总被引:1,自引:0,他引:1  
张强  许冰 《光电工程》1997,24(6):1-6
微透镜阵列是Hartmann-Shack波前探测器的核心元件之一。本文从理论上分析了微透镜阵列的性能对Hartmann-Shack波前探测器的波前探测精度的影响,并根据理论分析进行了一系列实验,得到了有益的结果。  相似文献   

14.
新颖的微流控光学变焦透镜阵列集成器件   总被引:5,自引:2,他引:3  
提出一种微流控光学变焦透镜阵列芯片,以解决变焦透镜阵列的电控调谐和集成化制造方法问题.该器件的基本形式为"上盖片 内芯 下盖片"的三明治夹心结构,采用导电材料制作内芯,使得器件的制作简化,易于集成.透镜材料由折射率不同的两种不混合液体组成,利用电润湿效应控制两种液体的界面曲率,从而实现微透镜阵列焦距的电控调节.  相似文献   

15.
凝视型红外搜索跟踪系统的作用距离模型   总被引:9,自引:1,他引:9  
作用距离是红外搜索跟踪(IRST)系统的核心指标之一,需要对它作专门的研究。从凝视型红外焦平面的响应度和探测目标所需的辐射功率出发,修改了凝视型焦平面响应度的公式,对目标成像的特性进行了新的分析,并讨论了系统各部分对作用距离的影响,建立了凝视型IRST系统作用距离的数学模型,为系统设计和性能评估提供了理论依据。  相似文献   

16.
自聚焦平面微透镜阵列的制作及其基本特性   总被引:1,自引:0,他引:1  
讨论了自聚焦平面微透镜阵列的制作工艺及其基本特性。  相似文献   

17.
单层曲面复眼成像系统的优化设计   总被引:2,自引:1,他引:1  
与传统曲面复眼结构不同,提出了在曲面基底上设计非均一微透镜阵列的构想.整个透镜阵列呈环状对称分布,沿径向排列的各级透镜其焦距由所处位置决定,与基底到光探测阵列的距离相吻合.根据几何光学成像原理计算了各级透镜的设计参数并通过光线追迹加以验证.仿真结果表明,这种设计可对全视场在光探测阵列上聚焦,解决了传统曲面复眼边缘视场成像质量急剧下降的问题.同时还论证了采用光刻胶热熔法在曲面基底上制作非均一微透镜阵列的可行性.  相似文献   

18.
采用MMA单体与其聚合物PMMA及掺杂剂的混合溶液,以按需滴定法制备了掺杂若丹明6G的微透镜阵列。并对其焦距一致性、成像效果、表面粗糙度、透射光谱和荧光光谱等光学性能进行了测试。焦距不均匀度不超过1.8%,测定数值和理论值相差不到1.7%。表面热处理后表面粗糙度肋小于0.9nm,光学透过率从近紫外到近红外都在90%以上,可以用于光纤放大器和生物化学传感器。  相似文献   

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