第七讲：真空检漏

第七讲：真空检漏关奎之（东北大学）２．氦质谱检漏仪法（接１９９８年第１期第５０页）利用氦质谱检漏仪进行检漏的方法有：喷吹法、氦罩法、检漏盒法、吸枪法、充压法、背压法、累积法、选择性抽气法、检漏台法、逆流检漏法和标准漏孔比较法。各种方法的设备、步骤及漏...     

第七讲：真空检漏

第七讲：真空检漏关奎之（东北大学）一、概述１．概漏的基本概念真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气...     

第七讲：真空检漏

第七讲：真空检漏关奎之（东北大学）三、检漏技术（上接１９９７年第６期第４４页）１．各种检漏方法的概况真空检漏就是用适当的方法，迅速判断漏气、确定漏率是否在容许的范围之内，找出漏孔的位置、测定漏率大小，以便进行修补。充压检漏法、真空检漏法和其它检漏法的...     

第七讲：真空检漏

第七讲：真空检漏关奎之（东北大学）四、标准漏孔（接１９９８年第２期第４８页）标准漏孔是在一定条件下向真空系统内部提供已知气体流量的元件。一般要明确这个气流量（即漏率）的气体种类、温度、压力等条件。如果不特别指明，则指温度为２９６±３Ｋ、入口压力为１．...     

1.5MeVLIA氦质谱真空检漏

本文详细地论述了１．５ＭｅＶ加速器的检漏工艺、检漏方法和检漏系统的设计．     

BEPC贮存环超高真空系统高灵敏度的四极质谱计检漏方法

北京正负电子对撞机（ＢＥＰＣ）贮存环超高真空系统长约２４０米，由八个区段组成。 安装后经必要的常规氦质谱检漏和消除这些漏之后，真空度在烘烤前后分别达到１０－７帕 和１０－８帕。在此基础上做了如下工作。当离子泵系统存在微漏与一般漏（与系统的体 积和泵的抽速比较）时，漏入空气的成分在残气质谱图上有明显的差别。本文解释并利 用了这一现象，对系统进行高灵敏度检漏。     

碳管炉真空系统的检漏

本文主要论述了碳管炉真空系统的组成及特点,利用静态压升检漏法和氦质谱检漏两种手段评定碳管炉密封性的好坏,此方法对真空热处理设备及类似装备的设计、检漏具有很好的指导意义.     

氦逆扩散质谱检漏法和卤素检漏法在大型低温容器真空检漏中的应用

氦逆扩散质谱检漏法和卤素检漏法成功地解决了低真空度下容器检漏难题，并在大型低温容器真空检汛领域中得到了实践应用，取得了较好的效果。     

带腐蚀性物料的真空系统在线检漏方法研究

带腐蚀性物料的真空系统,往往对密封性要求严格。为了进行带腐蚀性物料的真空系统在线检漏而进行研究,分析可行的检漏方法,提出适用手段。通过分析,经过分级冷冻、物料处理及选用适合的检漏步骤,能够使氦质谱检漏仪满足负压检漏条件,从而使用喷氦法确定漏点位置,使用氦罩法获得准确的漏率。实际应用证明,该方法用于带腐蚀性物料的真空系统在线检漏,能够准确、有效的检测漏点位置及漏率。该研究为带腐蚀性物料的真空系统在线检漏提供了技术支持。     

氦质谱正压检漏法

为了直接获得工作状况下的漏率 ,在模拟工况条件下 ,采用氦质谱检漏仪正压检漏法可满足这样的要求。这种方法具有广泛地推广价值。介绍了此方法的意义、检漏过程及计算公式。     

真空漏率校准装置与检漏

本文叙述国内外真空检漏技术动态，着重介绍常用流量计法校准真空漏率的标准装置，结构、原理、最后统观一下氦质谱检漏仪发展与现状。     

氦质谱非真空积累检漏法待测时间研究

以Fluent的CFD仿真为手段, 通过考查放样气体在某收集室内强迫对流的分布规律, 来优化氦质谱非真空累积检漏法的待测时间。研究结果表明:该收集室在自带风机的作用下230 s内即达到了氦气的空间浓度分布小于3%的要求;建议该收集室的待测时间调整为5 min。本文的结论可以为氦质谱非真空累积检漏法的具体实施提供一定的技术支撑。     

磁流体真空动密封的质谱检漏

漏气率是磁流体真空动密封组件的关键技术指标。本文描述了磁流体真空动密封组件的结构、检漏系统以及氦质谱仪充气检漏方法。文中给出了测试结果。     

第十三讲:真空系统的检测技术

质谱检漏是最灵敏和常用的检漏技术，实际应用的质谱检漏仪都采用高灵敏磁扇形残余气体分析探头。     

一种四极质谱残余气体分析的实用方法

高真空系统残气分析对提高电真空器件的性能、质量和寿命具有重要作用。四极质 谱计与微机联用是必然的趋势。四极质谱计与微机联用是必然的趋势。四极质谱定性分 析是定量分析的基础。绝对灵敏度常数法和相对灵敏度常数法可以通过四极质谱计的灵 敏度定义相互联系起来。以相对灵敏度常数法为基础，将四极质谱计与电离真空计结合 起来，进行分压强和总压强测定的方案具有很高的灵敏度，能得到更好的重复性。     

超灵敏度质谱检漏实验的新结果

为适应对真空及压力器件密封性日益增长的要求 ,尤其是确保小体积密封真空器件的长期可靠性 ,研制了一套超灵敏度检漏系统。这套全金属的超高真空系统主要由分子泵、离子泵、无油前级泵、消气剂泵和高性能的四极质谱计等组成 ,由于采用了现代先进的真空技术 ,仅在几个小时内就可达到 10 - 6 Pa的工作压强。该系统有两种检漏模式 ,累积模式用于漏率小于 5× 10 - 1 2 Pa· m3/s漏孔的检漏 ,更大的漏率则用动态检漏模式。实验结果表明该系统的最小可检漏率可达 1× 10 - 1 5Pa· m3/s。     

冰箱制冷系统检漏方法探讨

总结了冰箱制冷系统检漏经验,并参考了国外先进的检漏方法,提出在冰箱制造过程中,除制冷系统注入F_(12)后的管路焊口用卤素仪检漏外,系统的其他零部件和连接管路焊口都应当采用氮质谱仪检漏。本文介绍了冰箱制冷系统的几种检漏方法及其比较,还介绍了国外目前生产的以氦质谱仪为核心的几种检漏设备。     

氦质谱非真空积累检漏法待测时间研究北大核心CSCD

以Fluent的CFD仿真为手段,通过考查放样气体在某收集室内强迫对流的分布规律,来优化氦质谱非真空累积检漏法的待测时间。研究结果表明:该收集室在自带风机的作用下230 s内即达到了氦气的空间浓度分布小于3%的要求;建议该收集室的待测时间调整为5 min。本文的结论可以为氦质谱非真空累积检漏法的具体实施提供一定的技术支撑。     

发展完善中的卤素检漏仪器

发展完善中的卤素检漏仪器周化杰,周维群自八十年代以来,我国的冷冻行业发展迅猛,随之对电冰箱、空调器、冷柜等冷冻设备的检漏技术和检漏仪器也有了很大的发展和提高。过去在冷冻行业采用的检漏手段：有气压法和皂泡法。气压法、皂泡法虽然方法简单可靠,但由于检测灵...