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一、引言
激光全息无损检验是利用全息技术,通过被测物体在两种不同形变状态下干涉图样的变化来反映物件质量的一种检验方法。 相似文献
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利用空域滤波虚光栅叠栅法提取干涉图波面 总被引:1,自引:0,他引:1
虚光栅叠栅条纹法是一种利用单幅干涉图提取波面信息的方法,为了解决叠栅条纹的滤波问题,提出了一种基于高斯函数的空域滤波法。利用高斯函数在空域中对叠栅条纹图进行模糊处理,滤除不需要的高频分量,仅保留包含波面相位信息的低频分量。重点研究了高斯函数滤波窗口的选择和干涉图的载频之间的对应关系。该方法具有计算量小、易于选取滤波窗口的优点。对一光学平面的面形测量结果表明,利用空域滤波虚光栅叠栅法提取的波面[峰谷(PV)值为0.080λ,均方根(RMS)值为0.020λ,λ=632.8nm]与利用Zygo GPI干涉仪的四步移相法得到的波面(PV值为0.079λ,RMS值为0.017λ)相吻合。 相似文献
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中国科学院上海光机所四室二室 《中国激光》1978,5(1):16-19
本文介绍了用脉冲激光全息干涉仪研究氙灯等离子体的原理、方法和特点.拍摄了中φ14×150毫米和中φ27×100毫米两种脉冲氙灯在放电不同时刻的等离子体全息干涉图,并进行了简要的分析.从实验上证明了全息干涉法用于研究脉冲氙灯是行之有效的. 相似文献
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研究了具有亚微米周期的衍射光栅.该光栅是波导耦合器、防反射、共振光栅滤波器、DFB激光器、波分复用通信等领域用的关键元件.过去制作这种微细光栅多采用电子束扫描法或者全息双光束干涉曝光法.而这些制作方法分别存在着如下问题:电子束扫描大面积图形费时,而干涉曝光法则限制可制作的光栅图形.因此,该文作者采用计算机近场全息曝光法制成周期~0.5μm的、一维、二维以及同心圆光栅图.该方法不同于制作光纤耦合器的方法.其特点是,1级和+1级光干涉不需斜照射光.因此能比较容易地获得掩模半周期结构.譬如用i线垂直照射全息版掩模,在距10μm的位置能将干涉条纹曝光、显影在抗蚀剂上,并用反应离子蚀刻法将其复制到基板上. 相似文献
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基于数字化二次曝光干涉的光学元件波前畸变测量 总被引:1,自引:1,他引:0
将傅立叶变换条纹分析方法与二次曝光全息干涉计量相结合,提出了数字化二次曝光干涉术,用于测量光学元件引入的波前畸变。文中给出了理论分析,模拟与光学实验结果证实提出的方法具有高精度、快速的波前测量特点,可应用于激光系统中光学元件的波前畸变在线检测。 相似文献
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The history and principles of image distortion correction by means of holographic spatial filtering are reviewed. Both predetection and postdetection filtering are considered. These and other principle applications of complex spatial filtering are assessed. The major problem areas are discussed, along with possible solutions. 相似文献
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数值再现像相位的准确性直接影响到数字全息检测的结果。为了找出再现过程中存在的相位畸变并采取相应的方法达到自动补偿,对无透镜傅里叶变换数字全息中的相位补偿问题进行了研究。因为经过单次傅里叶变换法进行数字波面重构时,存在一个附加的二次相位因子,该附加因子造成了再现像的相位畸变。采用最小二乘曲线拟合方法,通过多剖面计算得出数字相位掩膜进而对相位分布进行校正,并进行了理论分析和对比实验验证。结果表明,与常用的二剖面方法相比,能够对相位畸变进行更好的校正。这一结果对相位补偿问题的研究是有帮助的。 相似文献
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数字全息中再现照明光对重建像的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
在数字全息三维形貌测量中,相位信息的正确重建对测量的准确性有着重要的意义。非原参考光的再现光重建数字全息将引入相位畸变问题,本文对此进行了详细的理论分析,指出此时重建像的相位分布将产生二次或线性畸变,并给出了相应的相位畸变表达式。计算机模拟证明了分析的正确。 相似文献
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针对微尺寸(1 mm)透射型物体的数字全息显微测量中存在的相位畸变问题,提出一种相位矫正方法,通过改进预放大离轴菲涅耳数字全息记录光路以及全息图的卷积再现算法,消除了相位分布的一次畸变和二次畸变.使用该方法测量USAF1951分辨率板,成功矫正了其再现像的相位畸变,并得到了横向尺寸0.25 mm区域的清晰相位分布三维重建图.该方法的优点在于通过对记录光路和再现算法的改进,矫正相位畸变,直接得到正确的再现像相位,简化了相位补偿计算的步骤,很大程度地降低了相位重建过程的复杂程度,有利于对物体进行实时探测和快速重建. 相似文献
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针对微流控芯片通道和缺陷的检测要求,设计构建了一套基于预放大离轴光路的反射式像面数字全息显微实验系统。探讨了数字全息显微测量中横向尺寸在视场占比较大的低空间频率物体的相位畸变矫正方法,提出两步相位相减法更适用于该类型物体的相位畸变矫正。通过宽度为55 μm、高度为65 nm的台阶标准样板实验对两步相位相减法、一般多项式曲面拟合法和Zernike高阶多项式曲面拟合法在相位畸变矫正效果上进行对比分析,分析结果表明两步相位相减法矫正畸变后的台阶平均高度相对误差为1.1%,较其他方法的误差更小,畸变矫正效果更好。另外,实验以通道宽度为80 μm的微流控芯片为被测样件,实现了芯片通道以及通道表面断裂型和缺损型缺陷的三维形貌检测,并得到定量结果:断裂型缺陷的宽度为14.1 μm,深度为431.7 nm;缺损型缺陷的宽度为33.6 μm,深度为295.1 nm。实验结果表明:像面数字全息显微实验系统为微流控芯片通道及表面缺陷的快速无损测量提供了新的途径,对于微流控实验系统质量评价具有重要意义。 相似文献
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用重铬酸盐明胶介质记录了用于飞机平视显示器的平面离轴反射全息目视显示元件。分析了该显示元件诸如衍射效率、象差、色散、畸变和光学传递函数等显示和成象特性,推荐制备和处理重铬酸盐明胶薄膜的某些重要技术。 相似文献