电容传感器优化设计中轴向边缘效应的解决

在电容传感器设计中提出一种解决轴向边缘效应问题的方法,可使优化的电容传感器的灵敏度和均匀性改善.     

新型角度电容传感器

介绍了一种新型非接触式测量角度的电容传感器,这种传感器包含1个传导电信号并可影响电容值大小的旋转电极和2个用来发射接收电信号的固定电极,经后续放大电路的电信号处理,可由其输出变化电压值来测算出中间转子的转动角度,这种低造价的传感器的主要优点在于其可以在相对潮湿或者并不太理想的环境下使用。实验结果表明其误差可控制在很小的范围内。     

电容传感器及其纳米量级定位技术

介绍了大型天体望远镜光学镜面面形的控制方法和工作原理。该大型天体望远镜10m直径的主镜由36块对角线长1.8m的六角形子镜拼接而成,应用电容测微技术使此超大型镜面的共面性达到纳米量级的定位控制,通过检测原理的分析,阐述了电容式传感器在使用中提高其准确度和长期稳定性的理论分析和具体技术措施,并提出新型涂敷式差动传感器,采用新材料和高集成度的新器件,以满足传感器在温、温度变化大的条件下实时监测的要求。     

一种新型地球物理电容性电场传感器研究

当前在地球物理勘探中使用的电场传感器探头—不极化电极存在一些不足,如要求电极具有较低的接地阻抗,这使其在沙漠、冻土、戈壁等高阻区应用较为困难。分析了电场传感器系统的等效电路,指出低频电容性电场传感器应用在地球物理电法勘探中的可能性,并设计出一种低频电容性电场传感器,该电场传感器可直接放置于地面,进行地电场的测量。为提高电场传感器测量的准确性,采用输入电容中和技术以抑制耦合电容变化所带来的测量误差。该电场传感器工作频率为0.1~1kH z。外场测试表明,该电场传感器具备准确测量地电场信号的能力,在工作频率范围内获得与不极化电极相似的测量结果,幅值差异小于5%。该电场传感器在高阻区的地球物理勘探领域具有较好的应用前景。     

基于参考电容的低成本智能电容传感器系统

介绍一各以单片机和555定时器为核心组成的低成本电容传感器系统。基于参考电容法可有效消除系统测量误差,优于直接测量法,提出分频同步测量法实现中频段被测脉冲信号周期的测量,可提高测量精度,系统具有硬件电路结构简单,智能化,功耗低等优点。     

电容层析成象传感器敏感场的有限元分析

用电容传感器的有三维有限元模型,分析了８电极电容层析成象传感器灵敏度的三维分布理建图象评估了传感器轴敏感空间的大小。讨论了将三维敏感场近成二维场带来的误差。     

基于开关电容的电容传感器接口电路设计与测试

电容传感器已广泛应用于压力、压差、位移、加速度、振动等非电量的精密测量,参比电容传感器有望用于气固两相流测量等领域,而接口电路是电容传感器应用中的核心和关键技术。基于开关电容原理开发的电容传感器接口电路,从原理上消除了电路中寄生电容的影响和直流偏移,使得电容传感器的应用更加广泛。在活塞式压力校验台上,对开关电容接口电路进行了性能测试。结果表明,开关电容接口电路迟滞误差为0.84%,非线性误差为1.33%,重复性误差为1.20%,可应用于参比电容传感器测量系统。     

一种用于油吕在线监测的电容传感器设计

设计了一种用于油品在线监测的电容传感器,并对其结构参数进行了有限元分析和正交优化,最后通过实验测试验证了设计的可行性。     

介电常数分布对电容层析成像传感器灵敏度的影响

电容层析成像技术（ECT）近年来发展迅速。ECT传感器属“软场”传感器，其灵敏度分布受被成像介电常数分布的影响。由于“软场”特性的复杂性，图像重建时常忽略其影响，其结果是重建图像中有较大的“软场”误差。为获得高质量的图像重建，必须研究ECT传感器的软场特性。本文通过典型介电常数分布下灵敏度分布的计算与比较，分析了ECT传感器的“软场”特性，给出了介电常数分布对灵敏度分布影响的主要规律。     

新型油液监测电容传感器的设计

结合当前机械设备润滑油监测技术及润滑油状态分析,从工业应用角度出发,设计一种两对半圆形极板交错式电容传感器。利用有限元法和正交试验设计方法对结构参数进行优化。     

射频电容传感器的原理与设计

射频电容法是测量油品含水率的新方法。本文论述了该方法中的射频电容传感器的测量原理,并对传感器敏感探头进行了设计,。实际重油含水率标定测量结果表明该系统的最大非线性误差为±０５％。     

高精度硅电容压力传感器的研究

本文介绍了一种采用微机械技术形成的电容压力传感器。在设计上采用完全对称的三层结构，从而较好地消除由温度特性不匹配造成的漂移。利用Ｄｉｏｄｅ－ｑｕａｄ接口电路的输出增益反馈方式基本消除了器材固有的非线性，使传感器的精度大大提高。     

电容式三相流含水率测量方法的研究

针对三相流含水量在线测量,提出电容传感器数字化的测量原理,给出了测量电容微小变化量的具体办法.     

电容式测压微型传感器

文中主要介绍一种新型电容式测压微传感器的结构及测量电路。通过对测量电路的理论分析、仿真和实验验证,证明这种微型传感器采用独特的结构和测量电路,因而具有良好的线性范围和较高的灵敏度,并能有效地减小温度误差。     

电容式测压微传感器的特性分析

本文主要对电容式测压微传感器的力学特性和电学特性进行分析。文中通过对测量电路工作过程和特性的深入探讨、仿真和验证,证明这种传感器的测量电路具有良好的线性度和稳定性。通过对传感器的敏感元件硅膜片的力学分析,建立了传感器的力学模型。分析的结果表明：传感器敏感元件和电容器的物理特性是影响传感器输出响应线性的主要因素。     

微机械电容式加速度计静力分析

本文根据微加速度计的结构特点,分析了单晶硅的力学特性,并且利用有限元方法对微电容式加速度计敏感芯片弹性梁的刚度、应力、应变进行了分析。     

微型电容式压力传感器的制作与测试

从应用开发MEMS产品的实用角度出发，介绍了利用硅一硅键合技术制作的微型电容式压力传感器，给出了详细的制作工艺及主要工艺步骤图。对微传感器所用的测试装置的组成、测试电路的工作过程进行了详细介绍和深入分析。最后对不同尺寸的微传感器器件进行了测试，并对测试结果进行具体分析。结果表明：该微传感器具有良好的线性工作范围、良好的稳定性和较高的灵敏度。     

电容式微加速度传感器控制电路研究

本文首先阐述了电容式微加速度传感器的一般结构及系统建模方法，然后提出一种静电力反馈平衡控制电路，先通过高频调制信号产生检测电压，再经过ＰＩ反馈控制器产生静电反馈力，以提高传感器的噪声抑制能力、输出线性度和动态响应范围。     

电容式微加速度计结构的建模及仿真

建立了电容式微加速度计的结构模型,运用有限元分析方法对其进行模态分析,研究了微加速度计结构尺寸对谐振频率和模态振型的影响,得出了结构尺寸对这两者的影响规律,为此类加速度计的结构设计提供了依据。     

微机械双杯平面复合差动电容压力传感器的研究

文中介绍一种新式微机械双杯平面复合差动电容压力传感器的结构设计、工作原理及加工工艺,同时,对传感器的硬件电路、软件设计也作简要说明,并通过实验测试结果反映其结构的新颖性和设计的合理可行性。