新型高可靠硅集成电路SOI

SOI是英文Silicon-On-Insulator的简称,意为绝缘衬底上的硅。它通常有两种基本结构,如图1所示。第一种结构的绝缘衬底为蓝宝石,如图1（a）所示。第二种结构的绝缘膜包括SiO2、Si3N4、Al2O3以及其他介质,由于Si/SiO2界面性能稳定,缺陷密度较低,因此SiO2绝缘膜逐渐成为此类结构主流,如图1（b）所示。这两类结构均属于SOI这个范畴,为了区别起见,目前常把第一类结构称之为SOS（Silicon-On-Sapphire）,而把第二类结构称之为SOI。 SOS是制造抗辐射集成电路的首选材料,但SOS材料易碎,晶片面积受蓝宝石晶体的限制,比硅片面积小,芯片成品率很低,而且与硅集成工艺不完全相容,因而成本很     

SOI技术——21世纪的硅集成技术

SOI技术作为21世纪的硅集成技术,越来越受人们的关注。文章从寄人电容、闭锁放应、热载流子效应、体效应及辐射效应等几个方面详细讨论了SOI器件对体硅器件的优势,并讨论了当前SOI技术的研究领域和发展方向。     

硅集成电路的现状及21世纪的基本趋势

ＩＣ已有３９年发展历史。有人曾预测硅技术已接近发展极限，引起人们关注。在这世纪之交的数年内，ＩＣ如何发展。本文对ＩＣ技术以及ＩＣ水平的现状和基本趋势作出了试析，并对ＩＣ前沿技术的发展提出了看法。     

一种新的SOI射频集成电路结构与工艺

立足于与常规CMOS兼容的SOI工艺，提出了电子束／I线混合光刻制造SOI射频集成电路的集成结构和工艺方案。该方案只使用9块掩模版即完成了LDMOS、NMOS、电感、电容和电阻等元件的集成。经过对LDMOS、NMOS的工艺、器件的数值模拟和体硅衬底电感的初步实验，获得了良好的有源和无源器件特性，证明这一简洁的集成工艺方案是可行的。     

SOI集成电路的ESD保护技术研究进展

近年来，随着SOI技术的快速发展，SOI集成电路的ESD保护已成为一个主要的可靠性设计问题。介绍了SOI ESD保护器件方面的最新进展，阐述了在SOI ESD保护器件设计和优化中出现的新问题，并进行了详细的讨论。     

SOI高温电路—突破硅集成电路的高温应用限制

常规的体硅基础电路通常只能工作在２００℃以下，ＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ－Ｏｎ－Ｉｎ－ｓｕｌａｔｏｒ）电路的突出特点之一是可以工作在高温环境。简述了市场对高温电路的需求，并分析了ＳＯＩ电路在高温下的电学特性，讨论了为将ＳＯＩ高温电路商业化，应当解决的一些技术问题。     

SOI技术及其发展和应用

绝缘衬底上的硅(SOI)技术被誉为"21世纪的微电子技术"。它可消除或减轻体硅中的体效应、寄生效应及小尺寸效应等。该文对注氧隔离、键合再减薄、键合和注入相结合及外延层转移等SOI的几种主流制备技术进行了概述,着重介绍了SOI在抗辐照、耐高温等高性能专用电路、光电子、微机械方面以及三维集成电路等领域的主要应用,最后讨论了近几年来SOI技术研究和发展的新动向。     

二十一世纪的平板显示技术

本文综述了近年来平板显示技术的研究进展,指出新的发射平板显示器目前正投入批量生产,不久将与LCD争夺巨大的市场份额,并对它们的工作原理、结构和某些关键制备技术作了介绍     

二十一世纪的纳米硅电子技术

装置技术为适应电子市场的需求而发展 ,纳米硅电子技术伴随着电子信息产业的发展应运而生 ;本文综述了纳米硅电子技术的产生、现状及未来的发展趋势 ;并分析了纳米硅电子技术与信息产业发展的关系     

二十一世纪的国际电信技术

二十一世纪的国际电信技术＂ＩｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌＴｅｌｅｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎｓＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙｆｏｒｔｈｅ２１ｓｔＣｅｎｔｕｒｙ＂￥ＹｏｓｈｉｙｏｒｉＵｒａｎｏ（陈春东译，怡帆校）到２００３年，国际电信将是什么样？有一点可以肯定，即计算...     

迈向21世纪的无线通信技术

无线电通信是下一个世纪的主要接入技术,无线网络了除了提供语音服务之外,还提供多媒体和高速数据业务。本文介绍了第３代国际移动通信系统ＩＭＴ－２０００和无线异步转移模式（ＷＡＴＭ）的概念,对它们的关键技术进行了总结,并对其发展方向作了进一步的展望。     

MEMS将成为21世纪新技术增长点

微电子技术的巨大成功在许多领域引发了一场微型化革命,以加工微米/纳米结构和系统为目的的微米/纳米技术(Micro/Nano Technology)在此背景下应运而生。一方面人们利用物理化学方法将原子和分子组装起来,形成具有一定功能的微米/纳米结构;另一方面人们利用精细加工手段加工出微米/纳米级结构。前者导致了纳米生物学、纳米化学等边缘学科的产生,后者则在小型机械制造领域开始了一场新的革命,导致了微机电系统(MEMS)的诞生。     

21世纪的技术革命——纳米技术

简要阐述了纳米技术的发展与现状，并着重介绍了纳米材料的获得及纳米技术在各领域的特殊应用。     

21世纪通信网络及其支撑技术

阐述了支撑通信网络的几种关键技术，并通过对这些技术的介绍，说明未来的通信网络是一个国际标准化的、综合化的、宽带化的多媒体数据通信网。     

TFT技术挑战二十一世纪

本文简要说明什么是ＴＦＴ－ ＬＣＤ, ＴＦＴ－ ＬＣＤ产品的技术特点及其在工业、国防、教育、医疗、交通运输、家电、视像和信息产业中的广泛应用,指出了ＴＦＴ－ＬＣＤ技术发展的美好前景。     

21世纪数据挖掘技术与传统挖掘技术的相关研究

随着以数据库、数据仓库等数据仓储技术为基础的信息系统在各行各业的应用,使海量数据不断产生。随之而来的问题是如此多的数据让人难以消化,无法从表面上看出它们所蕴涵的有用信息,更不用说有效地指导进一步的工作。如何从大量的数据中找到真正有用的信息成为人们关注的焦点,数据挖掘技术也正是伴随着这种需求从研究走向应用[4]。本文从现代数据挖掘技术与传统挖掘技术方法相关研究入手,提出了如何利用数据挖掘的知识,进一步提高Web信息搜索的性能。     

21世纪的微光子学

本文综述了微光子学的研究，阐述了有关微光子学的科学与技术问题，指出21世纪微光子学前面临的信息技术的挑战，此外还探讨了微光子学和微电子学这两种技术的相似点和区别，优势和劣势，优点和缺点，并指出它们可以通过相互支持，从而更加有效地得以应用。