CdIn_2O_4和Cd_2SnO_4薄膜X－光电子能谱研究

研究了在Ａｒ＋Ｏ２混合气氛中从Ｃｄ－Ｉｎ和Ｏｄ－Ｓｎ合金靶射频反应溅射而成的ＣｄＩｎ２Ｏ４和Ｃｄ２ＳｎＯ４膜的Ｘ－光电子能谱。实验结果表明了粉末Ｃｄ、Ｉｎ、Ｓｎ、ＳｎＯ２、Ｉｎ２Ｏ３和ＣｄＩｎ２Ｏ４、Ｃｄ２ＳｎＯ４膜的Ｃｄ、Ｉｎ、Ｓｎ３ｄ３／２和３ｄ５／２ＸＰＳ峰值位置和形状的区别，并讨论了Ｏ１ｓＸＰＳ峰随氧浓度的变化。当氧浓度增加时，Ｏ１ｓ分为两个峰。     

Cdln2O4膜红外性质分析

利用射频反应溅射Cd-In合金靶沉积的CdIn_2O_4薄膜是n型高兼并半导体,其红外反射率随溅射气体中氧浓度的不同而有异,相同氧浓度下沉积的薄膜经过退火处理后红外反射率也会发生变化。原因是不同氧浓度下沉积薄膜的氧空位不同,其自由载流子浓度也就不同,从而使薄膜有不同的吸收系数。实验结果与理论计算值符合较好。     

CdIn2O4薄膜的AES分析

利用ＡＥＳ方法研究了ＣｄＩｎ２Ｏ４膜的成分分布。膜中的Ｃｄ、Ｉｎ和Ｏ成份随Ｏ浓度的变化而变化，并对膜的电学性质有重要影响。     

热处理气氛对Cd2SnO4透明导电膜化学态结构和电导率的影响

研究了热处理气氛对用无电沉积方法制备的Ｃｄ２ＳｎＯ４导电膜的化学态结构和导电率的影响。Ｘ射线光电子能谱和室温电阻率测量结果表明，以氢气为热处理气氛时，薄膜中的氧空位最高，导电性好，真空处理次之，以氧气为热处理气氛时，氧空位少，薄膜的导电性能差。     

F掺杂SnO2透明导电薄膜微结构及性能研究

通过实验测量常压热分解CVD工艺制备的F掺杂SnO2薄膜的方块电阻、膜厚、形貌、微结构、中远红外反射率等性质，详细研究了基板温度对SnO2薄膜微结构的影响和微结构与薄膜电学、光学性能之间的关系。研究发现，将基板温度从375℃提高到525℃以上，薄膜结晶程度大大提高，薄膜厚度从25nm提高到近300nm，方块电阻下降了两个数量级，中远红外的反射率达到了85％以上.     

一种喷涂SnO2减反射薄膜的新工艺及材料研究

采用超声雾化喷涂法沉积得到ＳｎＯ２薄膜。通过改变掺杂量和选择合适的工艺条件可控制掺氟ＳｎＯ２薄膜的方块电阻,其最小方块电阻值达１０Ω／□。用５５０ｎｍ单色光测得其率为８５％￣９０％。     

溶胶—凝胶法制红外反射薄膜的研究

报道了以玻璃为基材用溶胶－凝胶制备了ＳｉＯ２－ＳｎＯ２－Ｆ基红外反射薄膜的实验研究工作，讨论了Ｓｎ／Ｓｉ对薄膜光学性能的影响。     

EBV法制备Znln2S4薄膜的性质研究

用电子束加热真空蒸发法（ＥＢＶ法）制备了厚度为３５０ｎｍ的ＺｎＩｎ２Ｓ４薄膜。研究了最佳成膜工艺条件和最新电子能谱分析结果；通过不同气氛处理可以控制材料的导电类型，典型膜的电阻率为２．５×１０＾－１Ω．ｃｍ，Ｈａｌｌ迁移率为５２ｃｍ＾２．Ｖ＾－１．ｓ＾－１，载流子浓度为１．４２×１０＾１７ｃｍ＾－３，禁带宽度为２．１３ｅＶ。探讨了ＺｎＩｎ２Ｓ４膜的导电机理，并制作了ＺｎＩｎ２Ｓ４－Ｓｉ太阳电池。     

WO3—SiO2复合薄膜制备、结构和气致变色性能

采用溶胶－凝胶法在玻璃衬底上成功制备了具有良好气致变色性能的透明,均匀,附着力强的WO3－SiO2复合薄膜,讨论了络合剂的量和乙醇与水的比例对溶胶稳定性的成膜均匀性的影响,用热重－差热,X射线衍射,红外光谱分析对薄膜在热处理过程中的结构变化特征进行分析,用扫描电镜对薄膜表面微观形貌进行观察,初步研究了镀铂薄膜的气致变色性能,研究结果表明,溶胶稳定性随着H2O2的增加而增加,但溶胶成膜均匀性降低,增加乙醇与水的比例,可提高溶胶的成均均匀性和溶胶稳定性,结构分析和性能测试的结果表明,360℃热处理的复合薄膜具有高浓度相界,氢原子迁移速率高,变色响应速率快,气致变色性能优于单一组分薄膜。     

在SiO2和Si3N4膜上用RTCVD法沉积多晶硅薄膜的研究

报道了在ＳｉＯ２和Ｓｉ３Ｎ４膜上用ＲＴＣＶＤ法直接沉积多晶硅薄膜的实验结果,在这两种薄膜上制备出了具有柱状晶粒的多晶硅薄膜,发现两者在薄膜的结构和结晶取向上有很大不同,用ＲＴＣＶＤ法在ＳｉＯ２膜上沉积的多晶硅膜,晶粒较大,晶粒间的空隙也较大,晶粒的择优取向为（１１１）,在Ｓｉ３Ｎ４膜上沉积的多晶硅薄膜,晶粒尺寸较小,晶粒致密,晶粒间苯无空隙,晶粒的择优取向为（１００）。     

H2O和O3对热原子层沉积Al2O3薄膜性能研究

采用热原子层沉积的方法,以三甲基铝(TMA)为铝源,配合H2O、O3及H2O+O3这3种不同的氧化剂制备Al2O3薄膜并研究Al2O3薄膜的生长、元素分布、薄膜结构和表面钝化质量随氧化剂种类和后退火工艺的变化规律.结果表明,H2O基的Al2O3薄膜具有较高的沉积速率及薄膜折射率,同时具有较低的杂质元素浓度和界面态缺陷密...     

活性环境空心阴极溅射特性与沉积Al2O3、ZnO掺杂和In2O3：Mo薄膜的应用（下）

透明导电氧化物薄膜,例如SnO2、ITO、ZnO,有很多应用,如建筑玻璃、汽车、显示器、光伏器件。制备掺杂氧化锌膜用射频或脉冲直流溅射陶瓷靶,它含有ZnO和2％（重量比）Al2O3,无论如何靶的代价是过高的,而能用的功率密度是有限的。最近反应磁控溅射Zn：Al靶受到关注,虽然它需电压控制和氧分压强的闭环控制以保证工作在金属／氧化物过渡模式。     

基于TEM、FT-IR和XPS的PODE2-4/柴油混合燃料颗粒物特性

基于透射电镜（TEM）、傅里叶变换红外光谱（FT-IR）和X射线光电子能谱（XPS）试验对不同掺混比例与不同负荷下的聚甲氧基二甲醚(PODE_2-4)/柴油混合燃料排气颗粒物的理化特性变化规律进行研究.TEM与分形理论分析表明,当PODE_2-4掺混比例增加或负荷减少时,颗粒物的整体尺寸变小,排列更紧密,分形维数变大.FT-IR分析发现,当PODE_2-4掺混比例或负荷增加时,当量峰高比比值减少,颗粒物表面脂肪族碳氢官能团相对含量降低.XPS试验表明,随着PODE_2-4掺混比例的增加或负荷的减小,颗粒物表面的氧、碳元素物质的量比与碳原子杂化比比值增加,羟基、羰基以及总含氧官能团含量增大.结果表明:PODE_2-4掺混比例的增加和负荷的减小影响颗粒物的纳观结构和氧化活性,使其更易于被氧化,有利于颗粒物捕集器的再生.     

利用XRD估算α—Al2O3粉末中α相和β相的含量

在煅烧α－Ａｌ２Ｏ３粉末中α相的含量是一个重要的技术指标，本文利用Ｘ射线射分析的结果，探讨了一种更简便的估算煅烧α－Ａｌ２Ｏ３末中α相和β含量的方法，并与利用化学分析结果来进行估算的方法作了以缘分窑结果表明，利用线衍射的相对强度来估算α－Ａｌ２Ｏ３粉末中α相和β相含量的方法是可行的。