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罗茨真空泵的最大允许压差和溢流阀压差 总被引:3,自引:3,他引:0
文章分析了影响提高罗茨真空泵最大允许压差因素,提出了解决方法。介绍了带溢流阀罗茨泵的特点和溢流阀压差的试验方法,明确提出应对带溢流阀罗茨泵考核溢流阀压差。 相似文献
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气冷式直排大气罗茨真空泵及机组的热平衡计算 总被引:1,自引:1,他引:0
气冷式罗茨真空泵需要携带泵外换热器,以保证泵在高压差下正常工作而不会产生过热,热平衡计算是泵及机组成功设计的关键,本文对热平衡计算进行了探讨,研究表明,气冷式罗茨真空泵的温升,取决于工作气体本身的性质以及泵排气口压力与进气口压力的比值(即压缩比)。 相似文献
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气冷式直排大气罗茨真空泵及机组的应用选型 总被引:1,自引:1,他引:0
本文介绍气冷式直排大气罗茨真空泵及机组的工作特点及应用选型。旨在通过范例的分析,为不同的用户使用气冷式直排大气罗茨真空泵,充分发挥该泵的抽速大、耐压高、无污染、低功耗的优点,提供可参考的范式。 相似文献
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罗茨泵以抽速作为主性能考核指标不够确定,它不能真实反映罗茨泵的质量水平,建议以零流量压缩比作为考核罗茨泵抽气能力的性能指标。 相似文献
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为满足在晶圆FAB厂内使用罗茨真空泵的工程需求及性能要求, 本文设计了一台1.5 kW小体积高速永磁同步电机并将其作为罗茨真空泵用驱动电机。采用多极少槽的极槽配合方案, 减少变频器及供电装置中高次谐波对电机运行性能和损耗温升的影响。基于场路耦合思想及商业有限元软件, 完成了电机拓扑结构及电磁设计, 仿真结果验证了电磁设计及结构的合理性;通过三维温度场研究, 表明该设计可应用于真空泵类工程之中。最后对样机进行了电机性能实验, 实验数据与设计指标比较吻合, 对罗茨真空泵进行性能测试实验, 进一步验证了罗茨真空泵驱动用高速永磁电机设计的合理性, 新研发电机满足泵的各项性能指标要求, 研究工作具有工程实用价值。 相似文献
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油封式旋片真空泵有着悠久的历史,已经形成一套完善的生产流程,具有技术成熟,而且高效、可靠、低噪音及易维护等特点,不仅在镀膜、包装、吸持、制冷、冰箱、空调、照明、彩管、真空热处理、真空脱泡、浇注、成型等工业领域应用广泛,而且在实验室、科研场所,市场的使用量也非常大.本文对于一些常见故障进行总结和原因分析,目的在于使广大用... 相似文献
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本文设计了一台CO_2套管式气冷器并对其进行了换热特性的实验研究。该气冷器采用逆流三重套管,CO_2在内管流动,冷却水在内外管间流动。实验研究了不同CO_2质量流量、入口压力和冷却水温度对传热系数、换热量和换热器效能系数的影响。实验结果表明,随着CO_2质量流量的增加,传热系数和换热量均呈先增后减的趋势,换热器效能系数逐渐减小;CO_2质量流量不变时,传热系数、换热量和换热器效能系数均随气冷器CO_2入口压力的升高而逐渐增大;随着冷却水温度的升高,传热系数、换热量和换热器效能系数均逐渐减小。 相似文献
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爪式真空泵的性能主要取决于转子型线的性质。现有转子型线存在尖点及余隙容积过大的问题,本文基于啮合原理,建立了椭圆弧及其包络线的啮合模型,构建出新型椭圆弧型转子的型线并推导其参数方程,分析了独立几何参数对真空泵工作性能的影响。通过对工作过程进行数值模拟研究了新型爪式真空泵的流场,利用受力分析比较了不同类型型线对转子力学性能和工作性能的影响。结果表明:椭圆弧型爪式转子的工作性能更佳,应力和变形更小。 相似文献
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爪式真空泵的性能主要取决于转子型线的性质。现有转子型线存在尖点及余隙容积过大的问题,本文基于啮合原理,建立了椭圆弧及其包络线的啮合模型,构建出新型椭圆弧型转子的型线并推导其参数方程,分析了独立几何参数对真空泵工作性能的影响。通过对工作过程进行数值模拟研究了新型爪式真空泵的流场,利用受力分析比较了不同类型型线对转子力学性能和工作性能的影响。结果表明:椭圆弧型爪式转子的工作性能更佳,应力和变形更小。 相似文献
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