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可用于LED衬底的材料主要有硅、碳化硅、蓝宝石、氮化镓等。由于硅单晶和氮化镓晶格匹配太差无法商业化应用;碳化硅单晶成本价格较高,目前市价约是蓝宝石晶体的5倍以上;氮化镓单晶制备更困难,虽然同质外延质量最好,但价格是蓝宝石晶体的数百倍。综上所述,预计未来30年内,蓝宝石单晶还是LED衬底材料的理想选择。目前,蓝宝石的生长方法主要有提拉法(Cz)、导模法(EFG)、泡生法(Ky)、热交换法(HEM)等。本文介绍了各种蓝宝石长晶方法,并对其优缺点进行了分析。通过分析热交换法在生长大尺寸无缺陷晶体具有明显优势,结合热交换法原理开发了氦气管道,为降低热交换法生长蓝宝石成本提供了一种可行装置和方法。 相似文献
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采用热交换法(Heat-Exchange Method,HEM)生长出无色透明的掺锆蓝宝石(Zr∶ sapphire)单晶.通过辉光放电质谱(GD-MS)、傅里叶变换红外光谱(FTIR)、紫外-可见-近红外(UV-VIS-NIR)吸收光谱、紫外-可见(UV-VIS)透过率等测试手段研究了Zr∶ sapphire的光谱性能.目前研究表明,采用HEM成功地将ZrO2掺入蓝宝石晶体中,掺入量可达3.3 ppm;蓝宝石晶体中掺入ZrO2后能消除晶体的F+色心缺陷,提高晶体在波长257 nm处的透过率;Zr∶sapphire晶体在可见、红外波段的透过率分别为83.41%、83.20%,掺入ZrO2后蓝宝石晶体依然保持其良好的可见、红外光学性能. 相似文献
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采用热交换法(Heat-Exchange Method,HEM)生长出无色透明的掺锆蓝宝石(Zr:sapphire)单晶.通过辉光放电质谱(GD-MS)、傅里叶变换红外光谱(FTIR)、紫外-可见-近红外(UV-VIS-NIR)吸收光谱、紫外-可见(UV-VIS)透过率等测试手段研究了Zr:sapphire的光谱性能.目前研究表明,采用HEM成功地将ZrO2掺入蓝宝石晶体中,掺入量可达3.3 ppm;蓝宝石晶体中掺入ZrO2后能消除晶体的F+色心缺陷,提高晶体在波长257 nm处的透过率;Zr:sapphire晶体在可见、红外波段的透过率分别为83.41%、83.20%,掺入ZrO2后蓝宝石晶体依然保持其良好的可见、红外光学性能. 相似文献
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综述了纳米含能复合材料的最新研究进展,详细介绍了纳米含能复合材料的几种制备方法:sol–gel法、溶剂/非溶剂法、高能研磨法、超临界流体法和多孔硅/填充物复合法。对这些制备方法的原理和制品的性能及其应用进行了述评,并指出了纳米含能复合材料的发展方向和需要关注的重点。 相似文献
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温梯法生长φ110 mm×80 mm蓝宝石晶体位错的化学腐蚀形貌分析 总被引:8,自引:0,他引:8
利用导向籽晶温度梯度法(TGT)生长了φ110mm×80mm的蓝宝石单晶,应用化学腐蚀、光学方法分析了该晶体不同部位、不同切片的位错腐蚀形貌、位错密度及其分布情况、发现在晶体放肩处的(1120)面位错密度约为10^4cm^-2量级,等径生长过程中造晶体中心处(0001)面位错密度为(3 ̄4)×10^3cm^-2,靠近坩埚壁处(0001)面晶体位错密度为(5 ̄6)×10^4cm^-2,用同样方法分析 相似文献
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