基于智能复合镀膜设备的控制系统设计

本文结合复合镀膜设备及镀膜工艺特点,详细分析了复合镀膜设备镀膜工艺流程以及过程中容易产生能耗和污染的问题.并在此基础上,根据设备真空系统、工装和水冷系统、控制系统以及设备各个源的协同作用进行了系统设计,通过PLC和LabVIEW软件协同设计和实现了智能复合镀膜设备自动控制系统,以保证镀膜设备和工艺生产的稳定性及可靠性,...     

《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》出版发行

由东北大学张以忱主编的真空工程技术丛书:《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》两书由冶金工业出版社出版发行。《真空镀膜技术》主要内容:薄膜基础理论、真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜、真空卷绕镀膜技术、真空化学气相沉积(CVD)、离子注入与离子辅助沉积技术、ITO导电玻璃镀膜工艺、薄膜厚度测量与监控、薄膜与表面分析检测技术。书中还系统地介绍了反应溅射镀膜、非平衡磁控溅射和中频交流溅射镀膜技术。《真空镀膜设备》详细介绍了真空镀膜设备的设计方法与镀膜机各机构元件的设计计算、设计参数的选择,其中还重点系统地介绍了磁控溅射靶的设计计算和膜厚均匀性设计。     

电感耦合腔室中等离子体特性分析及线圈优化

半导体镀膜均匀性和刻蚀精度的要求越来越高,对镀膜工艺及刻蚀工艺提出了更高的要求。现有的PECVD设备的镀膜特点是中间厚、边缘薄,镀膜均匀性有待提高。本文在研制PECVD设备过程中,通过COMSOL仿真软件,对影响电感耦合产生等离子体的因素进行仿真,结果表明：电子密度随着极间距、腔室压力、线圈功率的增大而增大。应用仿真软件的等离子体、AC/DC、优化模块进行线圈摆放位置的优化,以自定义的径向电子密度检测线上的梯度值为目标函数,通过约束函数使线圈径向移动,得到等离子体分布均匀的线圈分布图,优化后的电子密度均匀性提高34.7%。本文的研究成果应用于自主研制的PECVD设备之中,效果好,满足了用户要求。     

一种双真空室结构磁控溅射台的研制

本文研制了一种较高档的磁控溅射镀膜设备,用于微电子器件规模化生产过程中的基片表面镀膜.该设备采用双真空室结构,使溅射室始终维持较高的真空度和洁净度,提高镀膜质量和镀膜效率.环绕溅射室设计了3个直流靶和1个射频靶,能够溅射金属膜、介质膜、混合物和化合物薄膜.文中详述了该设备的设计原理、总体结构及工艺控制方法.该磁控溅射台已开发成功并投入使用,替代了同类进口设备.     

基于多体动力学的CPC工艺链系统数值仿真分析

CPC工艺链被广泛用于汽车生产线的车身装配输送过程,运行过程中受到车组吊具重力、上坡阻力、摩擦阻力等综合因素的影响。为了缩短设计周期,验证设计的安全可靠性,该文首次将多体动力学仿真分析应用于CPC工艺链系统的设计,采用脚本语言建模的方法,自动完成了CPC工艺链整体系统的链条、导轨、车组吊具、驱动和张紧等装置之间的装配约束和载荷边界条件设定。在考虑构件间真实接触、摩擦等相互作用条件下,对某汽车装配线CPC工艺链系统进行了动力学仿真分析,求得了系统整体运行时所需驱动力大小、链条链节间相互作用力等动力学分析结果,并对CPC工艺链系统运行的平顺性和可靠性进行验证,建立了完整的CPC工艺链系统的数值仿真分析方法体系。该分析过程和方法对CPC工艺链及其他相似系统的整体设计具有重要的指导意义。     

真空阴极电弧离子源磁场分析与设计

真空阴极电弧离子源是多弧离子镀膜设备的核心部件,直接影响镀膜系统的整体性能。真空阴极电弧离子源在工作时,大液滴发射是阻碍电弧离子镀技术广泛深入应用的瓶颈问题。合理设计并利用磁场可以很好地控制弧斑运动,大幅度地减少液滴、减小液滴尺寸、提高膜层质量和使用寿命。对真空阴极电弧离子源的附加磁场进行了理论分析和仿真计算,为附加磁场的优化设计提供了重要的指导依据。     

微型整体式斯特林制冷机系统的计算机仿真优化研究

从热动力学的角度,采用计算机辅助工程设计的方法对微型整体式斯特林制冷机进行整机系统的数值仿真,建立了系统计算机仿真模型,得到了不同行程配比下的内部流动状态,结果与实验得到的数据吻合得较好;从计算和实验两个角度分析了两者行程配比变化同整机性能之间的关系,为旋转式微型斯特林制冷机的几何结构设计提供了重要的参考依据.     

卷绕镀膜工艺研讨会通知

应部分单位要求,机械电子工业部沈阳真空技术研究所、中国真空学会获得专业委员会及《真空》编辑部共同发起召开卷绕镀膜(如镀遮阳膜,彩虹膜、镀铝纸、包装膜、电容器膜、装饰膜……)工艺研讨会,邀请有关专家和卷绕镀膜设备生产厂解答当前在卷绕镀膜生产中存在的问题,并进行技术交流。 请有关单位特别是卷绕镀膜设备生产厂及用户大力支持,踊跃参加,团结一致。华夏赤子安能拱手相让国外设备及产品占领我国市场。《真空》编辑部愿为马前卒,参与筹备全国大型的卷绕镀膜工艺研讨会,首先编集出荟萃国内外近十年来卷绕镀膜技术新进展的论文集 (《…     

718钢大模块淬火过程的数值模拟

借助计算机数值模拟,为塑料模具钢718大模块制订了两种新型的淬火工艺,一是预冷-水淬-自回火-水淬工艺,另一是提高奥氏体化温度,直接空冷淬火的工艺.实际生产试验的结果表明,这两种淬火工艺能够满足大模块质量要求.另外,计算机模拟结果和实验结果吻合的较好,说明这种计算机数值模拟方法可以用来设计新型淬火工艺.     

透明导电玻璃镀膜控制系统改造

透明导电氧化物镀膜玻璃采用TFC2000离线系统镀膜设备。设计本身很先进,但由于安装测试时才发现的设计错误,而在安装结束后就进行了较大改造。文章介绍了镀膜设备的原理和改造的过程,论述了如何从硬件到软件的修改去完善一个系统。