圆光栅测角仪的研制

介绍一台高精度、自动化的动态测量角度仪器。该仪器采用了高精度的回转空气轴系和多测量头的均化技术,减小了基准制造误差对系统精度的影响,采用了计算机系统控制测量过程、数据处理,实现了自动化测量。     

非调制式光纤细分光栅测量系统

本文介绍一种测量速度快、抗干扰性能好的光纤细分光栅测量系统，细分数可达数百。     

JC—1型精密测角仪的研制

本文介绍了一种高精度、积木式、多功能的能进行动态测量的精密测角仪,动态测角不确定度小于0.19角秒;该机能测角、测光栅、测量光学材料折射率等,测折射率能自动寻找最小偏向角自动测样品顶角,并打印测量结果。     

浅述计量光栅技术

利用光栅的莫尔条纹原理,把计量光栅作为精密计量元件,广泛应用于仪器仪表及机床等方面,有利于实现测量的自动化、数字化以及动态测量,并有利于提高测量精度。本文主要从莫尔条纹原理、计量光栅系统设计、光栅细分技术等方面对计量光栅测量技术及其特点进行介绍。随着现代电子技术的发展,计量光栅技术被应用于更多更广泛的领域,并向着纳米级精度突破。     

一种用软件来实现的莫尔条纹数字化细分技术

本文提出了一种新的莫尔条纹数字细分技术 ,即采用数字信号处理与软件计算的方法 ,利用单片机的信号处理能力 ,把数字化的两路正弦信号经过软件作内插形成相位差 4 5°的四路正弦信号 ,并对这四路信号进行过零点判断和计数 ,实现莫尔条纹八细分 ,在此基础上 ,利用某一时刻四路信号的采样值 ,在正弦信号线性较好的区段 ,用平行四边形法作一线性函数 ,完成莫尔条纹的十细分 ,利用此方法 ,角度测量的分辨力可达 1″。     

不依赖于长度基准的光栅细分精度的评定方法

分析了光栅细分精度与利萨如图形的关系，给出了通过利萨如图形评定光栅细分精度的方法。该方法将对测量条件要求极高的细分误差评定工作转化为普通的电压测量和计算，使光栅细分精度的评定不再依赖于高精度的长度基准。该方法适用于各种误差模型的光栅信号，也适用于其它任何以相位差为９０度的两种信号进行细分计量仪器。     

用改进的小脑模型神经网络实现光栅信号连续细分

光栅测量系统常用硬件进行信号细分，存在细分数不高、硬件复杂等问题。为此，研究了一种神经网络细分方法，即利用一种改进的小脑模型神经网络的泛化能力实现光栅信号的连续细分。该小脑模型神经网络采用直接权地址映射技术，将光栅样本信号直接映射到联想存储器，对非样本信号经联想泛化即可实现连续细分。仿真实验结果表明，仅用少量样本即可达到很高的细分精度。     

CCD用于莫尔条纹细分的技术

应用ＣＣＤ元件进行光栅莫尔条纹的细分是一项新技术。它利用ＣＣＤ具有自扫描能力的特点，能将光强随空间分布的莫尔条纹信号转换成随时间变化的电信号，光电信号的时间位相对应于莫尔条纹的空间位相。通过适当的电路处理，给出信息的过零点到ＣＣＤ起点的方波。采用单片机测脉宽的方法，即可实现莫尔条纹位相的高倍率细分。实验结果表明，分辨率可达到０．０２μｍ，线性也较好。     

光栅信号非正弦性引起的细分误差

本文分析了当莫尔条纹光电信号中含有三次谐波分量时，存在的细分移相偏差角，并讨论了由此而引起的测量长度的最大偏差及其对细分数的影响。     

粗光栅线位移测量系统细分误差补偿前后的精度分析

本文针对粗光栅线位移测量系统的误差来源 ,在大量实验的基础上 ,经过理论分析 ,得出细分误差与本底噪声的线性关系式 ,找到了系统修正误差时的理论依据。同时对系统在细分误差补偿前后作了精度分析。     

粗光栅位移测量系统细分误差的来源与消除分析

本文从粗线纹光栅位移测量系统的原理出发，对里周期性变化的细分误差作了详细的理论分析，并得到了实验的验证．同时提出了从硬件上和软件上消除细分误差的方法，为进一步研制高精度数显系统打下基础。     

新型光栅信号数字细分技术及其误差分析

在圆光栅作为分度基准的高精度测量仪器中,利用A/D转换器和单片机,用软件编程的方法,对光栅读数头输出的sinθ和cosθ函数进行新的构建,形成一线性函数。通过对新建函数和原函数进行过零检测,实现莫尔条纹八细分,然后,用软件来实现对线性函数的幅度分割,采用查表的方式实现莫尔条纹十细分。本还对此方法引入的误差进行了研究,与传统的细分法相比,此方法硬件电路简单,细分误差小,且便于误差修正,能实现高精度角度测量。     

一种基于数字细分技术的万工显技改方法

讨论了万工显测量系统的基本原理,提出了一种用数字细分技术(A／D转换技术)实现栅距脉冲软件细分的方法。以8位数字量按八区间划分为例,给出了小数值的计算公式并分析了细分误差。实验表明,该方法具有较大的工程实用价值。     

光栅内插值细分及补偿

本主要给出光栅输出原始信号的正弦分量中提取与光栅刻线间距的有关数字信息以及将其间的正弦模拟量采样量化经分后进行内插值补偿运算。可提高光栅传感器测量准确度和分辨力。     

用神经网络技术实现的高精度光栅测量装置

描述了一种用神经网络技术实现的高精度光栅测量装置。该装置采用BP神经网络对光栅信号进行细分，在仅用7个训练样本的情况下，细分精度可达0.18μm，使装置的分辨率得到很大提高，同时，简化了硬件设计，提高了系统的可靠性。     

基于比值线性化的高适应性光栅细分方法研究

电子细分是光栅位移传感器实现纳米级分辨率测量的关键,细分误差由细分方法和光栅信号质量共同决定。针对信号实时修正方法在小步距测量和一些复杂工况环境下的局限性,从提高细分方法对非理想光栅信号的适应性的角度出发,提出了基于信号比值线性化的新型电子细分方法,构建了2种实时补偿信号以进一步提高信号的线性度;详细阐述了所提细分方法的细分原理,分析了其在非理想光栅信号输入情况下的细分误差;实现了最高为0.003μm的理论细分精度和0.08μm的实际细分精度。数值仿真和对比实验结果表明,所提细分方法对非理想光栅信号的适应性明显优于常用的反正切细分法和正余弦绝对值相减细分法。