低能电子衍射强度谱的自动化测量

一、引言在表面物理的实验研究中,低能电子衍射(LEED)强度谱(I-V曲线)测量常采用测定单晶有序表面及表面化学吸附层原子结构的方法。实验装置如图1。电子枪发出的低能电子束打到样品表面。表面晶格原子列起了衍射光栅的作用,形     

二维混合结构网格电场数值模拟及其在低能电子枪设计中的应用

在半导体行业中,低能电子枪是样品二次发射系数测量和样品表面电荷中和的关键部件。为了给低能电子枪提供设计参考,本文采用二维混合结构网格电场数值模拟计算方法构造了不同结构和栅极电位的电子枪模型,研究了不同模型结构对束斑和束流的影响。结果表明,随着栅极和阳极间距的增大,电子束的放大倍率和束流会降低;随着栅极孔径的增加,电子束的放大倍率会降低,束流会逐渐达到饱和点;随着栅极电位增大,栅极对电子束的会聚作用逐渐减弱,电子束的束流呈上升趋势并最终达到饱和点。     

二维混合结构网格电场数值模拟及其在低能电子枪设计中的应用北大核心CSCD

在半导体行业中,低能电子枪是样品二次发射系数测量和样品表面电荷中和的关键部件。为了给低能电子枪提供设计参考,本文采用二维混合结构网格电场数值模拟计算方法构造了不同结构和栅极电位的电子枪模型,研究了不同模型结构对束斑和束流的影响。结果表明,随着栅极和阳极间距的增大,电子束的放大倍率和束流会降低;随着栅极孔径的增加,电子束的放大倍率会降低,束流会逐渐达到饱和点;随着栅极电位增大,栅极对电子束的会聚作用逐渐减弱,电子束的束流呈上升趋势并最终达到饱和点。     

行波管栅控电子枪栅网的结构可靠性

栅控电子枪栅网的结构设计以及栅网对束流的调整作用决定其结构设计必须具有良好的抗振可靠性,同时应保证尽可能少地截获电子枪发射的电子束,以防止发生打火和栅极发射.本文使用有限元模拟技术对栅控电子枪栅网进行模态分析,模拟分析了不同栅网尺寸的模态频率和模态振型,并对影响模态频率的因素进行探讨,为栅网的结构进行优化设计.     

行波管电子枪热状态模拟和分析

建立行波管电子枪区热状态分析模型，利用ANSYS软件对行波管电子枪的热状态进行了模拟和分析。通过改变电子枪内部的一些结构参数和工作环境参数，特别是栅控行波管的栅极结构尺寸和加载功率的变化，由模拟得到不同条件下电子枪热状态分布，为电子枪的优化设计和合理使用提供了参考。     

一种用于医疗加速器栅控电子枪阴极的研制

介绍一种用于移动术中放疗电子直线加速器中栅控电子枪阴极的设计、研制、发射性能测试及其在该加速器中的应用情况。基于栅控电子枪低蒸发、高可靠、长寿命的设计要求,研制出了钨基底平均孔度为21.6%、浸渍311主要单一相铝酸盐、覆Os-W膜浸渍覆膜钡钨阴极。测试结果表明:该阴极在工作温度950℃,直流发射电流密度5.8 A/cm2,在1000℃,脉冲宽度10μs,脉冲发射电流密度24.1 A/cm2,工作温度950℃,直流支取3.0 A/cm2,14000 h寿命发射稳定。该阴极制备栅控电子枪在医疗加速器中获得成功应用。     

真空电子束熔炼和蒸镀用的环状阴极电子枪的设计

本文讨论一种环状阴极电子枪在真空电子束熔炼、蒸镀装置中应用的一些问题,指出这种环状阴极自加速电子枪具有一系列优点,特别适合于作为中小功率应用和实验室装备。文中给出了利用计算机辅助设计时有关的计算方法和程序特点,并给出若干实例。     

低能离子束沉积形成的Ag/Si薄膜

本文介绍了由低能离子束沉积形成薄膜的方法,并讨论了这种方法的特点。简单介绍了低能离子束装置,详细讨论了由此装置产生的低能银离子束在单晶硅衬底上沉积的Ag/Si薄膜特性,以及离子束能量对硅衬底表面状态和薄膜结晶特性的影响。沉积的薄膜结晶特性由X射线衍射、背散射沟道技术和反射电子衍射进行了分析;并用俄歇电子能谱,背散射沟道技术和反射电子衍射分析了低能离子束轰击后的硅衬底表面状态。     

微波管电子光学模拟器新进展

电子光学模拟器(Electron Optics Simulator,EOS)是微波管模拟器套装的重要组成部分。EOS是一个用于模拟设计微波管中轴对称电子枪、栅控电子枪、多注电子枪、带状注电子枪和轴对称及非轴对称多级降压收集极的二维和三维有限元模拟软件。本文介绍了EOS的最新进展。为进一步提高计算精度和计算速度,EOS主要作了以下七点改进:①引入了比一次插值函数精度更高的二次插值函数;②增加了瞬态计算模块以模拟瞬态特性;③采用局部对称计算方法,减少了计算资源消耗,提高了计算速度;④增加了二维模块,提高了轴对称电子枪和收集极的计算速度;⑤研发了64位版本EOS,突破了32位版本的内存限制;⑥使用LU分解法求解矩阵,提高了有限元矩阵求解速度;⑦基于OpenMP并行计算技术,提高了计算效率。     

消除俄歇电子能谱实验中氧化物表面荷电的新方法

为使俄歇电子能谱有效地用于分析氧化物,引入环境俄歇电子能谱方法.对于消除入射电子束对氧化物表面的损伤-包括荷电现象和氧元素电子受激脱附-6×10-6Pa O2环境比中和电子枪和低能正离子束优越,也比1.3×10-2Pa氩气环境有效.     

利用微机提取俄歇电子信号

用四极栅能量分析器对样品进行表面分析,既可以得到表面的低能电子衍射图,又可以得到表面俄歇电子信息。但是由于四极栅能量分析器本身结构所限,其灵敏度和信噪比较之筒镜能量分析器为低。为弥补其不足,我们用微机及A/D、D/A技术对表面电     

φ40全金属密封闸阀

一、引言 通径φ40毫米全金属密封闸阀是为强流短脉冲电子直线加速器的栅控电子枪与大气隔离而设计、研制的。电子枪的束流传输要求该问阀的厚度尽量薄,能直接通过电子束流。由于电子枪的烘烤排气和阴极分解激活的工艺要求,以及加速器真空系统需获得超高真空,要求该闸阀内部结构简单,能耐可靠,关闭时闸板的主密封对大气的泄漏率不大于10-9-10-10托·升/秒。配上这样闸阀的电子枪在制造的工艺过程中能获得很高的超高真空,并在靠闸阀与大气隔离而移出排气台后一段较长的时间内,枪内仍能维持相当高的高真空,已激活的复合阴极不致中毒,阴极发射…     

确定强流电子枪电极的计算机方法

本文从强流电子枪的基本原理和泊松方程的有限差分解出发,采用了一种确定电子枪电极的计算机方法。轴对称平行注电子枪的设计证实了这一方法的可行性和良好的精度。所完成的0.3微朴收敛型电子枪的设计,其结果是令人满意的。     

低能X射线基准辐射装置的建立

建立了低能X射线基准辐射装置.在离辐射源1 m处得到非均匀性＜1％的辐射野直径＞40 mm,建立了5个CCRI推荐的低能X射线标准辐射质,研究低能X射线衰减规律,测定了半值层和同质系数.该装置的建立为低能X射线空气比释动能量值复现、完成2010年亚太地区APMP.RI(Ⅰ)-K2国际关键比对、建立低能X射线空气比释动能...     

彩色显象管电子枪有限元分析

本文应用有限元方法对彩色显象管电子枪的发射系统及聚集系统场分布进行了数值计算。通过对有解析解的球形电容及轴上有近似解的双园筒透镜场分布的计算,验证了本方法的精度,电位分布相对误差小于10~(-5),完全满足工程设计计算要求,所编制的程序适用于解任意不规则几何形状电极的场分布。     

多参数耦合下电子枪静电聚焦特性分析

电子枪静电聚焦特性影响电子束焊接质量,目前没有系统的理论方法计算不同型号电子枪内反映静电聚焦特性的束腰参数。通过理论分析电子枪内轴上电位分布与电子束束腰半径和位置间的映射关系,阐释电子枪静电聚焦特性;采用CST仿真平台,以某电子枪为例,设置激励源参数和边界条件,构建某电子枪静电透镜分析模型,仿真不同结构参数下电子束束腰位置和束腰截面积,结合数值分析结果,探明不同结构参数对轴上电位的影响,验证电子枪静电透镜分析模型。仿真结果为电子枪关键参数的设计和优化提供理论支撑。     

低能静电远焦距电子枪

本文介绍一种低能远焦距电子枪的设计及其调试与鉴定的结果。该枪是为俄歇电子谱仪中斜射电子枪的需要而专门研制的。沿束轴方向焦点位置的改变是借助于正栅极G_2上的电位V_G_2的调节来实现的。在加速电压为3KV,灯丝发射电流小于1毫安和真空度P=4×10~(-5)托的条件下,距离枪口70毫米处,可达到的束斑直径d_(eff)(是按总束流I的80％来定义的)和束流H分别为;d_(eff)=0.4毫米,I=3微安;d_(eff)=0;5毫米,I=50微安,d_(eff)=0.6毫米,I=100微安。在俄歇电子谱仪的长期使用中证明:这种型式的电子枪,工作稳定可靠,使用与维修都很方便,适合实验室中各种条件下的应用。     

低能起爆系统及其地面连接器

本发明介绍了一种低能起爆系统延时起爆装置的壳体，即一个带地面连接器的非电低能起爆系统，地面连接器通过低能雷管至少在一根传递管里准时低噪音地激发信号非定向传递。     

三维电子光学模拟器的网格自适应研究

根据微波管电子光学系统有限元数值分析的特点,介绍了微波管电子光学系统有限元网格自适应的后验误差估计方法和网格自适应加密策略,并成功地在微波管模拟器套装电子光学模拟器中实现了网格自适应技术。以单阳极无栅电子枪为例,给出了网格自适应方法的计算结果,同时比较了均匀加密与网格自适应加密的计算结果,结果表明:网格自适应加密具有更好的收敛性以及更快的收敛速度,同时也表明提出的网格自适应方法是有效的。     

单板机LEED强度测量仪

本文介绍用最简单的计算机(单板机)配合摄像机测量低能电子衍射强度特性的装置。这台装置具有结构紧凑、原理简易、操作方便和价格低廉等特点。它不仅在测量低能电子衍射强度特性方面性能良好,也适应于其它衍射图案的强度分析。最后介绍用这台仪器测量的部分实验结果。