电子级多晶硅生产技术

电子级多晶硅是多晶硅经过高度提纯所获得的一种材料,广泛应用于高纯硅制品,是人类现代高科技所不可缺少的一种原材料。而随着人类科学技术的发展,对于原材料质量和纯度的要求也不断提升,对此,也产生了对于电子级多晶硅生产技术的探讨。以全球发展技术状况的阐述作为基础,充分探讨了当前能够获得高质量、高纯度电子级多晶硅的相应生产技术。     

电子级多晶硅生产技术探讨

介绍了目前国内外电子级多晶硅生产技术的发展状况,重点说明了改良西门子法电子级多晶生产技术原理及其工艺流程,主要包括:氢气制备及纯化、氯化氢合成、低压氯化(三氯氢硅合成)、低温氢化(四氯化硅转化)、精馏、CVD还原、尾气回收和后处理等工序。结合电子级多晶硅生产技术的成功工程应用实践,介绍了电子级多晶硅项目的技术特点。     

电子级多晶硅的清洗液选择

对于电子级多晶硅产品而言,其质量判断的关键在于材料表面金属杂质含量情况。就目前来看,当前电子级多晶硅为去除附着在表面的金属杂质,一般都采取以酸为主的清洗工序。通过妥善选择清洗液来控制电子级多晶硅表面金属杂质含量,以提升产品质量。基于此,本文就围绕电子级多晶硅,对其清洗液选择展开重点探讨,并分析影响电子级多晶硅清洗质量的因素,以供参考。     

集成电路用电子级多晶硅大规模产业化技术实践

国内高端电子级多晶硅长期被国外垄断,理论研究和产业化实现都与国外存在差距,严重威胁了集成电路行业的安全发展.江苏鑫华半导体通过在超痕量杂质提纯技术、非接触硅料精制技术等瓶颈问题的突破,成功构建了5000 t/a电子级多晶硅生产体系,在高等级硅料产品实现、新工艺体系构建、高效产品评价等方面填补国内空白,达到了国际领军企业...     

浅析电子级多晶硅的清洗工序

电子级多晶硅产品的质量指标之一就是表面金属的杂质含量高低,而我国当下的电子级多晶硅清洗工序还是以酸洗为主导去除表面金属杂质含量,通过不同标准的化学刻蚀控制表面金属杂质含量,以达到产品的标准要求。文章就电子级多晶硅材料的化学清洗工序进行论述,讲述多晶硅的化学清洗工序中所涉及的化学试剂等因素的影响,提供清洗工序经验。     

电子级多晶硅循环氢气深冷分离除杂技术研究

通过分析多晶硅还原炉尾气回收装置循环氢气中杂质的种类、来源、去除工艺,确定采取循环氢气深冷分离除杂技术解决磷化氢、砷化氢在氢气循环过程中的累积趋势,可以有效分离循环氢气中70％ 磷化氢和95％ 砷化氢,保证还原炉化学气相沉积过程中循环氢气的纯度.     

电子级玻璃纤维生产的若干技术问题

电子级玻璃纤维属于电绝缘玻璃纤维范畴。它是电绝缘玻璃纤维系列产品中的一支新秀。由于它的生产技术难度大、产品质量要求高,被视为电绝缘玻璃纤维中的高档产品。在１９９６年世界玻纤总产量的２３０万吨中,电子级玻璃纤维为３１．５万吨,约占１３％左右。随着世界玻...     

电子级多晶硅生产还原尾气中无定型硅去除工艺研究

对电子级多晶硅生产还原尾气中无定型硅产生原因进行分析,从还原炉工艺优化调整、尾气回收系统过滤除尘方面研究相对应无定型硅的去除工艺,可以有效降低无定型硅含量,进一步提高循环氢气质量,有助于提升电子级多晶硅产品质量.     

电子级玻璃纤维布生产技术,发展动向及市场前景

电子级玻璃纤维布生产技术、发展动向及市场前景危良才（珠海玻纤公司５１９０２０）电子级玻璃纤维布是指用于电子工业的玻璃纤维布的总称。它是电绝缘玻璃纤维布中的高档产品。根据美国１９８８年４月颁布的ＩＰＣＥＧ１４０标准,这种电子系列用玻璃纤维布共有３...     

超净高纯电子级过氧化氢生产技术

本文介绍了电子级H2O2的常用生产方法；分析了市场状况及其发展趋势；我国自主开发及生产情况。     

多晶硅生产节能技术研究

现阶段人们的环境保护意识逐渐增强,为了使我国的生态环境得到改善,需要对相关企业的生产环节进行控制。在多晶硅的生产过程中,利用多种节能技术,不仅可以使多晶硅生产流程创造更多的经济价值,还能够为我国生态环境的保护工作做出相应的贡献,要从节能技术方面进行分析,确保通过提高节能技术的先进性,改善多晶硅生产中的能源浪费和环境污染问题。基于此,通过分析现阶段我国多晶硅的发展现状,探究多晶硅生产过程中节能技术的应用。     

电子级过氧化氢的质量标准、市场和生产技术

介绍了目前电子级过氧化氢的质量标准;分析了市场状况及其发展趋势;简述了工业生产中常用的几种生产方法.     

电子级过氧化氢的质量标准、市场和生产技术

介绍了目前电子级过氧化氢的质量标准;分析了市场状况及其发展趋势;简述了工业生产中常用的几种生产方法.     

电子级玻璃纤维布生产技术发展动向

电子级玻璃纤维布生产技术发展动向珠海玻璃纤维企业有限公司危良才电子级玻璃纤维布是指用于电子工业的玻璃纤维布的总称。它是电绝缘玻璃纤维布中的高档产品。根据美国于１９８８年４月颁布的ＩＰＣ—ＥＧ—１４０标准，这种电子系列用玻璃纤维布共有３３个规格，其最薄...     

我国海峡对岸电子级玻璃纤维生产发展近况

全球电子级玻璃纤维工业已经历了六十年的发展历程。迄今 ,全球已有 4 0多个国家和地区能生产不同品种和规格的电子级玻璃纤维布 (简称电子布 )。2 0 0 1年 ,全球电子布的总产量约为 11亿m2 ,其中我国海峡对岸的台湾地区为 5亿m2 ,占全球总产量的 4 5 .4 5 %。近几年来 ,由于全球电子工业蓬勃发展及全球印制电路板工业中心从欧洲逐年向亚太地区转移 ,大大地促进了我国海峡对岸的台湾地区电子级玻璃纤维生产高速发展。台湾地区主要有四家大型玻璃纤维生产企业。在 2 0 0 1年的 5亿m2 电子布中 ,必成玻璃纤维股份为 2 .3亿m2 ,占总量的 4 6 % …     

电子级试剂生产中应用的纯化技术

介绍了电子级试剂的分类,论述了近年来高纯化学试剂磷酸、异丙醇、过氧化氢和高纯化学气体氯化氢在制备过程中应用的纯化技术。展望了电子级试剂的发展前景,同时对电子级试剂的纯化技术提出了一些建议。     

深能级瞬态谱检测电子级多晶硅中的痕量Zn元素含量的研究应用

本文研究用深能级瞬态谱(DLTS)分析电子级多晶硅中的痕量Zn元素含量,首先采用传统电容深能级变温测试方法,通过测试发现没有有效结果,接着对测试方法进行改进,采用光生深能级测试方式进行测试,测试结果表明在整个变温范围内瞬态曲线符合测试预期。虽然整体变温结果仍然无法进行有效数据拟合,但从测试结果表明,测试条件在137K时,发现有一相对较强特征峰,根据该峰对应的瞬态测试曲线推定是Zn元素产生的,浓度约在2×10¹⁴cm^-3。     

电子级玻璃纤维布生产技术、发展动向及市场前景

本文综述了电子级玻璃纤维布的生产技术和发展方向及市场前景。     

电子级玻璃纤维生产的若干技术问题

介绍用单元窑池窑拉丝工艺生产电子级玻璃纤维的微粉配料、成型气流控制、池底鼓泡、 自动补偿技术以及浸润剂选用。     

电子级多晶硅生产工艺的热力学分析

基于Gibbs自由能最小原理,对SiHCl3法生产电子级多晶硅闭环工艺的3个反应子系统分别进行了化学反应平衡计算,重点对SiHCl3还原反应子系统进行了热力学分析. 对于SiHCl3还原反应子系统,适宜的操作温度为1323~1473 K,压力为0.1 MPa;温度高于1323 K,H2/SiHCl3比大于6.6,低压下有利于SiHCl3还原生产多晶硅. 针对传统的SiHCl3还原需要高温下电加热给过程操作带来的诸多不便,提出了用Cl2部分氧化使SiHCl3还原反应体系实现能量耦合的新工艺,即反应过程不需外部加热就可完成,从而节约电耗,同时还发现平衡时体系中加入的Cl2能反应完全,不会影响后序工艺的进行. 对于SiCl4转化反应子系统,高压、低H2/SiCl4比有利于生成SiHCl3.