涡轮分子泵用于加速器

加速器是用人工方法使带电粒子受电磁场作用而加速到高能量的装置。为保证带电粒子能顺利地加速到预定的能量,就要保证粒子在运动过程中尽可能避免与气体分子碰撞而造成不必要的影响和损失,这就要求粒子必须是在真空中运行,也就是说,真空系统在加速器中是必不可少的。上海先锋电机厂的 J—J2型电子静电加速器的真空系统包括电子枪、加速管、磁透镜、三通管、软连接、阀门、扫描真空盒和抽气机组等。系统的真空度要求达10~(-4)帕量级。满足     

改进的涡轮分子泵

本文介绍了一种抽速达1600升/秒的最新式涡轮分子泵的结构和性能。为了达到所要求的抽速,叶片的几何形状、叶轮的排列方法,以及压缩比的选择,都是根据不含有经验成分的理论,从大量模型泵中计算出来的。这种泵的机械尺寸与十年前相同,而抽速却超过了10倍。新型泵还安装了一种对水蒸汽抽速为1600升/秒的多层液氮致冷板。 1958年N.Becker描述了第一台商品化的轴流涡轮分子真空泵(普发伊费尔公司 TVP500型)。Becker认为,涡轮分子泵的工作原理来源于盖德的分子牵引抽气的理论,所不同之处在于它在工作时在互相牵引面之间采用较大的间隙,而且这…     

涡轮分子泵的动平衡

一、前言 旋转机械的不平衡是引起振动的常见原因之一。在高速旋转机械中,不平衡则是很严重的问题。挠性转子平衡问题。更是目前解决许多高速机械振动问题的技术关键之涡转分子泵FB—450A转速:24000转/分 FB—110转速:43000转/分一般都过第一临界转速,故为挠性转子。动平衡的目的就是要保证涡轮转子在启动和工作的过程中,使轴承所受的动压力、转子本身的变形都在允许范围之内。FB—450A分子泵原设计要求达 G0.4级。 二、分子泵挠性转子用影响系数法 计算不平衡量及其数据处理 1.转子在不平衡力作用下的变形和振动 一个静态不平衡的转子,…     

涡轮分子泵性能测试方法

ISO/TC 112(61部分) 103EISO/TC 112/SC 3(30部分) 79(修订稿) 引言 本国际标准的目的是要确保涡轮分子泵 (以下简称分子泵-校注)的性能测试尽可能在相同的条件下按相同的程序进行,以便为不同的制造厂或在不同的实验室中进行的测试,以及各制造厂产品说明书中对泵的性能介绍有一个正确的,可供比较的基础,这样对制造厂及用户双方都有利。 1.内容及适用范围 本标准涉及分子泵极限工作压强,抽速及压缩比的测试方法。因为这种泵工作的压强范围扩展的很宽,而性能测试所采用的方法又与涉及的压强范围有关,所以选定两个压强范围这就是: (a) 1…     

现代涡轮分子泵的进展

本文叙述了涡轮分子泵近期迅速发展的原因,涡轮分子泵采用的轴承型式的演变过程,宽域型复合分子泵的开发与磁悬浮轴承在涡轮分子泵上的应用。     

涡轮分子泵的发展近况

一、前言1913年,盖德提出了一种新型的与位移原理无关的机械真空泵。他的分子牵引泵实际上是这样的设想:气体分子不断地与运动着的固体表面相碰撞,按一定的方向被抽出。基于同样的设想盖德发明了扩散泵,在扩散泵中,气体分子被高速喷射的蒸汽分子带出。他将几级泵串联在一起,当前级压强为1毫巴时,对空气的压缩比达到10~6,抽速为1升/秒。一种改进的盖德分子牵引泵在1923年由霍尔维克(Hol week)提出。转子在具有环形槽的圆柱筒中转动。它所达到的抽速约为5升/秒,对空气的压缩比为10~6的好几倍。     

涡轮分子泵的整机动平衡

由于涡轮分子泵在高转速下工作作,其转子的不平衡量引起的振动将会影响分子泵的性能和工作环境,严重时可引起破坏,因此,对分子泵的转子必须经过严格的动平衡。本文介绍了用影响系数法对FB-110型涡轮分子泵进行整机动平衡的步骤,以及测量不平衡响应幅值、相位的方法,并用计算机程序控制平衡过程,程序采用人机对话的方式,简单易懂。实验结果表明。影响系数法平衡涡轮分子泵是切实可行的,而且残余不平衡响应可低于设计指标的要求。分子泵外壳振动通常小于0.05μm。     

涡轮分子泵的运用特性

涡轮分子泵是一种纯机械的压缩型排气泵,它具有启动快,可获得洁净的超高真空的特点,目前正日益受到人们的重视。在文献(1)中笔者根据涡轮分子泵的作用原理,推导了泵的两个主要参数,即泵的抽速和压缩比的表示式,并讨论了它们与实验结果比较的情况。泵抽速的表示式为 S=SBDE/(SB+DE) S～GU(l)此处SB──第一级轮叶处的抽速; DE─—进口法兰管道、防裂纲等呈现的流导; G──决定于轮叶几何形状和尺寸的常数; U──泵的转速。 泵压缩比为 K= KI、K2……K. K1～exP(gu)(2)此处K1、K2……Kn表示泵内第1、2……n级轮叶的压缩比; g—决…     

涡轮分子泵的统计理论

现有涡轮分子泵理论有一定的局限性和片面性。本文从统计物理出发,分析了涡轮分子泵的工作原理,证明了涡轮分子泵的抽气作用并不是 Gaede 分子拖动原理的一种类推,而是由于叶片与被抽气体之间的高速相对运动使入射分子与上下叶片表面的碰撞几率以及从叶轮一侧直接飞入另一侧的几率不相等。对于这种泵来说,分子拖动理论实际上只是在叶片速度不很高时的一种近似数学描述。当叶片速度接近被抽气体分子的热运动速度时,泵的抽速和压缩比将趋向饱和,即进一步增加叶片速度时,泵的抽速和压缩比均不可能有显著增加。最后还用统计理论讨论了有限长叶片的何氏系数和压缩比,其结果与实验符合得很好。     

短叶片涡轮分子泵—一种复合分子泵

本文分析了涡轮分子泵和拖动分子泵抽气机理的不同物理图象，并论证了短叶片涡轮分子泵的抽气作用是这二种分子泵抽气机理同时作用的结果，从而，这种泵具有涡轮分子泵和拖动分子泵的共同优点。     

领先一代的涡轮分子泵——欧瑞康莱宝真空

正分析仪器市场受医药、环保、机场安保等领域新挑战的驱动,开发出针对气体、爆炸物和蛋白质等物质的检测方法和仪器。如果没有真空技术的助力,现今的质谱和电子显微镜等检测方法是无法想象的。以质谱仪为代表的分析仪器工作时需要高真空,压强范围介于10~(-3)到10~(-10)毫巴之间。欧瑞康莱宝真空为分析仪器全新设计了TURBOVAC i系列分子泵。TURBOVAC i系列分子泵采用全新的设计理念为客户提供最卓越真空的性能同时也非常适合与客户的系统集成。     

领先一代的涡轮分子泵——欧瑞康莱宝真空

<正>分析仪器市场受医药、环保、机场安保等领域新挑战的驱动,开发出针对气体、爆炸物和蛋白质等物质的检测方法和仪器。如果没有真空技术的助力,现今的质谱和电子显微镜等检测方法是无法想象的。以质谱仪为代表的分析仪器工作时需要高真空,压强范围介于10~(-3)到10~(-10)毫巴之间。欧瑞康莱宝真空为分析仪器全新设     

如何选择和使用涡轮分子泵

本文首先介绍了涡轮分子泵的工作原理,结构型式及其优缺点。为了利用涡轮分子泵,获得清洁真空,国外多利用干式机械泵作其前级泵,构成无油的真空系统。然而,目前国内涡轮分子泵多以油封机械泵为其前级泵,构成了有油真空系统,如果操作不当,很难避免油蒸汽返流,对真空系统的污染。利用有油系统获得清洁真空,国内外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作经验。这些对用户正确选择和使用涡轮分子泵有油系统获得清洁真空,有一定的参考价值。     

涡轮分子泵参数化设计软件

对几种参数化设计方法进行了比较,根据涡轮分子泵的结构特点,开发了简便实用的涡轮分子泵参数化设计软件.该软件具有智能设计、自主设计、三维造型、动态模拟等功能,对产品开发、泵性能优化等具有实际意义.     

涡轮分子泵发展及使用趋势

评述近二十年来涡轮分子泵的发展,并讨论实际的工艺状况,抽速从110升/秒到9000升/秒左右的不同结构的涡轮分子泵已在市场上出售。 阐明了最重要的结构参数(转子几何形状,叶片形状及转速),对涡轮分子泵基本工作特性(抽速和压缩比)的影响。 对单向气流(“立式”)和双向气流(“卧式”)涡轮分子泵,从生产成本、振动情况、可靠性及售出后的服务等方面,作了比较和讨论。 除以传统的油润滑滚珠轴承为基础的分子泵外,近几年在市场上还出现几种使用所谓“干式”轴承的涡轮分子泵。这些具有气体或电磁转子轴承的涡轮分子泵,由于轴承的结构复杂,其价格…     

对新式涡轮分子泵的看法

我们同最近发表的一些文献所持的观点不一样。本文论证了对轻气体的压缩比并不取决于涡轮叶片的几何形状。在这些文献中对不同抽速解释为与被抽气体的性质有关，这种解释没有充分的根据。本文以表格的形式列出了压缩比和抽速的数据。     

关于涡轮分子泵的一些研究

本文在简要地评述分子泵的发展过程后,着重研究了涡轮分子泵的机理及其特性,并与实验进行了比较,文后对分子泵的发展前景作了展望。