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电子级磷酸工业化战略及其配套技术 总被引:1,自引:1,他引:0
殷宪国 《硫磷设计与粉体工程》2010,(2):15-19
为了适应半导体芯片、液晶制造业向中国转移,半导体芯片和集成电路微细加工、薄膜—液晶制造工艺需要的电子级磷酸包括MOS级、BV级万吨规模工业化装置正在各地建设。提出了发展我国电子级磷酸的工业化战略,并提出了与电子级磷酸制备工艺相关的配套技术开发意见和建议。 相似文献
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殷宪国 《硫磷设计与粉体工程》2010,(5)
在电子级磷酸制备中,吸附与膜分离技术得到充分应用,不仅提高了磷酸的纯度,而且投资少,能耗较低,易于工业化。分别介绍了吸附与膜分离技术在电子级磷酸制备中的应用情况及其进展,并对其存在问题提出了改进意见。 相似文献
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介绍了电子级磷酸的用途、产品标准和检测方法,综述了电子级磷酸研究、生产的最新进展以及生产所需的配套技术,重点阐述了电子级磷酸生产中黄磷与磷酸净化的方法、过程和特点,指出电子级磷酸生产技术的发展趋势应为黄磷净化与磷酸净化的集成,以及生产全程净化工序的系统优化,从而实现净化效率的提高以及生产成本的降低。 相似文献
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随着半导体芯片和液晶显示器(LCD)制造业向我国转移,以及国内电子级磷酸需求量的日益增长,精细磷化工已成为我国磷酸工业发展的必然趋势.阐述了电子级磷酸的应用领域、分类、纯化技术,以及生产电子级磷酸的配套技术,认为我国在提高电子级磷酸生产工艺水平的同时,应加强其配套技术的研发. 相似文献
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介绍了电子级磷酸的开发研究现状、制备方法、质量标准。重点综述了电子级磷酸装置工程设计特点,包括厂房设计、材质选择和超纯水问题。展望了电子级磷酸的发展前景,并提出了电子级磷酸生产装置建设意见和建议。 相似文献
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介绍近几年我国在高纯黄磷和电子级磷酸生产与研究方面取得的进展。特别介绍多技术耦合开发的电子级磷酸制备技术、较多采用的结晶熔融法提纯技术和设备等以及在相关配套技术方面的进展。提出今后对BV-Ⅱ级以上电子级磷酸的需求将增加,磷化工行业需加快发展。 相似文献
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近年来,我国在工业黄磷精制科学研究与生产技术方面发展迅速,高纯黄磷在实验室的成功制备为生产食品级磷酸盐、电子级磷酸与医药级磷酸盐打下了基础.介绍水相氧化法、区域熔融法、有机溶剂萃取法等各种技术组合精制黄磷技术及黄磷专用过滤器的技术进展,并提出了加快发展我国高纯黄磷精制技术的意见与建议. 相似文献
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