同步辐射X射线光刻应用新领域—LIGA技术

介绍了一种超微细加工新方法－ＬＩＧＡ技术对掩模材料、光刻胶和光源的要求予以讨论，同时还介绍了国外在这方面的最新研究成果，ＬＩＧＡ技术是深度Ｘ射线刻蚀，电铸成型和塑料铸模等技术相结合的综合技术，是制造微型机械最有前途的方法，与传统半导体超微细加工方法相比，ＬＩＧＡ技术有以下优点：（１）用材广泛，可以是金属、陶瓷、聚合物及玻璃；（２）可加工任意复杂的图形结构；（３）可制造有较大高宽比的超微细元件；（４     

LIGA技术制备正电子慢化体的实验研究

LIGA技术是具有加工精度高、深宽比大、表面平整、应用领域广等优点，是一种先进的微细加工方法，实验中将LIGA技术的优点用于正电子慢化体的制作中，能获得传统加工方法无法制作出的薄壁网状多孔镍结构，满足新型正电子慢化体的制备要求。本文报道了用LIGA技术制作正电子慢化体的实验研究。     

LIGA工艺在工程中的两类应用

本文从LIGA工艺的工程应用角度，简要介绍微小型安全密码锁机构、微小型加速开关结构的基本设计问题和工艺问题，初步分析了这两类组件制造对LIGA工艺的需求与要求。     

用同步辐射X射线荧光微区分析技术测定单晶硅中的掺杂元素As

利用同步辐射Ｘ射线微区分析技术，研究了单晶硅中掺杂元素Ａｓ浓度的定量分布，并对结果进行了讨论。     

同步辐射硬X射线微束技术

同步辐射硬X射线微束(微探针)技术是目前很多学科领域的主流分析技术,本文介绍了同步辐射硬X射线的各种微束技术以及微束的应用研究情况,阐述了各种微束技术的基本聚焦原理,并对其优势和不足以及发展状况作了简要的概述.     

LIGA技术X光深层光刻工艺研究

通过在北京高能所3W1束线上进行的X光深层光刻工艺研究,获得了侧壁光滑、陡直、厚度达100μm,深宽楷比达20的光刻胶和金属微结构,表明该光束线适用于LIGA技术的研究。     

SRXRF微探针技术研究股骨头切片元素的精细分布成像

使用同步辐射X射线微探针技术对正常和骨质疏松股骨头切片元素浓度分布进行扫描测量。获得了Ca、P、K、Fe、Zn、Sr、Pb等元素在股骨头切片组织中包括软骨、密质骨、松质骨中的精细分布CT成像。     

同步辐射微探针荧光分析

本介绍了同步辐射及其特点，同步辐射微探针荧光分析的实验装置及北京同步辐射装置上开展的研究工作。     

纳米银固体中的微孔道

综合分析了高致密度（密度为常规多晶银的95％）纳米银固体的同步辐射光电子能谱、X射线光电子能谱和真空加热实验的结果后,发现在高致密度纳米银固体内,除了空隙后,还应当有一定数量的微孔道存在。其中一些微孔道开口于纳米银固体的表面,外界气体可以通过这些微孔道进入纳米银固体内部。     

同步辐射共聚焦X射线荧光微探针技术在生物原位研究中的应用

同步辐射共聚焦X射线荧光微探针技术(Synchrotron Radiation confocal micro X-ray Fluorescence,confocalμ-SRXRF)是一种具有深度分辨的三维元素分析方法,可以原位获得样品不同深度的化学元素信息,广泛应用于生命和环境原位研究领域.在上海同步辐射光源(Shan...     

同步辐射光刻技术研究进展

光刻技术是推动集成电路制造业不断向前发展的关键技术。X射线光刻技术是下一代光刻技术的一种，具有产业化的应用前景。掩模技术是X射线光刻技术的难点，本文报告了国内利用同步辐射源的X射线掩模和光刻技术研究的最新进展。     

用同步辐射X射线荧光微探针技术研究硝酸镧对单个平滑肌细胞内重要元素分布的影响

应用同步辐射X射线荧光微探针技术（SRXRF），观察稀土元素化合物硝酸镧La(NO3)3(浓度为10^-8mol/L）对培养的单个大鼠平滑肌细胞内重要元素分布的影响，获得La(NO3)3作用4h,8h,24h时单个细胞内P，K，Ca,Fe,Cu,Zn,La等元素含量的相对计数。实验中观察到，10^-8mol/L La^3 持续作用后，细胞内K，Ca,Fe,Cu,Zn等元素含量分布发生改变。结果表明，La^3 可能富集在细胞内，影响细胞内某些重要元素含量的分布，可能是引起细胞生理生化变化的机制之一。     

SRXRF微探针技术研究股骨头切片元素的精细分布成像

使用同步辐射X线微探针技术对正常和骨质疏松股骨头切片元素浓度分布进行扫描测量。获得了Ca、P、K、Fe、Zn、Sr、Pb等元素在股骨头切片组织中包括软骨、密质骨、松质骨中的精细分布CT成像。     

纳米尺寸同步辐射X射线光刻技术研究

本报道了作在同步辐射X射线光刻研究中的一些新进展，其中，最细尺寸已达50纳米。     

同步辐射微束X射线荧光分析及其在生物医学中的应用

介绍了同步辐射微束X射线荧光分析的特点，主要的仪器设备和方法。介绍了在头发和病变组织中微量元素成分的扫描分析，细胞元素谱及其在外界物理、化学条件下的变化分析等。展示了同步辐射微束X射线荧光分析在生物医学研究中的广阔前景。     

SRXRF微探针技术研究股骨头切片元素的精细分布成像

使用同步辐射X射线微探针技术对正常和骨质疏松股骨头切片元素浓度分布进行扫描测量,获得了Cu,P,K,Fe,Zn,Sr,Pb等元素在股骨头切片组织中包括软骨、密质骨、松质骨中的精细分布CT成像。