用LIGA技术制作微马达构件

阐述了LIGA技术的组成及特点。对LIGA工艺掩膜、X射线光刻、电铸及塑铸等进行了朱理分析。用一次成型法制作了以聚酰亚胺为衬基、以Au为吸收体的X射线光刻掩膜。简单介绍了这种掩膜的制作工艺过程，并用这种掩膜在北京电子对撞机国家实验室进行了同步辐射X射线光刻，得到了深度为500μm，深宽比达8．3的PMMA材料的微型电磁马达联轴器结构。给出掩膜和X射线光刻照片。同时，对Au、Ni等金属材料的厚膜电铸进行了工艺研究。     

同步辐射X射线光刻应用新领域—LIGA技术

介绍了一种超微细加工新方法－ＬＩＧＡ技术对掩模材料、光刻胶和光源的要求予以讨论，同时还介绍了国外在这方面的最新研究成果，ＬＩＧＡ技术是深度Ｘ射线刻蚀，电铸成型和塑料铸模等技术相结合的综合技术，是制造微型机械最有前途的方法，与传统半导体超微细加工方法相比，ＬＩＧＡ技术有以下优点：（１）用材广泛，可以是金属、陶瓷、聚合物及玻璃；（２）可加工任意复杂的图形结构；（３）可制造有较大高宽比的超微细元件；（４     

LIGA工艺在工程中的两类应用

本文从LIGA工艺的工程应用角度，简要介绍微小型安全密码锁机构、微小型加速开关结构的基本设计问题和工艺问题，初步分析了这两类组件制造对LIGA工艺的需求与要求。     

LIGA技术制备正电子慢化体的实验研究

LIGA技术是具有加工精度高、深宽比大、表面平整、应用领域广等优点，是一种先进的微细加工方法，实验中将LIGA技术的优点用于正电子慢化体的制作中，能获得传统加工方法无法制作出的薄壁网状多孔镍结构，满足新型正电子慢化体的制备要求。本文报道了用LIGA技术制作正电子慢化体的实验研究。     

全新深亚微米X射线T型栅工艺

GaAs半导体材料可以提高器件运行速度,日益引起人们的注意,但是也给器件制造带来了许多问题。在本个,一个全新的可应用于HEMT器件的深亚微米X射线T型栅工艺被提出来,该工艺采用三层胶方法,曝光实验是在北京同步辐射3BlA束线上进行的,并且取得了好的结果。     

SRXRF微探针技术研究股骨头切片元素的精细分布成像

使用同步辐射X射线微探针技术对正常和骨质疏松股骨头切片元素浓度分布进行扫描测量。获得了Ca、P、K、Fe、Zn、Sr、Pb等元素在股骨头切片组织中包括软骨、密质骨、松质骨中的精细分布CT成像。     

同步辐射X荧光分析用于苔藓植物监视大气污染的初步研究

为探讨苔藓植物监视大气污染的机理,我们将苔藓活体样本同时置于受工业污染的上海钢铁研究所和作为对照的上海应用物理研究所暴露一个月,在日本高能物理所(KEK)的同步辐射X荧光实验站上对它们的植株作常规的元素分析,对叶片、茎横切面作微区扫描测定,获取其Pb、Cu、Fe、Ni、Mn、Zn、Ca、K等金属元素分布.结果表明,苔藓植物的叶片和茎干吸附金属离子后不是均匀分布的,尤其是叶尖和中肋部位富集了K、Ni、Fe、Pb等元素.受污染苔藓的叶表吸附、富集了过量的Pb等金属离子,污染环境导致植物微结构和生长发育受到严重损伤,同时抑制了植物对K、Ca等微量营养元素的正常吸收.     

SRXRF微探针技术研究股骨头切片元素的精细分布成像

使用同步辐射X线微探针技术对正常和骨质疏松股骨头切片元素浓度分布进行扫描测量。获得了Ca、P、K、Fe、Zn、Sr、Pb等元素在股骨头切片组织中包括软骨、密质骨、松质骨中的精细分布CT成像。     

同步辐射TXRF用于细胞元素谱的初步研究

叙述了同步辐射全反射Ｘ射线荧光分析用于细胞元素谱研究的实验装置和方法，通过猪肝和水标准参考物质的ＴＸＲＦ实验，给出了某些元素的检出限，以此为据给出了每个细胞的平均元素含量，并对实验结果进行了讨论。     

同步辐射X荧光微探针用于骨质疏松股骨头切片元素分布的研究

使用同步辐射X射线微探针技术对正常和骨质疏松股骨头切片元素浓度分布进行扫描测量。详细介绍了切片样品的制备和扫描实验装置,获得了Ca、P、K、Fe、Zn、Sr、Pb等元素在股骨头切片组织中（包括软骨、密质骨和松质骨）的精细分布CT成像,结合Ca与P、K、Zn、Sr等元素的相关性统计,探讨了骨矿物质流失途径和元素对维持正常骨结构的生理功能。     

SRXRF微探针技术研究股骨头切片元素的精细分布成像

使用同步辐射X射线微探针技术对正常和骨质疏松股骨头切片元素浓度分布进行扫描测量,获得了Cu,P,K,Fe,Zn,Sr,Pb等元素在股骨头切片组织中包括软骨、密质骨、松质骨中的精细分布CT成像。     

同步辐射共聚焦X射线荧光微探针技术在生物原位研究中的应用

同步辐射共聚焦X射线荧光微探针技术(Synchrotron Radiation confocal micro X-ray Fluorescence,confocalμ-SRXRF)是一种具有深度分辨的三维元素分析方法,可以原位获得样品不同深度的化学元素信息,广泛应用于生命和环境原位研究领域.在上海同步辐射光源(Shan...     

同步辐射微束X射线荧光CT的计算机模拟

同步辐射微束X射线荧光CT是一种能无损、高空间分辨和高灵敏地探测样品内部元素含量和分布的新技术,是在建的上海光源(SSRF)硬X射线微聚焦及应用光束线站可开展的实验方法之一.本文简要介绍了同步辐射微束X射线荧光CT的基本原理和实验技术发展,对同步辐射微束X射线荧光CT实验进行了计算机模拟,用滤波反投影算法(FBP)、代数重构算法(ART)和加吸收修正的FBP算法重构了模拟样品的图像.对各种重构方法得到的图像质量进行了分析和比较,讨论了其适用性.     

微通道板在软X射线能区的绝对标定

在北京同步辐射装置(Beijing synchrotron radiation facility,BSRF)的3W1B软X射线光束线上利用Si光电二极管传输标准探测器对微通道板(Microchannel plate,MCP)探测器进行了能量响应效率的绝对标定.给出了能量范围在50-250eV的能量响应的标定结果,并给出了标定的不确定度.利用标定后的MCP对同步辐射光束线能谱及偏振特性进行了测量,得到了理想的结果.     

SR-XRMP研究海山富钴结壳微构造的元素分布特征

海山富钴结壳具有与大洋锰结核相似的叠层石微构造,蕴含着与古海洋环境相关的丰富信息.本文用同步辐射X射线微探针研究了采自西太平洋海山区两个富钴结壳样品剖面的多种微结构及其主要成矿元素的微区分布特征,揭示了结壳在漫长的生长过程中Mn、Fe、Co、Ni、Cu、P和Ca的相关关系的变化及古海洋学意义,这些变化特征可作为重要古海洋事件--磷酸盐化的判别依据.     

同步辐射X射线荧光微探针对单个流体包裹体的探测分析

本简述流体包裹体研究的意义。介绍在BSRF的实验条件下，用同步辐射X射线荧光微探针对单个流体包裹体作无损成分分析实验探索，包括样品的制备、流体包裹体鉴别和选择及在工作平台上对它们作显微对光，进行探测等。在20×10μm^2和10×10μm^2束斑下对几种类型流体包裹体作了测试分析，并对结果作了讨论。     

U-M_o微球物理包覆工艺研究

为了减少U—M_o微球在混料和成型过程中发生偏聚的现象,改善(U-M_o)-Al弥散燃料铀分布的均匀性,研究了多种U-M_o微球物理包覆工艺及建立的包覆工艺对微球流动性的影响。本文采用相近尺寸(直径约100μm)的不锈钢微球代替U-M_o微球。结果表明:直接添加黏结介质包覆工艺和自由落体包覆工艺不适合微球的包覆;采用溶剂挥发法在每颗微球表面都包覆了一层基体粉末颗粒,微球表面的粗糙度明显增大,流动时颗粒间产生机械咬合力,降低了微球的流动性。     

用同步光微束作激发源的PSS性能研究

用同步光微束作激发源,对所研制的平面晶体波长色散位置灵敏谱仪（PSS）性能进行了研究。结果表明,用LiF（200）晶体测得TiKα的能量分辨率达14．2eV,比Si(Li）探测器的能量分辨率好一个多量级;用Si(Li）观察不锈钢样品中的含CrKβ与MnKα两X线为一重叠的峰,而用PSS能清楚地分辨它们;对K2Cr2O7样品中Cr的探测限＜200μg/g和对一气溶胶样品中Ti的可检测量达10^-9-10^-9g量级。结果表明,随着实验条件的使PSS的探测限进一步降低,在同步光束线上用PSS开展高能量分辨的微量元素分析将是可行的。     

钧瓷铜红釉呈色机制的初步研究

利用同步辐射光源,对一枚带红釉的元代钧瓷表面进行了无损的X射线吸收精细结构分析(SR-XAFS).将釉中铜的相关标准谱作线性拟合,并与样品的近边图谱作比较分析,结果表明,红釉层内,铜的存在状况为:37%的单价铜和63%的零价铜,零价铜主要以金属团簇或多聚体形式存在其中.而在红釉表面,则主要为单价铜.对延展边的处理结果表明,单价铜孤立地镶嵌在玻璃体网格结构中.铜的这些特殊存在形式导致了钧釉独特的光学性质.另外,采用同步辐射X射线荧光光谱(SRXFS)分析技术,无损测定了釉中元素的分布特征,最后,尝试对这些复杂结构的形成机理进行了探讨.