首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 171 毫秒
1.
铜薄膜在100℃~400℃下氧化行为的微观表征   总被引:3,自引:0,他引:3  
本文研究了在100℃~400℃下溅射制备的40nm铜薄膜的氧化行为。利用原子力显微镜(AFM)观察了铜薄膜氧化前期的微观形貌,并利用X射线衍射(XRD)和能量分散X射线谱(EDX)分析了其晶相结构和成份。随着温度的升高,铜薄膜氧化速率明显加快。在100℃下,Cu薄膜表面生成岛状非晶氧化物,温度升高至200℃后,生成Cu2O相的同时Cu薄膜表面产生重构现象,呈现疏松的网状结构。300℃和400℃下Cu薄膜几乎全部氧化,分别形成均匀分布的Cu2O和CuO晶粒。结果表明,利用AFM和XRD能灵敏地跟踪纳米尺度Cu薄膜的氧化过程。  相似文献   

2.
本文通过在ZnO/Si(111)衬底上,利用JCK-500A型射频磁控溅射系统溅射氧化镓靶得到氧化镓薄膜.然后将硅基Ga2O3置于管武石英炉中,在850℃的氨化温度下氨化15min后,成功制备出GaN薄膜,该薄膜由正六边形的晶粒组成.X射线衍射(XRD)表明GaN具有六方纤锌矿结构,晶格常数为a=0.318nm和c=0.518nm.X射线光电子能谱(XPS)的测试确定了样品中Ga-N键的形成,并且Ga和N的化学计量比为1:1.用扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观察发现,样品表面非常光滑和平整.透射电镜(TEM)表明薄膜由正六边形晶粒组成.选区电子衍射(SAED)进一步验证了GaN薄膜的六方纤锌矿结构.最后,简单地讨论了其生长机制.  相似文献   

3.
采用射频磁控溅射法,在单面抛光的Si(111)衬底上制备了PbTe薄膜,利用X射线衍射法分析了溅射工艺参数如溅射功率、溅射时间、衬底温度以及退火温度对PbTe薄膜的结晶质量的影响。结果表明:在溅射功率为30W,溅射时间为10 min,衬底未加热时制备的薄膜具有最好的〈100〉方向的择优取向性;退火处理可以改善薄膜的结晶质量,并且退火温度越高,薄膜的结晶质量越好。  相似文献   

4.
李星  陈俊英黄楠 《功能材料》2007,38(A05):1862-1864
利用阳极氧化的方法,通过在改变电解液的成分分别制备了利用TiO2表面和PTFE-TiO2复合薄膜表面.利用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、扫描电子显微镜(SEM)等手段检测薄膜的表面结构、成分和微观形貌等,利用躺滴法测定薄膜表面与水的接触角.通过钛、氧化钛、复合表面在微观结构、组成和形貌的不同和血小板黏附实验的结果,探讨不同组成、结构的材料表面在血液相容性上的差异,最终得出复合薄膜在血液相容性上有了较大改善的结论。  相似文献   

5.
采用RF磁控溅射法制备了Al/PbTe薄膜,并在真空电阻炉中对薄膜进行退火处理,研究了退火时间对Al/PbTe薄膜的表面形貌、物相组成、透射率和电阻率的影响。结果表明:所制备的Al/PbTe薄膜具有明显的〈100〉方向择优取向;随着退火时间的延长,薄膜的PbTe(200)衍射峰强度明显下降,并且出现了PbTe(111)衍射峰;退火后Al/PbTe薄膜表面出现了花状聚集,且随着退火时间的延长,花状聚集越来越密集和均匀;退火后Al/PbTe薄膜的吸收带向短波方向发生了少许偏移,随着退火时间的延长薄膜的透射率和电阻率都呈现先减小后增大的趋势。  相似文献   

6.
Al诱导a-Si:H薄膜的晶化   总被引:6,自引:0,他引:6  
采用等离子体化学气相沉积方法在镀Al玻璃及单晶Si衬底上制备了氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜,研究了样品在不同的热处理过程中Al对其晶化过程的影响.X射线衍射测量发现,由于Al的存在使a-Si:H的晶化温度大幅度降低,并得到了有强烈(111)结晶取向的多晶Si薄膜.X射线光电子能谱分析表明,热处理过程中Al向Si薄膜表面的扩散降低了Si的成核温度.  相似文献   

7.
掺银离子TiO2薄膜的结构及与不锈钢基板的界面反应   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用溶胶-凝胶法在不锈钢表面制备掺银的TiO2薄膜,研究氧化处理对不锈钢表面Ag/TiO2抗菌薄膜组成和性能的影响,利用X-射线衍射谱(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和X-射线光电子能谱(XPS)等对经氧化处理和未经处理的不锈钢表面Ag/TiO2薄膜进行比较,研究薄膜的结构、界面反应特征及机制.发现:未经氧化处理的不锈钢由于其中的铁原子进入薄膜与TiO2反应形成钛酸铁固溶体薄膜;经氧化处理后不锈钢表面形成一层比较致密的氧化铁层,阻止了不锈钢内部的铁原子扩散进入薄膜与TiO2反应,表面同时形成钛酸铁和锐钛矿型的TiO2薄膜;锐钛矿型的TiO2与银离子反应形成钛酸银,既保持了银离子的高杀菌性能(样品的6小时抗菌率达到100%),同时又不至使金属银形成而使材料变色.在未经氧化处理的不锈钢表面,掺银TiO2薄膜中的银离子转化为单质银,抗菌性能低.  相似文献   

8.
李新昌  陈俊英黄楠 《功能材料》2007,38(A05):1813-1815
采用非平衡磁控溅射法制备了2种不同结构的TiO2薄膜,对所得TiO2薄膜分别运用碱处理和酸处理2种化学方法进行表面处理,期望在材料表面获得羟基活性基团。运用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)等手段研究了薄膜的表面结构、成分等。利用傅立叶红外技术(FTIR)对活化处理前后样品表面的羟基基团进行检测,同时利用四探针测试仪对薄膜的电阻率进行了测量。结果表明,运用碱处理和酸处理2种方法,可以在锐钛矿型TiO2薄膜表面形成活性羟基基团;相比于金红石型TiO2薄膜,锐钛矿型具有较好的羟基活化能力。  相似文献   

9.
热丝CVD法低温制备的多晶硅薄膜质量对衬底依赖性的研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
以SiH4和H2作为反应气体,采用HWCVD的方法分别在石英玻璃、AZO、Si(100)和Si(111)衬底上制备了多晶硅薄膜。利用X射线衍射(XRD),拉曼(Raman)光谱和傅里叶红外(FT-IR)吸收光谱研究了不同衬底对多晶硅薄膜的择优取向、晶化率和应力的影响,用SEM观察了多晶硅薄膜的表面形貌。研究发现在4种衬底上生长的多晶硅薄膜均为(111)择优取向。单晶硅片对多晶硅薄膜有很强的诱导作用,并且Si(111)的诱导作用优于Si(100)的诱导作用。AZO对多晶硅薄膜生长也有一定的诱导作用。通过计算薄膜晶态比,得到除以石英为衬底的样品外,其它3种样品的晶态比均在90%以上,尤其以单晶硅片为衬底的样品更高。石英玻璃、AZO和Si(100)上生长的多晶硅薄膜中均存在压应力。  相似文献   

10.
磁控溅射制备五氧化二钒薄膜的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用射频磁控溅射的方法,在不同条件下制备了氧化钒薄膜样品,分别在不同温度条件下做了退火处理,并对退火前后样品做了X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)和激光扫描共聚焦显微镜测试与分析,旨在得出制备良好的V2O5 薄膜的条件。  相似文献   

11.
A method is proposed for estimating the parameters of a mixture of exponential and Weibull distributions for which the accuracy of preliminary estimates obtained by graphical analysis is refined in accordance with the criterion of maximum likelihood. The efficiency of the proposed method is supported by the results of statistical modeling.  相似文献   

12.
An approximate analytical expression is derived for the velocity of the front of the wave of change of boiling modes on a rod and on a plate. The impact of the Thomson effect and of the heater orientation in the gravity field is included. Adequate agreement is demonstrated between the derived relations and experimental data.  相似文献   

13.
A novel method for the determination of the optical properties of tissue from time-domain measurements is presented. The data analysis is based on the evaluation of the first moment and the second centralized moment, i.e., the mean time of flight and the variance of the measured distribution of times of flight (DTOF) of photons injected by short (picosecond) laser pulses. Analytical expressions are derived for calculation of absorption and of reduced scattering coefficients from these moments by application of diffusion theory for infinite and semi-infinite homogeneous media. The proposed method was tested on experimental data obtained with phantoms, and results for absorption and reduced scattering coefficients obtained by the proposed method are compared with those obtained by fitting of the same data with analytical solutions of the diffusion equation. Furthermore, the accuracy of the moment analysis was investigated for a range of integration limits of the DTOF. The moment analysis may serve as a comparatively fast method for evaluating optical properties with sufficient accuracy and can be used, e.g., for on-line monitoring of optical properties of biological tissue.  相似文献   

14.
15.
可燃气体检测报警器测量结果的不确定度评定   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文详细介绍了可燃气体检测报警器示值误差测量结果的不确定度评定方法。  相似文献   

16.
17.
水三相点是开尔文热力学温度的唯一基准点,也是ITS-90国际温标重要的定义固定点。因此,水三相点不确定度分析对整个温标的建立、温度量值传递起着至关重要的作用。近3年来,中国计量科学研究院研制出一系列高质量的水三相点容器,加强了水三相点的研究,为不确定度的分析提供了更为可靠的实验依据。同时,不确定度的分析也是客观评价新研制容器性能的一个重要指标。因此,根据实验结果对新研制容器所复现的水三相点进行了不确定度评定。评定结果表明,其扩展不确定度为0.16mK(k=2.69,P=0.99)。  相似文献   

18.
本文介绍了心电图机电压测量示值误差测量值的不确定度评定与表示方法。  相似文献   

19.
20.
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号