静电多极偏转器的计算方法

一、概述静电多极偏转器是电、离子光学系统中的一个基础部件,近年来它在电子束曝光机和聚焦离子束装置中得到普遍的应用,其主要原因:1.扫描速度快,生产效率高;2.合理设计多极偏转器,其象差可做得较小,并对象散易于进行校正;     

多极静电偏转器获得均匀偏转场的方法

本文推导了两种类型的多极静电偏转器在无穷长情况下场分布的普遍解;提供了多极静电偏转器在光轴附近获得均匀偏转场的方法;计算了六种实用的多极静偏器,给出了有关公式和数据,分析了两种多极静偏器之间的联系和区别。     

电阻盒式静电偏转器场分布和象差的简单计算公式

文章给出电阻盒式静电偏转器场分布和象差的简单计算公式。这种静偏器的场分布与选取合适“调节参数”的多极静偏器的场分布具有相同分布模式。经简化后,十六个象差系数公式只有九项积分运算,且没有光轴电场强度分布的二阶导数。给出光轴电场强度分布的近似公式,从而偏转场分布可以用解析表达式确定,象差系数的计算也更为方便、简单。     

多极静电偏转器偏转场分布之解

文章推导了两种多极静电偏转器偏转场分布的统一、简单之解;采用有限差分法,计算了多极静偏器多种不同几何尺寸的富里埃函数系数和光轴电场强度分布等场参量,提出多极静电偏转器和平行板静电偏转器光轴电场强度分布的近似公式;讨论了多极静电偏转器偏转场分布的各种特点。     

静电偏转系统象差的计算和静电MOL系统的研究

一、引言 近年来,随着高亮度离子源的出现,微米、亚微米聚焦离子束装置迅速发展起来。其应用范围也不断扩大,包括:扫描离子显微镜、二次离子质谱仪、集成电路的掩模版的修理、无掩模注入以及离子束曝光等等。本文就这类装置,特别是用于离子束曝光等要求在较大扫描范围内得到足够小束斑的系统进行探讨。     

楔形偏转线圈和平板电极静电偏转器的偏转场的计算方法

本文介绍楔形截面的偏转线圈和平板电极的静电偏转器的偏转场的计算方法。楔形线圈可以组合成形状多样的组合磁偏转器,有利于通过适当改变场分布形状,进一步减小偏转象差。矩形平板电极静电偏转器的优点是结构简单,有希望用它组成多电子束系统的偏转器阵列。根据上述两种偏转器的计算方法,已建立起实用的计算机程序,计算了一些典型结构偏转器的场分布。     

磁聚焦静电偏转型摄象管的象差

本文全面分析了偏转系统采用图案型偏转轭的磁聚焦静电偏转型摄象管的各种象差,详细讨论了减小象差,提高摄象管分辨率的途径.     

静电多极系统的数值计算

本文阐述了边界元方法在静电场计算中的基本原理,强调当电极形状较复杂时(例如多极系统),采用孔斯(Coons)方法的优点。同时,文中也给出了程序设计的基本思想及四极透镜和八极偏转器的计算实例。计算表明,该程序计算静电多极系统即使在微机上也有足够精度,完全可满足一般设计要求。     

均匀静电场偏转系统的几何象差的计算

本文从电子在理想均匀静电场中的运动方程出发,推导出了三级几何象差的公式。所得结果不但可用来估算点束或成形束的畸变、象散、和场曲彗差量,而且可用来选择偏转器的初始尺寸和确定对中偏差所造成的影响。本文还指出了前人工作中存在的一些错误。     

静电偏转系统基本参数的计算

前言电子束管是电子管各分支中至今仍在发展的一个分支。国际信息显示方面的有关专家认为,在可见的将来,电子束管仍然是主要的技术领域。示波管是电子束管的一种,虽然近年来它的发展速度不象电子束管的其它某些品种(如光栅扫描显示管等)的发展速度那样快,但它“继续显示出创新和发展”。就普通示波管而     

弯曲轴静电聚焦—偏转复合系统的象差计算

本文对透镜后偏转和透镜中偏转的两种静电聚焦一偏转复合系统的三级几何象差和一级色差进行了数值计算。计算结果表明,在匹配弯曲轴的情况下,这种复合系统有可能获得较小的偏转象差,同时本文也给出了判断复合系统中聚焦场与偏转场真正匹配的某些判据。     

多极场展开法用于静电偏转摄象管的数值分析

一、前言最近,磁聚焦、静电偏转(MS)型摄像管因其具有分辨率高且一致性好、图像畸变小等特点而被越来越多地用于业务和广播电视摄像机。另外,SS型摄像管的实用化正在进行中,可期待出现业务和生活用的小型、轻量、省电的视频摄像机。静电偏转摄像管的特征是在管内形成锯齿状图案电极。我们以前曾用拉普拉斯方程的分离变量法求解曲线箭形图案的三维偏转电场,对MS型摄像管的聚焦、偏     

用一维方法计算一些迴转型静电偏转场问题

本文介绍了将一些迴转型静电偏转场问题归结成圆筒模型,给出了用一维方法计算三维静电偏转场的方法,并解决了计算中比较棘手的奇点处理问题。实例计算表明,这种方法简便、精确,具有较大的概括性和实用性。     

计算开路器边缘电容的简单方法

本文介绍了开路器数学模型的建立和定义，对开路器数学模型中的边缘电容和延迟的计算和描述进行了研究，重点介绍了一种计算开路器边缘电容的简单方法，最后以3.5mm同轴开路器为例验证了此方法。     

七级偏转象差中的Trilemma效应

Ｔｒｉｌｅｍｍａ效应是偏转系统实现自会聚的一个重要判据，对高级领导转角差的校正，需要考虑高阶Ｔｒｉｌｅｍｍａ效应的影响，本文从多极场偏转象差校正理论出发，应用区域分割的方法，对直至七介的Ｔｒｉｕｌｅｍｍａ效应进行了分析，给出了各阶Ｔｒｉｌｅｍｍａ常数的表达式，其中七阶Ｔｒｉｌｅｍｍａ常数可以作为大偏转角领导转象差校正的判据。     

七级偏转象差中的Trilemma效应

Trilemma效应是偏转系统实现自会聚的一个重要判据,对高级偏转象差的校正,需要考虑高阶Trilemma效应的影响,本文从多极场偏转象差校正理论出发,应用区域分割的方法,对直至七阶的Trilemma效应进行了分析,给出了各阶Trilemma常数的表达式,其中七阶Trilemma常数可以作为大偏转角偏转象差校正的判据。     

环形偏转器的偏转磁场

一、引言在扫描电子束仪器内,大多采用结构简单和容易加工制作的环形偏转线包产生的偏转磁场,使电子束发生偏转扫描。为了使磁场集中在线包所包围的空间内,并为了提高磁场强度以增大偏转灵敏度,通常总是把线包绕在具有高磁导率的环形软磁铁芯上,成为环形偏转器。铁芯的截面都是矩形。铁芯材料选用适于在弱磁场内工作的铁钴钒合金     

平行板偏转系统的几何象差和优化设计

本文从理想均匀静电场偏转系统三级几何象差的公式出发,导出了由两对互相垂直的偏转板组成的平行平板偏转系统的三级几何象差公式。这些公式不但可用来快速估算偏转象差,还可用来作为校验数字计算程序的理论模型。从水平和垂直方向偏转象散和场曲的影响应相同这一要求出发,提出了一种优化设计方法。在给定偏转区总长度和两对偏转板之间的距离后,可以计算出每对偏转板的最佳长度。文中给出了设计数表,并比较了平行平板偏转系统和八极偏转系统的优缺点。