激光定位工件台系统鉴定意见

鉴定会审查了光电所提供的激光定位工件台系统实物与研制报告,以及中国计量科学研究院、科学院电工所、科学院光电所等三个单位组成的检测组提供的《激光定位工件台系统检测报告》等技术资料,认为技术资料和图纸齐备,检测组的检测结果是可信的。与会代表同意检测组的检测报告。     

亚微米电子束曝光机激光工件台控制系统设计

系统介绍了亚微米电子束曝光机激光工件台控制系统的结构组成以及工件台自校正ＰＩＤ定位控制系统的设计。     

亚微米电子束曝光机激光工件台系统

介绍了正在现场使用的亚微米电子束曝光机激光工件台系统，详细论述了它的技术特征，分析了影响重复测量精度的误差因素，给出了系统各部分实际检测达到的技术指标。     

激光定位工件台电机伺服系统

一、问题的提出本系统为激光定位工件台的伺服系统驱动及驱动控制部份。根据激光定位工件台任务书,本系统的研制要求为:1、最大负载转矩:1.5公斤/厘米;2、最大运行速度:3毫米/秒;3、低速运行乎稳性能好;4、为了调机方便,具有手动和自动,以及用锁紧机构和不用锁紧机构两种功     

电控系统信号回路电磁干扰预防与屏蔽

电控系统信号回路电磁干扰预防与屏蔽手段的研究,是当前该领域重点关注的内容,综合现有的电磁干扰预防、屏蔽方法,文章将具分析电磁干扰的定义、种类以及干扰源类别,重点阐述了电控系统信号回路电磁干扰预防方式与屏蔽技术,并对电控系统信号回路电磁干扰预防与屏蔽效果提升提出了台理性建议,以期能降低电控系统信号回路电磁干扰程度,保证设备正常运转。     

TRS—80微计算机用于激光精密工件台的定位和测试

TRS—80微计算机对激光精密工件台的定位控制和测试,使激光精密工件台成为完整的 X,Y 两座标精密定位系统。TRS—80微型计算机对工件台的定位控制和测试包括:输出 X,Y 两个座标预定位置二进制码数和两个座标位置的改数二进制码数,最大的二进制码数为22位,对工件台外设电路的     

离合器行星轮支架激光焊接夹具系统

离合器行星轮支架是车用变速箱一离合器传动系统中的关键零部件之一,随着技术的发展,日前这种支架已经大量使用激光进行焊接。由于工件本身的精度求高,加上激光焊接对于工件定位的求也很高,因此,其夹具系统显得十分重要。本文致力于离合器行星轮支架激光焊接系统的夹具系统的设计介绍和研究。     

激光定位工件台位置测量及电气控制系统

作为电子束曝光机的激光定位精密工件台的位置测量和控制电路。本电路将电子束曝光机的大脑——电子计算机与工件台连接起来。而且由于计算机容量有限,对工件台的控制工作很多都要由本电路完成。总的来说,它可完成四种功能:1、平面座标系上的位置测量,为计算机随时提供工件台的准确位置代码;2、根据拼接图形的要求。将工件台平稳地停在预定座标位置上;3、在工     

冷柜内箱体冲折复合成形装备与工艺的创新开发

阐述了冷柜内箱体冲折复合成形机的机械结构,成形工艺流程,液气、电控系统主要技术规格,试制检验结果和整机具有的特色。突破已有的生产方式,实现多功能一机化代替多台通机或专用自动线,使多种规格的工件能够一次成形,是创新开发的核心。     

一种圆管类工件直线度激光测量系统

设计了一种圆管类工件直线度激光测量系统,提出了一整套关于圆管类工件定心、内径获取和直线度计算的方法。研制了高精度的自动定心机构,采用双锥体同轴定心法实现测量系统在圆管类工件内的高精度自动定心。通过位置敏感探测器(PSD)和准直激光获得圆管各截面中心坐标,结合旋转扫描机构获得圆管内径测量值,并采用最小二乘椭圆拟合算法进行定心误差修正,最后进行数据处理,计算出工件直线度。实验结果表明,该系统定心准确度可达20μm,内径测量准确度可达5μm,测量重复性稳定在7μm以内,直线度测量准确度在40μm以内。     

激光定位工件台系统检测报告

由中国计量科学研究院王正强(工程师,工程测试室副主任)、陈永江(助理工程师),中国科学院电工研究所朱琪(副研究员,研究室副主任),中国科学院光电技术研究所陆德基(副研究员),龚幼蓉(工程师)等五位同志组成了检测小组,组长为王正强同志。检测小组自1982年4月16日至23日对激光定位工件台系统的鉴定项目及检测项目进行了讨论和测定。     

可变矩形电子束曝光机激光定位工件台系统

文中概述了系统结构设计的误差分析,阐明了主要设计思想和结构特点,介绍了整机概况和操作控制原理。最后列出了所达到的各项主要技术指标。即工件台行程X·Y分别为135×110毫米,激光干涉仪分辩率为0.02微米,工件台定位精度±1微米,最大速度20毫米/秒,步进速度0.11秒/2毫米,真空度达到2×10~(-5)托。     

基于联合振动试验系统的正弦加随机振动研究

提出联合振动试验系统,将液压振动台与电动台有效结合,并实现较大量级的正弦加随机振动。用液压台施加低频正弦激励,用电动台施加宽频随机激励,将正弦信号与随机信号有效分离,并分别用功率谱及频谱控制。设置弹性、阻尼单元,用以模拟台面至工件的传递特性,通过调整弹簧刚度及阻尼大小,使台面至工件及电动台的传递特性一致,以保护电动台。利用有限元软件Nastran仿真控制效果,将刚度、阻尼合理匹配后,电动台能较好跟踪工件运动。通过功率谱均衡方法有效控制随机振动试验,并在电动台输出端获得与目标谱较一致的功率谱。工件呈现出要求的正弦加随机振动,从而证明该系统的有效性。     

一个多智能体机器人协作装配系统

介绍了一个基于多智能体概念实现的多机器人协作装配系统——ＭＲＣＡＳ（Ｍｕｌｔｉ－ＲｏｂｏｔＣｏｏｐｅｒａｔｉｖｅＡｓｓｍｂｌｙＳｙｓｔｅｍ）。该系统由组织级计算机、三台工业机器人和一台全方位移动小车（ＯＤＶ）组成，采用分层递阶体系结构。利用ＭＲＣＡＳ系统进行了多机器人协作装配的实验：在ＯＤＶ装配平台上，四台机器人合作装配一个大型桁架式工件。该工件具有多种装配构型，但任何一台机器人不能独立完成装配。     

电子束曝光机用激光定位工件台交付使用

中国科学院光电技术研究所研制成功的激光定位工件台系统,已于1982年10月从四川成都运抵中国科学院北京电工所与电子束曝光机其他部分相配。经光电所、电工所同志的共同努力,仅仅用了一个月时间即安装、调试、检测完毕。检测结果略优于鉴定     

激光定位工件台

本文叙述了可变矩形电子束曝光机激光定位工件台的结构特点及所达到的各项指标。     

激光定位工件台系统脱机手动控制

文中主要介绍了利用单板机TP801编制的控制输片系统动作及测量工件台定位精度的软件。     

激光干涉定位计数系统中的尾数修正法

本文详细叙述了在实用的《激光定位动态检刻装置》的计数系统中,如何利用尾数修正值和尾数运算器来解决激光波长的空气折射率修正和小数有理化以及工件线膨胀量修正的问题。     

在线式光电自动计数方法及应用

利用激光器和光电管设计了激光光电传感器,当有工件通过时光被遮挡住,光电管输出一个脉冲,对此脉冲信号进行计数即为工件数。基于这种光电检测方法研制了一台在线式光电自动计数仪,并对激光光源进行缩束准直,解决了小工件计数的难点。实验表明,该仪器计数准确、检测速度快,实用性强。     

激光定位工件台系统干涉仪设计

本干涉仪是电子束曝光机之激光定位工件台的重要组成部分,它提供了 X—Y方向100×100毫米位置测量。为实现干涉系统的0.04微米测量精度,对其结构设计严格要求。本设计解决了干涉仪温度变形,长期稳定性,光学系统间几何位置精确调整及调后位置保持不变等问题。