光栅莫尔条纹信号的零位跟踪细分

本介绍了采用片簧机构实现莫尔条纹零位跟踪的测量方法，可以实现高分辨力的大位移测量。实验所用光栅栅距为０．０２ｍｍ，读数误差小于±０．０４μｍ，相当于实现了５００细分。     

CCD用于莫尔条纹细分的技术

应用ＣＣＤ元件进行光栅莫尔条纹的细分是一项新技术。它利用ＣＣＤ具有自扫描能力的特点，能将光强随空间分布的莫尔条纹信号转换成随时间变化的电信号，光电信号的时间位相对应于莫尔条纹的空间位相。通过适当的电路处理，给出信息的过零点到ＣＣＤ起点的方波。采用单片机测脉宽的方法，即可实现莫尔条纹位相的高倍率细分。实验结果表明，分辨率可达到０．０２μｍ，线性也较好。     

光栅内插值细分及补偿

本主要给出光栅输出原始信号的正弦分量中提取与光栅刻线间距的有关数字信息以及将其间的正弦模拟量采样量化经分后进行内插值补偿运算。可提高光栅传感器测量准确度和分辨力。     

理想环形莫尔条纹的获取

本文讨论了理想环形莫尔条纹获取的必要条件，推导出形成环形莫尔条纹的圆光栅刻线偏心量的理论计算公式，并提出了一种圆光栅刻划偏心量的快速调试方法。     

莫尔条纹信号的DSP滤波及细分技术研究

采用DSP数字滤波技术,对细分前的莫尔信号进行滤波处理。以提高莫尔信号的细分精度和实时性,利用DSP的乘加指令及循环寻址功能设计了FIR滤波器,实现莫尔条纹信号的实时滤波,将合成函数细分与幅值细分相结合,减少了存储查表数据所需的存储单元、提高了细分速度和细分精度。实验结果表明,在较强干扰的情况下,细分倍数仍能达到500,整个细分和滤波算法可在几微秒内完成,因而系统的实时性能很好。     

光栅莫尔条纹信号正交误差的补偿

为了补偿在作用微处理器对光栅莫尔条纹信号进行相位细分时，由于两路莫尔条纹信号不正交所引起的误差，推导了正交误差方程并给出了求解方法和相应软件。实验证明，引入相应补偿程序之后，细粉数明显提高。     

圆光栅的高精度高质量莫尔条纹信号的研究

本文研究在圆光栅作为分度基准的高精度测角设备中，提高莫尔条纹信号精度和质量的方法，采用大视场接收，十头平均和裂相差分，获得较好的结果。     

一种用软件来实现的莫尔条纹数字化细分技术

本文提出了一种新的莫尔条纹数字细分技术 ,即采用数字信号处理与软件计算的方法 ,利用单片机的信号处理能力 ,把数字化的两路正弦信号经过软件作内插形成相位差 4 5°的四路正弦信号 ,并对这四路信号进行过零点判断和计数 ,实现莫尔条纹八细分 ,在此基础上 ,利用某一时刻四路信号的采样值 ,在正弦信号线性较好的区段 ,用平行四边形法作一线性函数 ,完成莫尔条纹的十细分 ,利用此方法 ,角度测量的分辨力可达 1″。     

一种基于FPGA的光栅莫尔条纹数字细分技术

提出了一种新的莫尔条纹数字细分技术,采用FPGA(现场可编程门阵列)结合FLASHROM查表的方法可以达到很高的工作频率,并可以自动补偿信号随着频率的提高幅度发生的衰减,解决了使用软件细分无法工作在较高的频率的问题。     

高质量莫尔条纹信号的提取

本文分析了影响光栅信号质量的主要因素,指出了获得高质量光栅信号的途径,提出了一般设计方法及各参数的选择。文中给出的实验测试结果成功地用于JC-1型精密测角仪中。     

两种莫尔条纹信号对光栅系统测量精度的影响

对两种莫尔条纹（光闸条纹和横向条纹）信号的谐波含量以及它们对光栅系统测量精度的影响进行了分析，并用实测数据加以比较，指出在光栅系统中，取横向莫尔条纹信号的谐波量小，正弦性好，细分误差小，在其它参数相同的情况下，可提高系统的测量精度2倍左右。     

乘法倍频后的莫尔条纹信号质量的分析

在对莫尔条纹进行高插补系数的电子细分时 ,需要高质量的倍频信号。本文探讨了影响乘法倍频后的莫尔条纹信号质量的几个因素 ,提出了相应的解决办法 ,为获取高质量倍频信号提供了依据。本文的结论已经实验验证。     

应用光栅自成像的编码器莫尔条纹信号提取

为解决高密度圆光栅的工程应用难题,应用光栅自成像原理,用较大的光栅副间隙获得了高质量的莫尔条纹信号.文中用傅里叶光学理论分析了单色平面波照明下的双光栅菲涅耳衍射场,建立了双光栅菲涅耳衍射场光强分布的数学模型,并用MATLAB软件对光栅菲涅耳衍射像光强分布和莫尔条纹信号进行了数值仿真,分析了各种参数对莫尔条纹信号的影响,最后通过信号提取实验对理论分析进行了验证.     

莫尔条纹动态细分误差的测量

用桥式电位器移相网络，将莫尔条纹信号细分成所要求的测量间隔，再用相位计或动／静态激光小角度测量仪作为标准器，测量莫尔条纹动态细分误差。文章介绍了测量方法、测量准确度和实测比对结果。     

基于EMD算法的光栅莫尔条纹信号去噪方法研究

针对计量光栅莫尔条纹信号的质量问题,提出了基于经验模态分解（EMD）算法对非平稳光栅莫尔条纹信号模型的去噪方法。建立非平稳的光栅时变信号模型,利用EMD算法不需要定义滤波器参数的自适应性优点,对添加不同噪声的多组光栅信号模型进行了滤波分析的仿真实验,其信噪比和均方根误差两项指标优于均值滤波、小波阈值去噪方法。对两路正余弦理想信号添加高次谐波分量,通过对比EMD算法抑制高次谐波前后的李萨如图形,验证了该方法在去噪过程中对光栅莫尔条纹信号正弦性误差补偿的良好效果。     

莫尔条纹分析及其在光刻对准中的应用

从莫尔条纹用于光刻对准的实际应用出发,从傅里叶光学的角度重点讨论了一般光栅及线光栅对莫尔条纹的调制规律,并对广泛应用的低频(1,-1)级莫尔条纹进行了仿真分析.最后通过仿真分析说明,在光刻对准中,对栅线重复频率相差很小的两光栅对准标记,将产生对位移具有高灵敏度特性的放大莫尔条纹,从而实现高精度光刻对准,并对采用该对准方法的光刻对准精度进行了简要分析.     

提高莫尔条纹正切法细分精度的改进算法

为提高莫尔条纹信号正切法细分的精度和倍数,应用改进算法对原始信号进行数据预处理.通过神经网络自适应算法在莫尔条纹信号降噪方面的移植,结合滤波步长的实时调整,有效滤除了信号的宽频段有色噪声干扰;采用了基于滞后相位补偿思想的相位调整算法,通过分段处理,提高了原始正余弦信号的相位正交性.对算法处理后的莫尔条纹信号进行正切法细分验证,实验结果表明当细分倍数为1 024时,可确保细分误差小于1个细分当量,即0.618″,若不考虑信号的非正弦性影响,细分精度提高了10倍以上.