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超光滑表面轮廓的绝对测量 总被引:2,自引:0,他引:2
本文提出了一种测量超光滑表面轮廓的绝对测量方法。采用微分干涉显微镜直接测量表面轮廓的差分,从而无需使用标准参考反射镜,并能有效在抑制机械振动等环境干扰对测量结果的影响。在不采取隔振和恒温等环境控制措施的一般实验室场合下,就可达到优于0.1nm的垂直分辨率和0.15nm的表面轮廓重复测量精度。 相似文献
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本文介绍了一种新型的表面粗糙度测量仪,该仪器具有精度高,便于携带,同广等特点。本文分析了该测量仪的测量原理,同时人出了该测量仪的电路结构,工作过程和技术指标。 相似文献
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本文介绍一种新型便携式双触针表面粗糙度测量仪的设计原理与方法,虚拟仪器软件界面及实验结果。 相似文献
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用于生产过程控制的表面粗糙度在线测量H.Bodschwinna等1.前言现代工业的发展方向是不断提高产品质量并降低生产成本,为实现这一目标,迫切需要进行贴近生产过程的表面粗糙度的自动测量,这不仅是因为表面的微几何学特性是评价表面函数相关特性的最常用判... 相似文献
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光纤传感器用于内表面粗糙度的测量 总被引:2,自引:0,他引:2
本文详细介绍了利用光纤传感器进行油嘴内锥面表面粗糙精度测量的原量和方法。该传感器具有快速,准确,无损检测的特点,并且可以实现自动显示。 相似文献
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本文介绍了一种以半导体激光器作为光源,CCD作为接收器件的光探针表在粗糙度测量仪,对仪器的测量原理,仪器的结构进行了讨论,用该仪器对标准样品进行了实际测量,得到了与实际相符的结果。 相似文献
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一、概述 目前,国内外轮廓法触针式表面粗糙度测量仪按其传感器的类型和测量方法的不同,主要可以分为如下几种形式:按接触式测量方式工作的仪器有电感式表面粗糙度测量仪和压电式表面粗糙度测量仪,按非接触式测量方式工作的仪器有激光光触针式表面粗糙度测量仪等。我国在1985年参照国际标准ISO1880—1979《轮廓法表面粗糙度测量仪—接触(触针)式轮廓转换 相似文献
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用足够的放大倍数研究零件表面时,发现所有的固体表面都是不平的。在最小的情况下,可认为表面粗糙度是以单个的原子或分子的尺寸呈现的。例如,当我们仔细将云母样品分层时,表面就可能是以分子组成光滑表面的。而实际工程中用的准确度最高的抛光表面所呈现的粗糙度尺寸也远远大于原子的尺寸。研究表面粗糙度及表面形状,最理想的测量方法应是扫描显微镜或原子力显微镜法,它们能解决单个原子的问题。但对大多数工程实际来讲,更适合的方法是研究表面形貌。一、表面粗糙度及表面形状的测量1.接触测量法表面光度仪,其基本原理如图1所示。… 相似文献
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本文介绍了应用柱面全息光栅干涉技术的触式传感器及实验系统。该系统可用于工程中曲面表面形貌的高精度测量和特性分析。 相似文献
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照射在样本表面的激光束随 表面粗糙度的不同,反射光的密度分布将不同,表面粗糙度增大时,反射光的密度将被扩展。本根据这一原理,提出一种使用激光束快速测量表面粗糙度的无触点光学方法。该方法利用高斯曲线的系数,通过测量反射光的密度分布曲线的宽度,由高斯曲线系数的标准差,利用GCP测量表面粗糙度,给出了测量结果。 相似文献
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