一种用于真空贴合的视觉定位机械手设计及应用

文章主要介绍了一种用于真空贴合的机械手设计,从机械手的整体结构设计到x、y、z、θ各轴方向的设计进行了阐述。此机械手运用CCD进行高精度的视觉对位,相对于传统工艺中的手动定位来说,对位精度、良品率及生产效率都有显著提高。     

基于六维机械手的硅片传输系统

详细介绍了如何选择满足CMP抛光机硅片传输系统要求的六维机械手,并基于所选择的六维机械手配合换枪盘、末端执行器构建了硅片干进湿出式传输系统,最终利用示教盒示教出一条无碰撞、姿态合理的运动路径。     

应用于硅片传输系统的机械手设计

介绍了应用于硅片传输系统的机械手发展现状,主要针对12英寸全自动探针测试台的工艺需要进行机械手系统设计,对机械手结构以及设计中需要注意的关键技术进行了阐述。该设计可以推广到整个半导体生产线其他工艺设备的应用,对未来大尺寸半导体生产线的国产化具有很大意义。     

用于硅片传输系统的机械手设计

介绍了用于硅片传输系统的机械手发展现状,主要针对300 mm全自动探针测试台的工艺需要进行机械手系统设计,对机械手结构以及设计中需要注意的关键技术进行了阐述。该设计可以推广到整个半导体生产线中其他工艺设备的应用,对未来大尺寸半导体生产线的国产化具有很大意义。     

硅片在丝印线上的传输与搬运方法

介绍了太阳能电池片的生产工艺流程,描述了在太阳能电池片丝印线上硅片的几种自动传输与搬运方法,剖析了吸盘、带及特制的机械手三种传送方式的优缺点及其应用场合,并进一步阐述了特制机械手的基本结构与性能。     

硅片传输单元洁净系统的研制

在集成电路制造的硅片传输过程中,硅片传输机器人等机械设备的运动会产生尘埃粒子污染硅片.为解决这一问题,设计并研制了硅片传输单元的洁净系统,分析了该洁净系统的设计方案和结构设计,计算了它的送回风管直径,并用计算流体力学的方法,对洁净系统内部的硅片传输机器人区域进行了流场的模拟分析.该洁净系统已达到设计要求.     

晶圆传输机械手的实现途径及其结构设计

晶圆传输是集成电路制造设备的组成部分之一;研究晶圆传输核心部件机械手的实现途径和国内外的技术状况,分析晶圆传输机械手的更新和迭代,探讨传输精度和效率的优化措施。通过对应用技术和需求分析,对其机械结构和末端执行器进行逆向设计并对其性能进行测试,把设计固化为可以应用的技术成果;同时提出了晶圆传输机械手的优化方向,为后期技术升级和产业化提供了理论依据,其研究结果对同类设计具有借鉴意义。     

两平动一转动三维并联压电微动平台的设计

为提高微定位系统的灵敏性,设计了三自由度并联压电微定位系统的新构型。首先,在考虑平台结构具有对称性的基础上,采用双平行四连杆机构对台体进行设计,并设计了可集成于台体的承载模块及传感器安装模块;接着,采用有限元法对平台的位移、应力、刚度及模态进行了分析;最后,基于所搭建的实验系统,对平台的位移及频率响应特性进行了测试。实验结果表明,在120V电压的作用下,平台沿x向的最大位移为26.0μm(此时沿y向产生的寄生位移为141.0nm),沿y向的最大位移为25.9μm(此时沿x向产生的寄生位移为39.7nm),绕z轴的最大转角为210μrad;平台x、y向的位移分辨率均为6.5nm;平台x、y、θz向的固有频率分别为328.0Hz、481.3Hz、402.8Hz。     

二维谐振子调制势中光束传输特性研究

运用自相似方法,求出了二维谐振子调制势下光束的传输方程的精确解析解,并对光束在传输距离一定时其传输特性随量子数的变化规律进行了数值分析.结果表明,在谐振子势调制下,光束传播的波函数解为厄米特函数,且在能量峰值上表现出类似于亮孤子的中间能量高于外围能量的特性,在几何分布上形成矩阵或方阵式波包.波包总数受x、y方向的量子数取值影响,波包能量幅值沿x、y轴的正负向均逐渐增大且关于矩阵的对角线或x、y轴对称。     

烘干炉机械手的设计

在太阳能电池片的烘干环节。为了实现电池片在传输机构和烘箱之间的快速转换,同时保证电池片正面无接触传输,需要一组高效、平稳、可靠的机械手控制系统。这里提出一种基于CAN网络通讯、Copley驱动器驱动的烘干炉机械手设计方案。利用CAN网络通讯良好的通信实时性、高可靠性。并结合Copley驱动器内置的同步运动模式来实现设计要求。该设计方案经过在生产线的实际应用．提高了电池片在烘干炉中环节的转换效率,同时减小了碎片率,已经成为太阳能电池片生产线中烘干炉的标准配置方案．完全达到了设计要求。     

基于改进粒子群算法的并联机械手运动参数识别

在工业生产过程中，由于机械手制造与装配过程存在误差，不仅造成运动精度降低，而且阻碍生产效率提高。为解决这一问题，提出了基于了改进粒子群优化算法的并联机械手运动参数识别研究，通过建立参数数学模型，完成机械手几何参数误差的识别和补偿。实验表明，文中提出基于改进粒子群优化算法的并联机械手运动参数识别，测试误差小、收敛速度快，可以为改良生产线、改善产品质量、提高企业效率提供有效的帮助。     

浅谈基于PLC的气动机械手控制系统的设计

气动机械手具有成本低、控制方便和机构简单等特点,为了确保自动化设备能够满足实际工作的需要,需要确保工作程序的合理性,充分发挥自动化生产设备的应用效果,确保PLC气动机械手控制系统的合理性.     

三自由度气动教学机械手的研制与应用

针对目前在机电实验设备中缺少机、电、气一体的教学型实验设备的情况,介绍了一种基于气动元件开发的三自由度机械手。该机械手应用四个两种类型的气缸实现所有的动作,并留有底层的控制接口,使单片机（ARM、DSP）、PLC以及计算机可方便地对其进行控制。该机械手可以广泛应用在机械制图的测绘周、气动技术、单片机（ARM、DSP）原理与应用、PLC与电器控制、计算机控制技术等课程的实验以及机电综合实验周、机电产品创新设计等综合性实验中,应用效果理想。     

6R机械手在CMP设备中的运动空间分析

工作空间是一个衡量机械手工作能力的重要运动学指标。通过分析抛光机中机械手的工作流程，确定了机械手工作空间；并利用D-H坐标法，建立6R机械手的数学模型，得到机械手来端坐标系相对于基坐标系的传递矩阵。最后，采用蒙特卡洛数值分析法，仿真了机械手的运动空间，结果显示，该机械手的运动空间大于设备要求的工作空间。满足CMP设备的...     

机械臂双目视觉系统内外参高精度标定

在空间站机械臂中,双目视觉系统作为其重要组成部分,能够引导机械臂自主完成对目标的定位和捕获。内外参标定技术是双目相机高精度获取合作目标位置、方向等运动信息进而进行三维重建的首要前提和重要保障。文中提出了一种基于光束法平差算法的双目视觉系统内外参标定技术,采用三维靶标场作为标定目标,并将高精度测角设备经纬仪作为精测基准,通过坐标转换解算分步得到相机的内、外参数。实验表明,该方法标定的相机内参重投影误差小于0.5个像元,外参测试误差为±0.19 mm,有较高的测试精度和鲁棒性,为机械臂实施视觉闭环自主捕获合作目标提供可靠依据。     

基于FPGA+DM36X的IP摄像机平台

针对目前安防监控设备动态范围较低的问题,文中提出了基于FPGA和DM36X的高动态范围网络摄像机方案。该方案采用高动态图像传感器进行图像采集,并以FPGA和DM36X作为图像处理的核心。FPGA负责对高动态图像进行增强处理,弥补了DM36X对高动态图像处理的不足,并结合DM36X在视频图像编码及传输上的优势,最终实现1 280×720每秒30帧的高动态范围视频图像的采集、处理和传输。     

WiFi基站在油田中的应用

针对油田中现有的数据传输系统安全性不稳定、实时性差、信号不稳定、传输速度慢等多种局限性.提出一种新型的数据传输系统,在油田中使用WiFi无线网络实现远距离数据的传输.该系统采用波迅(Wavion)WBS-2400基站和客户端设备,井口安装了MD-RS28井下永久压力温度遥测设备、无线示功仪、高速网络监控球机等,可以通过...     

供电系统综合自动化技术在广电的应用

PSU-2000X供电系统综合自动化系统,是集自动控制技术、信息处理和传输技术于一身,通过计算机硬软件系统和自动装置代替人工进行各种运行作业,提高供电系统运行、管理水平的一种自动化系统。此系统可以远程及时掌握供电设备的运行情况,实现远程集中控制、操作、反事故措施等,不仅提高了供电设备的可控性,同时提高了效率,降低了人为误操作的可能,提高了整个供电系统运行的可靠性,为广播电视的安全播出提供可靠的电力保障。本文介绍吉林电视台供电系统综合自动化系统的建设情况。