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本文介绍了红外透射技术的装置和原理,报导了主要研究结果.实验表明,红外透射技术是研究GaAlAs/GaAsDH激光器的又一有效工具.我们获得的有关GaAlAs/Ga AsDH激光器的外延层、条区结构和作用区发光情况的综合照片,是用普通的光学显微镜或扫描电子显微镜所不能得到的. 相似文献
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前言用扫描电子显微镜(SEM)的二次电子(SE)、电子束感生电流(EBIC)、阴极萤光(CL)信号分别观查了GaAs/GaAlAs DH激光器管芯的形貌、外延层和结区中的微缺陷;用Ga-Kα分布曲线分析了GaAlAs限制层的Al含量;还分析了近结区光电特性。结果表明:外延层的Al组分均匀,有源区结线平直;发现键合工艺存在三个问题,一是大部分管芯在键合时焊料In从热沉漫延到镜面上,复盖了有源区;二是上引线的欧姆接触处的周围存在接触势垒;其次发现引线工艺造成了管芯的损伤。此外,管芯中有形变孪 相似文献
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GaAlAs/GaAs DH激光器是一个微型的多层结构的发光器件。正常结构的发光区是在一个条形的发光区内。但是,由于工艺的改变、操作的失误等,许多器件的发光区不在理想部位。直接观察发光区的确切位置及其图样,对于了解器件性能,特别是对工艺的研究有着重要的意义。本文介绍发光区位置的确定,描述各种发光现象及其同工艺之间的可能联系。 实验结果表明:(1)全线发光有的主要与条形形成工艺有关(平面条形);有的则由外延工艺决定(沟槽衬底)。(2)带状发光,一类与外延有关,如⊿x偏小,作用区太薄等;另一类与条形形成工艺有关,如Zn的深度扩散等。(3)衬底发光主要与外延工艺有关。如沟槽衬底条形 相似文献
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GaAlAs/GaAs DH激光器发光位置的实验研究 总被引:1,自引:0,他引:1
红外透射/发光观察法是直接观察GaAlAs/CaAs DH 激光器发光位置的唯一可行方法.研究各种发光现象及其同工艺之间的联系可为器件工艺的改进提供可靠依据. 相似文献
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本文着重讨论窄沟槽衬底条形GaAlAs/GaAsDH激光器的观察和测量。显示了单模激光器和多丝激光器特性的基本差别,讨论了引起这些差别的基本原因和这两类器件的应用前景。 相似文献
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研究和分析了温度对GaAlAs DH激光器电光参数的静态和动态特性及工作寿命的影响。I_(th)变化率低的激光器,外推室温连续工作寿命8×10~4小时以上。还研究了自脉动和功率扭折现象等。 相似文献
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在对半导体激光器均匀退化模式分析的基础上,建立了筛选规范,并进行了可信度试验。提出的方法可用来预期器件寿命,估计激光器参数对寿命的影响。按规范筛选出来的器件,其中85%以上能连续工作超过万小时,其平均退化率为1.6%/千小时,均方偏差1.0。 相似文献
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本文着重讨论IT/E法的基本原理、对比度、分辨率、放大倍数和发光图样等问题,以及同这一方法使用范围有关的因素。此外,还对实验方法和实验结果作了补充。 相似文献
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叙述了用化学腐蚀和液相外延相结合的方法制造沟槽衬底条形激光器的工艺。测试了这种激光器的基本性能。结果表明,这种激光器横模比较稳定,扭曲功率较高。自1975年开始,我所与复旦大学协作研制了质子轰击条形激光器,获得了成功。质子轰击条形激光器工艺简单 相似文献
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一种PNPN型异质结负阻激光器业已研制成功,它的具体结构是n·GaAs/N·Ga_(1-x)Al_xAs/p·GaAs/p·Ga_(1-y)Al_yAs/P·GaAs/n·GaAs/P·Ga_(1-z)Al_zAs;其中,x=0.2~0.3,y≤0.20,z=0.1。本文研究了这种激光器的工作原理和制备工艺,分析了存在异质结构时器件的电导通机理,测量了器件的某些电参数及激射特性。器件的转折电压V_s为15~20V,维持电压V_H约为1.5V,维持电流I_H约为10~100mA。激射阈电流密度最低可达2500A/cm~2。将激光器置于简单的张弛振荡线路中能够较容易地实现自振激射。 相似文献