3.2μm水汽吸收谱带参数的计算和测量

本文对随机模式中３．２μｍ水汽吸收谱带参数作了计算和测量。参数的计算用的是我们自己编制的红外辐射大气透过率计算程序，同时用红外光谱辐射计依据差分吸收技术测量水汽的透过率。计算的和测量的结果非常一致。     

实际大气中水汽3.2μm带的吸收

根据实际大气中测量的３．２μｍ带水汽的吸收和实际测量的光程中的水汽含量，似合出水汽３．２μｍ带的光学厚度随着水汽含量的温度变化的关系式，并与ＬＯＷＴＲＡＮ７的水汽经验计算模式进行了比较，两者符合得较好。     

在3．39μm波段甲烷吸收特性的测量与应用研究

报道了甲烷气体在３．３９μｍ波段吸收特性的研究结果，及其在３．３９μｍ波段多波长干涉测量中的应用。通过改变甲烷吸收室的充气参数，使激光器工作在双等光强工作点，并完成了绝对距离的干涉测量。     

相关k分布法在水汽强吸收带计算中的应用

为了快速计算水汽强吸收带光学透过率,采用相关k分布的方法,对它们在计算水汽强吸收带大气透过率中的应用进行了理论分析和实验验证,设计并开发了相应的计算程序,分别用6种大气模式进行检验,取得了较好的实验数据。并对相关k分布法中求积网格点的选取、非均匀大气吸收系数的插值作了讨论。结果表明,相关k分布法用于宽带强吸收大气透过率计算具有精度高、速度快的优点。这一结果对于将相关k分布法快速高效地用于实际应用是有帮助的。     

相关k分布法在水汽强吸收带计算中的应用

为了快速计算水汽强吸收带光学透过率,采用相关k分布的方法,对它们在计算水汽强吸收带大气透过率中的应用进行了理论分析和实验验证,设计并开发了相应的计算程序,分别用6种大气模式进行检验,取得了较好的实验数据.并对相关k分布法中求积网格点的选取、非均匀大气吸收系数的插值作了讨论.结果表明,相关k分布法用于宽带强吸收大气透过率计算具有精度高、速度快的优点.这一结果对于将相关k分布法快速高效地用于实际应用是有帮助的.     

3.66μm激光外差光谱仪设计与水汽柱浓度反演

激光外差光谱测量技术具有光谱分辨率高、探测灵敏度高、成本低等特点,近年来在温室气体探测、激光大气传输等领域得到了广泛的应用。以3.66 μm 分布反馈式带间级联激光器作为本振光源搭建了一套高分辨率激光外差太阳光谱测量装置,实现了水汽吸收光谱的实时测量,并利用最优估算法对整层大气中的水汽柱浓度进行了反演,得到合肥地区2019年5月22日和23日的水汽柱浓度。反演结果与同步进行观测的傅里叶变换光谱仪EM27/SUN测量结果变化趋势一致,相关性优于0.8,偏差小于15%。研究结果表明,搭建的激光外差测量装置能够实现大气中水汽吸收光谱的实时测量以及水汽柱浓度的精确反演,同时为后续的水汽浓度廓线测量与研究奠定了基础。     

分子谱线参数测量新方法

介绍了一种利用F-P腔透射峰宽度测量分子谱线参数的新方法,论文从多光束干涉叠加原理出发,推导出有样品气体吸收的F-P腔的透过率函数,F-P腔的透过率是样品气体吸收线型的函数,随着样品吸收的增加,F-P腔透射条纹宽度增加.实验测量得到的谱线强度与HITRAN2004数据库数据、谱线宽度与理论计算结果很好地一致.     

0.5μm分步光刻机关键参数测量与分析

主要对 0 5 μm分步光刻机的几个代表性参数即 :投影镜头分辨率、照明均匀性、套刻精度、工作台步进精度、镜头畸变等引起误差的原因 ,测量和计算方法以及采取的相应措施作了一些归纳性总结 ,在解释问题的同时 ,也提出了相应的解决办法 ,为下一代光刻机的研制打下一定的基础。     

TEA CO2激光器11μm波段谱线特性研究

采用双光栅谐振腔和增长放电增益区的方法,进行了TEA CO2 激光器11μm波段谱线输出特性研究。在混合气体的比例为CO2 ∶N2 ∶He = 70∶90∶270和总压430 ×133. 3Pa情况下,获得数条谱线的激光输出。着重研究了波长为11013nm 的激光谱线的输出特性,其脉宽为400ns左右,且脉宽随电压变化。谱线能量随光栅中心的位移而变化,当光栅中心在放电区中心轴线上时有最大的能量输出。光斑能量分布接近低阶模或基模分布。     

测量大气气溶胶和水汽的车载式激光雷达系统

为满足国家对大气参数测量的需求,成功研制了新型车载式大气探测激光雷达系统。该激光雷达主要是通过接收激光与大气中气溶胶粒子和水汽以及氮气分子间的米和拉曼散射信号,结合相应的激光雷达方程,反演出大气水平能见度、垂直气溶胶消光系数和水汽混合比。最终的实际测量结果与对比实验显示,该激光雷达可以对对流层的大气气溶胶进行昼夜连续观测,对夜晚8 km高度范围内以及凌晨和傍晚时分边界层内的水汽进行测量。相应大气水平能见度的测量误差小于20%,而垂直大气气溶胶和水汽的测量误差最大不超过30%。     

正交法制作50μm／50μm精细线路工艺参数的优化

在公司批量生产HDI板最小线宽／间距为75μm／75μm能力的基础上制作了线宽／间距为50μm／50μm的精细线路,试验用LDI曝光机曝光后再用正交试验法的L9（3^4）正交表安排了显影速度、蚀刻速度、显影压力、蚀刻压力四因素试验,选取线宽和蚀刻因子作为指标。通过对两个指标的综合分析,试验得到最佳工艺参数为：显影速度为4．0m／min,显影上压力为0．18MPa,下压力为0．15MPa,蚀刻速度为4．5m／min,蚀刻上压力为O．28MPa,下压力为0．25MPa。     

2μm附近二极管激光吸收光谱CO2浓度测量研究

采用波长2μm附近的可调谐半导体激光二极管作为光源,结合多步吸收光程和光纤传输技术,通过激光吸收光谱直接测量方法对CO2分子浓度进行测量研究。实验在标定了激光器调谐范围内17条CO2吸收谱线的波长及相应的吸收带跃迁的基础上,研究了不同压力下纯CO2气体在2008nm附近的吸收光谱,由吸收信号随气体压力的变化关系得到低气压下实验装置的系统刻度因子。并进一步对样品气体的CO2浓度进行测量,测量给出CO2分子浓度为(2.754±0.145)×1016 cm-3,测量误差主要来源于目前实验中所使用的气压计的精度和读数局限性。该研究为气体分子浓度测量、同位素含量分析提供了一种光谱测量方法。     

2．6～2．8μm KTP OPO实验研究

为了得到2.7 μm波段可调谐激光辐射,设计了信号光单谐振荡KTP光参量振荡器(OPO),给出了KTP OPO II(B)类相位匹配方式下的角度调谐曲线、有效非线性系数.KTP晶体切割角为θ=62°,ψ=0°,有效非线性系数为-2.97 pm/V.利用该KTP OPO实现了2.6～2.8 μm波段范围可调谐激光输出,用脉宽为16 ns的基模高斯光束1.064 μm激光泵浦得到了最大能量578 μJ,能量转换效率达1.7%.     

甲烷中红外7.16μm吸收光谱参数测量

介绍了一套高精度气体吸收光谱测量系统,并采用716μm的量子级联激光器(QCL)测量了甲烷(CH4)气体在该波长附近不同压力(5～30 kPa)和温度(290～1050K)范围的光谱参数。同时,本文不仅测量了纯甲烷环境下的分子自身光谱参数,还测量了其在Ar,N2和He三种不同相对分子质量的背景气下的各类谱线参数。实验发现,本文测量的甲烷谱线在不同环境下的碰撞展宽系数由大到小分别是:自身>N2>Ar>He,四种环境下测量谱线的压力频移系数均为负数,及谱线压力频移与压力呈负相关,其绝对值由大到小排列分别为:自身>N2>Ar>He,与碰撞展宽系数变化规律相同。本文对所有测量的谱线参数均计算了各自的不确定度且定量分析了各类不确定度的来源。     

程差法测量1．315μm附近CO2的吸收

CO2在碘激光波长(1.315 μm)的吸收截面比水汽小得多.我们利用可调谐激光长程吸收光谱测量实验系统,测量了1.315 μm附近CO2的高分辨率吸收光谱,采用测量不同光程的相对透过率方法(程差法)计算出碘激光波长CO2的微弱吸收.结果表明,在1.315 μm波段存在CO2的吸收谱线和连续吸收.在氧碘激光频率(7603.1385 μm-1)CO2的吸收截面(1×10-24 cm2量级) 比按HITRAN 96谱线参数计算的线翼吸收大;与Bragg用光声方法测量的结果相当.本报告将介绍测量实验方法和计算分析结果.(PG8)     

0．18μm CMOS工艺3．1～5．2GHz低噪声放大器

基于共源级联放大器的小信号模型,详细分析了宽带放大器的输入阻抗特性和噪声特性.利用MOS晶体管的寄生容性反馈机理,采用TSMC公司标准0.18 μm CMOS工艺设计实现了单片集成宽带低噪声放大器,芯片尺寸为0.6 mm×1.5 mm.测试结果表明,在3.1～5.2 GHz频段内,S11<-15dB,S21>12dB,S22<-12 dB,噪声系数NF<3.1dB.电源电压为1.8V,功耗为14mW.     

Aptina的产品组合新增1．1μm和1．4μm背照式CMOS图像传感器

CMOS成像技术领域的领先创新厂商Aptina目前宣布，该公司将在2011年世界移动通信大会上展示其新型1．1μm和1．4μm背照式（BSI）图像传感器，此次人会将在西班牙巴塞罗那举行。     

3．0μm工艺模型建立方法研究

器件模型作为Foundry跟设计公司接口的最基本桥梁,需要熟悉器件、工艺、物理、EDA等多方面的专业要求[1],设计公司依据一个高精度的器件模型,针对确定的器件和工艺进行设计,可以保证设计电路产品的成品率和可靠性,提高工艺容宽,降低成本。随着加工工艺的不断进步,工艺建模更是必不可少。现在模型参数提取已经进入了45nm时代,工艺模型则需要专业的建模公司来完成,因为这不仅需要专业的模型提取软件,亦需要昂贵的品类繁多的测试设备,当然更需要专业的建模技术人员．建立完整可靠和统一高效的SPICE模型是将先进的工艺制程迅速推向客户的关键。