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赵猛 《中国新技术新产品》2009,(11):119-119
本文着重讲述KDN-8000高纯氮制备装置分子筛纯化器系统再生故障对整个空分系统造成的影响,对产生的原因进行了分析,并对此类故障提出解决的办法。 相似文献
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高纯度的三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,是半导体与LCD产业制造过程中必备的材料。针对NF3气体中CF4杂质采用常规方法难以分离的特点,提出一种新的纯化工艺——低温萃取精馏纯化法,对低温萃取精馏生产高纯NF3过程的工艺流程进行了研究,并采用AspenPlus在广泛操作条件下对精馏过程进行了精馏模拟计算。通过工艺试验,找到适合于本物系的精馏运行参数,优化了生产流程,稳定了工艺系统运行,三氟化氮纯度达到了99.999%以上,产品中的CF4杂质含量低于10×10^-6(V/V)。 相似文献
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日本近畿冷热公司巳开始销售一种小型超高纯惰性气体纯化器——“ウルラトビエア一”。该纯化器由装化学和物理吸附剂的反应管、过滤器和管道构成,能脱除氮、氩和氦等惰性气体中的杂质。 相似文献
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气体纯化器在高纯气体检验中的运用 总被引:1,自引:0,他引:1
文中讲述了用DID微量气体分析系统,检验气体纯化器的纯化效果的试验过程,以图表的形式直观的描述了各种影响因素对纯化结果的影响。大家都知道气相色谱仪所用载气纯度越高,它的检测浓度就越低,用来检测高纯气体的水平就越高,所以微量气体分析系统往往需要用6N的载气,在国内较难买到瓶装气,而进口又相当昂贵。经介绍先普半导体技术(上海)有限公司生产的一款稀有气体纯化器可以很容易地把5N高纯气通过纯化,得到6N超纯气体,从而提高我们的色谱检验水平;同时作为辅助纯化器,有效地保证仪器内部纯化器的安全和寿命。 相似文献
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本文介绍以催化脱氧、型氮气纯化工艺流程.者参考。脱氢和吸附干燥的方法.叙述该流程的技术特征、提纯普氮获得高纯氮气的节能样机试制和运行情况,可供读 相似文献
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该氮气纯化装置通过加氢,在催化剂(钯触媒)作用下,脱除氮气中的氧气,并由除氧器脱除过量氢。由5A分子筛吸附水份,经过滤器除尘后得到纯氮。产量10m3/h,纯度≥99.99%。投资少,见效快,效益好。已通过市级鉴定。图1。 相似文献
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<正>我单位是1978年建成投产的,使用的纯化器是“文革”后期的产品,由于历史条件的限制,当时没有严格按压力容器的要求生产检验。“文革”结束后,各项工作逐步走上正轨,该设备成为劳动部门要求限期更换的设备。尤其是在南京×厂因纯化器发生重大伤亡事故以后,我单位非常重视,于1991年年底从杭州制氧机厂购置了HXK-960/45纯化器一套。 相似文献
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采用硝酸回流、混酸回流、硝酸回流与混酸超声、混酸超声与双氧水回流、盐酸超声与双氧水回流5种不同工艺方法对多壁碳纳米管进行了纯化处理,使用TEM、XRD和FT-IR比较各种方法对碳管表面结构的影响程度,运用同轴法测定碳纳米管在2~18GHz频段内的复介电常数和复磁导率,研究了不同纯化处理方法对多壁碳纳米管复介电常数与复磁导率的影响。结果表明,经过纯化处理后,碳纳米管表面的无定形碳及催化剂颗粒均能被有效去除,并在其表面嫁接有羟基、羧基官能团;经过纯化处理,碳纳米管的复介电常数的实部与虚部均有所降低,而复磁导率的没有明显变化。综合考察测试结果,优选硝酸回流处理工艺纯化多壁碳纳米管。 相似文献
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目前普遍采用传统工艺制备的麦芽糖纯度不高,且不易分离纯化,要获得高纯度麦芽糖需要经过多重精制,工艺复杂,生产成本较高。本论文建立了B-淀粉酶直接作用于玉米淀粉制备高纯麦芽糖的新工艺,此工艺适用于工业化生产,并具有操作简单、产品纯度高、易于分离纯化等优点,从而可降低高纯麦芽糖的生产成本,大大提高生产效益。 相似文献
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验算了配150m3/h制氧机纯化器热能供需情况,从温度检测与控制系统入手查找了热能损失的原因。改进为测温点移近筒体;铂热电阻保护管直接与管内热空气接触。效果为年节电1.15万度,吸附剂寿命延长 2~3倍。图6表2参2。 相似文献
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在常温下,八氟环丁烷是一种无毒气体,具有较低的温室效应指数和适宜比例的碳/氟比,被广泛用作制冷剂以及半导体芯片制造工艺中的蚀刻剂和清洗剂。随着低纳米制程芯片的飞速发展,对八氟环丁烷纯度的要求越来越严苛,给高纯八氟环丁烷的纯化工艺带来了极大挑战。综述了现阶段八氟环丁烷的制备方法和纯化方法:(1)工业上广泛用于合成八氟环丁烷的方法是四氟乙烯二聚法;(2)八氟环丁烷的纯化方法包括精馏、吸附、化学转化和膜分离。通过单一的纯化方法很难得到电子级八氟环丁烷,需要多种纯化技术联合使用才能得到纯度>5N级的八氟环丁烷。 相似文献
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介绍了该厂三套KZON-160/550-I型高纯氮设备,制造和设计中存在不足。后经空压机改型、空压机管网改造、油水吸附过滤器改造、纯化器一预冷机系统并网串联、蒸发器改造、纯化器和预冷机组进行隔热改造等,运转10个月来,效果明显。表1。 相似文献
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