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四极质谱计在真空检漏中的应用 总被引:2,自引:3,他引:2
介绍了使用四极质谱计进行真空检漏的原理和方法,分别对超高和极高真空系统做了检漏实验研究,并取到了满意的结果。四极质谱计检漏有检漏仪检漏无法比拟的优点,适合在真空工程中推广应用。 相似文献
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对HL环流器系列装置,开发了蒽-丙酮荧光液渗透检漏用于真空内衬的零部件检漏,灵敏度可以达到10-9Pa.m 3.s-1,示漏位置分辨小于0.5mm;对大容器真空检漏,采用四极质谱计和氦质谱检漏仪相配合的检漏法;对压力容器检漏,开发了真空罩吸枪-氦质谱检漏系统,还研制了适于抽除大量水汽的检漏真空机组。对氘氚放电的JET,使用普通的氦质谱检漏仪(扇形磁体型)受到真空室壁释放所吸留的氢同位素的、尤其是氘的严重干扰,因为示漏气体氦(4H e,4.0026u)与氘(D2,4.0282u)的质量数十分相近。在氦质谱检漏仪入口处串接选择性抽气泵——用液氮冷阱来抽除可凝气体、用分子筛泵或10K低温泵来抑制氢同位素本底,并前置一个涡轮分子泵来压缩加强采样气流等。这种加强组合能使原先的氦质谱检漏系统灵敏度提高3个量级以上。 相似文献
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本文对氦质谱检漏仪的反应时间的两种测量方法进行了讨论,指出其中一种方法是错误的。 反应时间和清除时间是氦质谱检漏仪的重要参数之一,通常规定反应时间和清除时间不大于3秒。对仪器经常进行灵敏度校准和反应时间与清除时间的测量是检查仪器是否正常工作的手段之一。就是在检漏工作进行过程中,对于检漏技术人员来说也应该知道在连接了被检容器和辅助真空系统之后,整个检漏系统(包括检漏仪、被检件、辅助真空系统)的检漏灵敏度多大?反应时间与清除时间多长?这些决定了能够检示出多大漏孔和应该以怎样的速度进行检漏的问题。 下面只谈一下… 相似文献
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文章主要介绍国内外超灵敏度真空检漏技术的现状与发展。超灵敏度真空检漏是指对小于10-12 Pa·m3/s的漏率进行检测的技术,它是高可靠长寿命真空器件封装的重要诊断手段。当前普通商用检漏仪受质谱分析下限和微小电流测量下限等因素的限制,其实际检漏下限一般为10-11 Pa·m3/s量级,采用软件修正后显示的检漏下限可达10-12 Pa·m3/s量级。为了解决对微小漏率的超高灵敏度检测,国际上自上世纪60年代开始相关技术研究,主要围绕检漏下限的延伸和检漏精度的提高两方面开展工作。国内突破了多项技术难题,最新研制出下限为5×10-16 Pa·m3/s的超灵敏度真空检漏仪,并将检漏结果的合成标准不确定度减小到15%以内。 相似文献
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本文以我公司首台进口的油淬气冷多用真空热处理炉的现场检漏分析为例,介绍了在没有专用检漏仪器的情况下,以理论分析判断为主的检漏方法,以及对真空热处理炉现场检漏的相关理论和注意事项进行了论述. 相似文献
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超声波技术在检测真空系统泄漏中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
基于电厂真空系统泄漏是一种常见故障,因此研究一种简便、快捷、准确的检测方法是必要的.运用超声波技术研究了检测真空系统泄漏的新方法.实践表明,该方法是可行的.所给出的应用超声波技术检测真空系统泄漏的原理和检测方法是有效的. 相似文献
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真空混合漏孔示漏气体的延迟和保持特性研究 总被引:2,自引:1,他引:1
真空混合漏孔 ,如漏孔通道内含有空腔、毛细管道等 ,示漏气体除存在超长反应时间外 ,还存在超长的延迟时间和保持时间。只有经该延迟时间后 ,检漏仪才能探得信号。为满足真空元件在生产中的快速检漏的要求 ,又避免常规质谱检漏法漏检混合漏孔的可能性 ,在真空室内对检漏元件集体充氦 ,然后在保持期内逐个检测氦气浓度来判断有无混合漏孔 ;也可用质谱计比较残余气质谱图中空气成分来确定 相似文献
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空调行业在两器生产过程中需要使用氦质谱检漏仪对两器产品进行氦检,检漏过程中使用的氦气通过回收装置循环使用。当循环使用的氦气纯度较低时进行排空并补充高纯度氦气,以提高检漏过程中的氦气纯度。针对排空的低纯度氦气,为满足氦气检漏纯度要求,通过纯化可以将其纯度提高,实现氦气在空调两器检漏过程中的循环使用。 相似文献
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介绍了我国某小型空间环境模拟无油检漏试验设备,并就无油真空系统、检漏系统灵敏度和反应时间等问题作了详细介绍,大量试验证明该无油检漏系统的设计是合理和正确的. 相似文献
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