溅射离子泵物理学

溅射离子系进行稳定状态的抽气特性决定于放电强度（ Ｉ／Ｐ）和抽气效率 （Ｓｐ／Ｉ）。这种泵采用磁性来限制冷阴极气体放电。可以在进入超高真空和更低的压强范围内进行工作。许多经验证明了,放电强度在不同程度上是依赖于下列有关参数：电压、磁场、电极几何形状、电极材料、气体的种类和压强。这种放电的理论与圆满解释是仍旧相差很远。在放电格子中观察到空间电行对改变电位起主要作用。在这里可近似地认为,放电强度与阳极电压和阴极长度成比例。但是,与作为乘积（即磁场×阳极直径）为常数的阳极直径无关。另外,关于要求的放电强度,用潘宁正磁控管和反磁控管室作一下比较。 对于在放电中产生的每一个阳离子,抽除的气体分子的数目成比例的量（Ｓｐ／Ｉ）提供出一种油气效率的测量方法。由于化学活泼性气体与从阴极溅射出来的收气剂材料,化合作用产生的抽气作用最低限度在理性上能很好地理解。至少在实验上,由离子埋葬吸附和扩散到阴极里的对氢的抽气作用亦能很好地建立。但是对惰性气体的抽气有时也涉及了这些方面。对于普通二极型和早期（两个电位）的三极型溅射离子泵。表面上,对氢的抽气已作了满意的说明。这种说明对最近（单电位）的三极型泵也未必适用,对采用不同材料的双阴极的二     

日本大阪真空机器制作所新生产的OV—RD300Ⅱ型机械增压泵

一、原理、结构和优点 机械增压泵与旋转鼓风机的结构几乎相同,在气缸内的两个8字形转子,边反向旋转,边输送气体,气缸与转子之间以及转子相互之间只有微小的间隙,在旋转时互不接触。由于转子以高速旋转,所以机械效率非常高。 把这种泵连接到机械泵、水环泵、往复泵等的吸气侧,在只用真空泵抽气时大大降低抽速的中高真空范围,可获得非常大的抽速,从而大大降低抽气系统的单位抽速的运转费。极限压力与不连接这种泵时相比,向高真空延伸1个量级。 二、特点 (1)结构紧凑,重量轻,抽速为300米3/时。电机直连,高速运转,与日本其他公司的泵相比,容积…     

油扩散泵两种抽速测量方法的比较

本文提出了介绍油扩散泵两种抽速测量方法的比较研究。所使用的方法是试验罩法和带有辅助抽气系统的流导管法。这个辅助抽气系统是在流量低于 １０－５Ｎｍｓ－１（～０．１μｌｓ－１）时的很低压力下使用。人们发现为了得到在重叠压力范围用两种方法测量油扩散泵抽速比较结果，当规管距泵口法兰是Ｄ／２时，即得到泵本征抽速的试验罩法的同样位置，流导管法中的流导管应安排在距泵口１．２Ｄ的高度。     

径向流涡轮分子真空泵

介绍了用于扩散泵低压端双级径向流分子泵详细结构、性能预示及性能测量。性能预示的基础是自由分子流和扩散反射的概念。就现有设计所采用的叶片与环的厚度值来讲，我们认为必须考虑到这些厚度对于泵性能的影响。预示了压强比及速度系数，几乎与转子速度成指数关系并取决于前级泵抽速及气体载荷的程度。 这次研制的泵，转子转速每分钟为３４００转，预示着它的抽速大约为作为前级泵的扩散泵对于氮和空气的抽速的１４及１０倍。预示的性能大体上在实验误差范围内与测得的性能是一致的。 如果人们想在较高的流率下设计适度的压强比，为了（ａ）对于给定的系统医强来说．增加扩散泵的抽气量，（ｂ）对于给定的扩散泵抽气量来说，降低系统的压强，那么就可以在扩散泵的低压端采用径向流涡轮分子泵。     

国产化最大容量的新型真空抽气系统成套设备热试成功

国产化最大容量的新型真空抽气系统成套设备热试成功（航天集团）西安向阳真空设备有限责任公司为国产化最大容量的１００ｔＶＤ钢包精炼炉研制的真空系统成套设备，于１９９７年６月在上钢五厂热调试成功。向阳真空公司设计与供货的成套设备主要包括下列三个部分。１．４...     

论不锈钢容器中烘烤对出气率与抽速关系的影响

为了研究真空系统中烘烤时对出气率与抽速关系的影响，在室温条件下未经烘烤和在室温条件下经过温度为１００℃和２５０℃烘烤的情况下，对出气率与抽速的关系进行了测量。测量所得出气率ｑ（Ｔｏｒｒ，ｌ／ｓ，ｃｍ＾２）遵循指数规律：ｑ＝（Ｃｓ／Ａ）＾ｍ，其中，ｃ和ｍ（０〈ｍ〈１）为常数：Ｓ／Ａ为抽气参数，其定义为抽速Ｓ（ｌ／ｓ）与真空容器表面积Ａ（ｃｍ＾２）之比，Ｓ／Ａ的变化范围从２．４６×１０＾－５到１．２６     

余摆线真空泵的研究和初步试用情况

试验表明：圆形活塞原理（即Ｗａｎｋｅｌ转子）不适用于机械真空泵的结构。经过对各种类型园形活塞设计的研究,最后确定研制余摆线泵。这种泵具有超余摆线（ｈｙｐｔｙｏｈｏｉｄ）形状的转动活塞。由这种方式构成的泵其抽速可达４００～６３０米～３／小时。第一批产品已在冶金工业、化学工业以及真空食品包装等工业部门试用。目前正在建立生产线。而抽气量高达２０００米～３／小时的大容量系也在设计和制造中。余摆线泵总的特点是动平衡好,因而噪音低,尺寸也比其它具有同样抽气量的泵小,另外还具备启动快、不用齿轮和皮带传动、泵体无漏气以及贮油容量大等优点。     

一种获得无油高真空和超高真空的新式高效涡轮分子泵

对涡轮分子泵的性能作了简单的总结之后就开始考虑到设计一种新式的高效涡轮分子泵。通过提高转子的转速或者改进转子叶轮的几何形状，就能提高抽速。压缩比和抽速之间的关系是设计新式涡轮分子泵的决定性因素。对氢气的压缩比在低于３００时就会造成对轻气体（Ｈ２，Ｈｅ）的抽速的显著下降。 由所能达到的最大有效抽速和维修问题来决定是卧式转子还是立式转子。本文指出，目前先进的高效涡轮分子泵应该是卧式双转子、不透光性的叶轮结构、合适的最佳泵体和由电子传动。     

兼用冷阴极离子抽气和活性膜收气作用的50000升/秒泵结构和性能

早在两年前就已开始把活性金属膜的消气作用和冷阴极多室离子泵的抽气作用联合起来工作。已进行了多方面的探讨,包括研究和实验蒸发方法,选择作用金属以及系统的几何尺寸。由于作了这些研究,开展了各种系统的设计,它对于密封系统产生的抽气速度比以往经历过的要好几个数量级。对于在５００００升／秒泵的设计中使用过的这种系统的特征数据作了叙述。初步实验已证实了予测的结果。     

使用转子流量计测量气体流量值得注意的两个问题

用转子流量计测定气流回路中的空气（气体）流量时，两个值得注意的问题容易被人们忽视，即气流有脉动时和气流回路中因某个部件（主要是而是调节阀）引起的抽气负压施加于转子流量计人口端时。会产生测量误差，文章就这两个问题作一些探讨。     

圆弧-摆线-渐开线型罗茨泵转子型线参数选择范围

罗茨泵转子型线是罗茨泵的关键。零流量压缩比高的罗茨真空泵、湿式罗茨泵真空泵和罗茨鼓风机均要求泵工作时转子与壳体之间及两转子之间气体泄漏较小，这样可改善泵的低压下性能，即提高泵的抽气效率。转子型线为“圆弧－摆线－渐开线”就可以满足这一要求。文中给出了泵的参数选择图，从图中可以看出泵的参数选择范围，文中说明了该图边界的性状．由该图可查出泵的容积利用系数λ同转子顶圆半径Ｒｍ与节圆半径Ｒ之比 Ｒｍ／Ｒ以及同渐开线压力角α的关系。 λ＝ｆ（Ｒｍ／Ｒ，ａ）。图中用计算机绘出了几个比较特征参数下转子型线及其啮合情况，借此可根据实际需要来选择系的转子型线参数。此种转子型线工艺性良好。可仿型法加工（只需两个工位）。还可以用范成法加工其渐开线部分，余下部分用成型铣刀加工。若以范成法加工型线渐开线部分时，设计转子型线时可选取渐开线基圆半径ｒ为整数．以便于其工艺装备的设计。     

汽车衡计算机称量系统

汽车衡计算机称量系统易源星，黄健夫，龙海洪（湖南冷水江钢铁总厂冷水江市４１７５００）１系统的组成３０ｔ汽车衡计算机称量系统主要由以下几个部分组成：（１）秤台：采用全钢结构，起支撑汽车的作用。（２）重量传感器：共有４个传感器，秤台４角各装一个，将重量信...     

松下M系列家用摄像机检修和维修数据

一、Ｍ系列家用摄像机维修实例例１机型：Ｍ７故障现象：开启电源开关，红色电源指示二极管闪亮一下，开不起电源。分析排除：打开机器检测，电源部分ＩＣ１００２各脚电压基本正常；测得专为摄像头及其它驱动电路提供的＋１６Ｖ、－８Ｖ无输出（如图１），提供＋１６Ｖ、－８Ｖ的是一组微型开关电源电路；测得ＩＣＩ００３，ＩＣ１００４在路电阻值为正常。用手不断推动电源开关，强迫机器工作，测得开关变压器Ｔ１００１（９）脚为１２Ｖ，（６）脚无电压，开关管ＱＲ１００３ＣＥ极电阻正常。怀疑Ｔ１００１开关变压器初次开路，用万用表…     

泛连通图的一个充分条件

证明了如果Ｇ是３连通无爪图，且Ｇ的每个导出子图Ａ都满足（ａ１，ａ２），则Ｇ是泛连通图（除了ｕ，ｖ∈Ｖ（Ｇ），ｄ（ｕ，ｖ）＝１时，可能不存在（ｕ，ｖ）－ｋ路，２≤ｋ≤４外）     

CFETR堆芯真空室抽气系统的初步设计

根据中国聚变工程实验堆(CFETR)堆芯真空室的尺寸、偏滤器工作气压及抽气要求,模拟计算出低温泵在偏滤器口对燃料粒子的有效抽速约43 m³/s,运用粒子平衡法计算出堆芯真空抽气所需的低温泵的数量,并验证了氦灰抽除的可行性和分析了低温泵对氚滞留的情况。通过计算堆芯真空室抽极限真空所需要的抽速和前级抽气系统的平均有效抽速,初步设计了维持泵的数量和预抽气的前级泵组。CFETR堆芯真空抽气的初步设计为后续真空系统的工程设计及建造提供了理论依据。     

VCAD—一种基于作图辅助线的二维参数化系统

ＶＣＡＤ系统采用作用辅助线的方法即先勾划总体轮廓，然后再作细化处理输入工程图纸。系统把几何约束蕴含于数据结构之中，建立起几何元素之间的约束关系．由于作图过程的每一步骤都是确定的，每一条辅助线都只依赖于至多一个变量，因而所有计算都是局部的，封闭于每条几何定义语句的自身范围内，算法效率高、可靠性好。     

CD-J50型超高真空阀门

前言 随着电子工业的迅速发展,对清洁超高真空等基础工艺提出了新的更高要求。自一九七三年以来,我厂研制了一些长寿命、高可靠、低噪音的电子管。因而逐步对原有的油扩散泵抽气系统进行了技术改造。用冷阴极钛溅射离子泵和钛球升华离子泵抽气系统更换了油扩散泵抽气系统。经过几年来的生产实践和不断改进,已能适应和满足生产的工艺要求,收到了初步的效果。在制造钛泵抽气系统的过程中,由十一车间,技术科、八车间等单位三结合设计,制造了CD──J50型超高真空阀门(见图 1)。用作为联结主泵,被抽容器和子抽系统的控制阀。 一、 CD──J50超…     

图的正交[0,ki]1^m—因子分解

设Ｇ是一个图,ｋ１,…,ｋｍ 是正整数,若对任何的ｘ ∈Ｖ（Ｇ） 有ｄＧ（ｘ） ≤ｋ１ ＋ …＋ ｋｍ － ｍ ＋ １,且Ｈ 是Ｇ的一个ｍ －［１,２］－图,则Ｇ有一个［０,ｋｉ］ｍ１ －因子分解与Ｈ 正交。     

一种新型测量材料出气的超高真空系统

本文叙述的材料出气测试系统有三个显著的特点：一是它通过一个“复合磨口”把测样室与抽气系统活接起来，因而使玻璃超高真空测试装置能够简便而快速地取放试样；二是在测试过程中，流量孔能够加盖封死，从而实现了用恒流导法测量与用定容法测量相结合。这就提供了测出试样长时间微量出气的可能性；三是可以测量多种材料与同一个试样的不同比表面（试样表面积与有效抽速之比）的出气速率。     

界面势垒对有机铁电共聚物铁电开关性能的影响

界面势垒对有机铁电共聚物铁电开关性能的影响李杰祝生祥（同济大学波耳固体物理研究所·２０００９２）１前言ＰＶＤＦ是一种有机大分子聚合物，ＰＶＤＦ及其共聚物具有强压电性［１，２］。这种有机压电、铁电材料，作为机电转换换能器，已获得广泛的应用［３］。有机压...