微机电系统

分析了微机电系统发展的可能性，必然性和对科学与经济发展的巨大意义，总结了发展微机电系统的若干主要的工艺技术，介绍了微机电系统当前的进展与发展前景。     

微机电系统

分析了微机电系统发展的可能性、必然性和对科学与经济发展的巨大意义。总结了发展微机电系统的若干主要的工艺技术。介绍了微机电系统当前的进展与发展前景。     

微机电系统发展动向

微机电系统（MEMS）自1988年迄今,已从初期的探索、研究和创新阶段转向了生产与应用的成熟阶段．与此同时开辟了很多新领域．对于在今后5—10年中MEMS研究和发展的动向,专家们因其背景不同而看法各异,笔者选用现有实例来说明．从现在的趋势看,传统微机电系统的未来动向可以概括为4个方面．①把“传统”的、成型的MEMS元件或系统改进后,推向大规模应用,以支持持久的研究和开发;②传感器和微系统网络,当单一效能的系统在应用上建立后,可以开拓大型系统的应用;③新的材料,使用硅或半导体以外的许多材料制作特殊的微系统;④发展新的应用领域将是“非传统”的MEMS的主要动向,这些新的领域有生物研究和医药用仪器设备,微能源无线通讯和光通讯,环境保护和监测,以及纳米系统等．笔者根据一些从事MEMS教育和研究的人员的看法．对其发展动向作一简要报告,为MEMS计划工作者提供一些参考．     

用于微机电系统的磁流体微泵的研究

利用外磁场及其运动控制微机电系统中的磁流体的运动,成功地设计了磁流体微泵,试验表明:磁流体微泵的输出压力最高达到1180 Pa,输出流量最大可达50μl/min,磁场转速和输出压力、输出流量的在低转速时几乎线性关系,但超过一定的转速,输出流量和压力将迅速下降.为微机电系统提供可靠的驱动元件.     

微机电系统的加工技术及其研究进展

简要介绍微机电系统中的微机械加工技术,主要包括硅表面微加工技术、硅体微加工技术、光刻及电铸和复制技术(LIGA)、准LIGA技术和快速成型技术等,并综述了这些技术的研究进展情况。     

微机电系统微摩擦测试技术研究

为解决微机电系统存在的微摩擦问题,提出了一种以光反射为基础的微摩擦测试技术。探讨了该测试方法的基本原理和实施步骤,设计研发了微机电系统的微摩擦测试样机,详细分析了该测试系统计量标定的完整过程,最终得到了该系统的计量测试数据及曲线。通过对Cu-Si、Al-Si表面进行微摩擦实验测试,得到了Cu-Si、Al-Si表面的μm量级微摩擦系数,有效验证了该测试系统能够满足微机电系统微摩擦测试的需要,同时,也为微机构运动特性的理解及设计提供了依据。     

微机电系统径向气体轴承特性研究

充分考虑气体滑流边界条件的影响,结合硬球分子模型,提出一种可变温度二阶滑流修正Reynolds方程,并运用Newton-Kantorovich法(NKM)分析微机电系统(MEMS)径向气体轴承的特性,结果表明,微气体轴承与传统气体轴承相比,其承载能力有所降低;在大偏心率条件下,随着温度的升高,工作气体粘度及其分子平均自由程增大,使微气体轴承的承载能力进一步降低;针对微旋转机械转速高、长径比小等特点,讨论了转子转速、长径比及温度对径向微气体轴承特性的影响。     

微机电系统中的微观黏滑、黏附与控制

微观黏滑和黏附失效是微机电系统中的常见现象,该现象主要是由于受包括静电力、范德华力及毛细力等各种表面力所起的主导作用而产生的．采用黏着接触理论和运动分析方法,得到了微观摩擦试验中黏滑出现的无量纲黏滑数,表微观黏滑是接触表面特性、形貌参数、接触载荷及滑动速度等综合作用的结果,进而获得黏滑现象的各种临界参数,提出了黏滑行为控制的表面修饰与形貌设计依据;针对微构件的黏附失效,采用Laplace公式并结合微构件的变形分析,探究了毛细力作用下微构件的变形特征与失稳行为,发现其变形过程中存在着不稳定的临界点,对应黏附行为的发生,进而提出了微构件防黏附的结构设计．     

形状记忆合金薄膜在微机电系统中的应用

形状记忆合金（SMA）薄膜因其特有的形状记忆合金效应，超弹性行为以及薄膜材料所特有的优越性能，而在微机电系统中的微驱动器和微传感器方面极具应用潜力，本文主要介绍了以TiNi基合金为主的形状记忆合金薄膜在微驱动器和微传感器上的国内外应用性研究现状，并展望了其未来的发展趋势。     

基于微机电系统的薄膜体声波谐振器技术

随着我国无线通讯的飞速发展,通讯器件的微型化、低功耗、低成本、高性能与集成化等越来越受人们关注。基于微机电系统的薄膜体声波谐振器技术是实现系统低功耗与微型化的重要技术,薄膜体声波谐振器具有体积小、频率高、换能效率高等诸多优势。为了对基于微机电系统的薄膜体声波谐振器有一个更深层次的认识,文章阐述了薄膜体声波谐振器的基本结构与工作原理,并分析了薄膜体声波谐振器及技术的应用与发展趋势。     

微电子机械系统进展和趋势

本文对微电子机械系统的进展和趋势提出了一些观点性意见，在阐述了微机械技术和ＭＥＭＳ的特点后，强调发展ＭＥＭＳ器件要利用其特点而避免其短处，并为此列举了五个方面成功的ＭＥＭＳ器件。最后，本文讨论了了ＭＥＭＳ进一步发展的趋势和提出了我国发展ＭＥＭＳ的意见。     

集成微光机电系统研究现况及其产业化前景

本文介绍了国际集成微光机电系统的研究现况及其产业化前景 ;在此基础上 ,提出了对我国加快这一领域的研究和产业化的看法     

空间辐射制冷技术的应用与发展

介绍了辐射制冷技术的应用历史与现状，列举了多种国外飞行任务使用的辐射制冷器的性能指标与简图，此基础上分析了当前辐射制冷技术的发展特点与趋势，提出了将来一段时期内辐射制冷技术的研究重点。     

空间用斯特林制冷机结构的发展

斯特林制冷具有工作范围宽、启动快、效率高、操作简便等诸多特点,是我国目前急需突破的空间制冷技术。随着影响制冷机性能的各种因素逐步得到解决,制冷机寿命及可靠性大大提高,现在正向空间工程应用转化。主要介绍了空间斯特林制冷机结构的发展情况,将对制冷机的设计优化,进一步提高制冷机工作寿命和可靠性提供有益参考。     

空间站尿液处理技术研究及进展

尿液处理再生技术是空间站环境控制和生命保障系统的重要组成部分之一,为了实现空间站水资源的循环利用和最大可能减少空间站水补给量,尿液再生技术的主要功能是将空间站中航天员排泄的尿液进行收集、处理和净化,从尿液中提取水分用于电解水制氧或航天员生活用水,从而实现空间站用水的回收再利用。文章介绍了目前国内外发展较为成熟的尿液处理技术,如渗透蒸发膜技术和蒸气压缩蒸馏技术,以及正在研究中的新型技术：冷冻浓缩及真空旋转蒸馏技术,并提出了未来发展方向。     

空间真空测量技术研究

针对国内外在空间真空测量方面的研究状况作了简要描述,对研制的2种空间真空规(转换器方向性真空规和束检测器方向性真空规)进行了介绍,并对空间真空测量技术的后续研究工作作了展望。     

绿色装配式钢结构建筑体系研究与应用

发展钢结构建筑,可化解钢铁产业过剩产能,推进建筑绿色化、工业化、信息化。在国家政策推动下,我国装配式钢结构建筑从1.0时代快速迈向2.0时代,发展了以传统钢结构形式为基础的改进型建筑体系,模块化新型建筑体系和工业化住宅建筑体系。新形势下,预制混凝土构件解决了钢结构的传统难题,不同墙体交叉应用发展了新型围护系统,信息化技术促进了建筑业跨越式发展。全装配钢框架和盒子型模块化装配体系是新型低、多层模块化建筑体系,其采用“建筑元器件”的设计概念,以结构构件或建筑功能单元为基本元件组合而成,具有构件装配化、围护一体化、生产工厂化等特点。新型MCFTS（Multi-core Concrete Filled Steel Tube System）高层钢结构体系适用于住宅建筑和公共建筑,该体系分为组合多腔钢管混凝土框架-支撑住宅体系和组合多腔钢板墙核心筒-钢管混凝土框架公共建筑体系。MCFTS体系以组合多腔扁柱和双侧板连接节点为技术核心。研究结果表明,该体系具有优良的抗震性能和可修复性能。     

空间低温制冷技术的应用与发展

随着空间技术的快速发展,空间低温制冷技术也取得了长足的进步。介绍了国内外空间低温制冷技术最新研究进展及其在对地遥感和深空探测航天器中应用情况,结合国内空间低温制冷技术的发展现状,提出了我国开展空间制冷技术研究的几点建议。     

空间低温技术的进展

综合介绍国外，主要是美国、西欧空间低温技术的最新进展。论述超流氦冷却技术及空间飞行中的液氦再供给等在轨机载验证、低温风洞技术、氢浆的制备和应用前景等。重点讨论目前在空间探测过程中最具竞争性的斯特林制冷机和脉管制冷机的最新发展。对可望在空间中应用的毫开（ｍＫ）级３Ｈｅ—４Ｈｅ稀释制冷机和绝热退磁制冷机及其它制冷技术也作简要介绍。最后对发展我国空间低温技术提出了建议。