无油排气质谱

一、无油排气系统 从1974年开始,在北京仪器厂的协助下我们组装了一台无油真空系统专用于大功率发射管的排气,(1)该系统以两级吸附泵或带分子筛吸附阱的机械泵为前级,以冷钛泵为主泵、钛升华泵为辅泵。这样的组成方案目前在电真空器件的研制单位、包括使用无油真空技术制作发射管的厂家中是广泛应用的。这类排气台提供无油清洁真空的效果如何?在应用中应注意一些什么问题?这便是本实验所要探讨的。 目前我们使用的无油排气台如图1所示; 它与当初报导的系统(1)相比,几年来作过如下几点改进: l、用活性氧化铝挡油饼(配合机械泵)代替了分子筛挡…     

无油抽气技术在空间环模中的应用

本文评述了无油抽气技术在国内外空间环模设备中的发展和应用概况，讨论了实现无油抽气的各种技术途径，并对我国大型环模设备改为无油抽气的技术途径提出了初步设想．     

有油排气系统的改进

以普通油扩散泵一机械泵组成的有油排气系统是当前电真空器件生产中获得高真空的重要手段。由于目前电真空器件在该有油排气系统上排气封离时极限真空都限制在１０－７～１０－６乇，且存在油蒸汽对被抽器件的污染，使许多要求耐高压、高放射率和长寿命的器件的性能不能稳定和提高。 本文试验了由钛升华阱──冷阱──普通扩散泵──活性氧化铝吸附阱－机械泵组成的真空系统的抽气性能。结果表明系统极限真空度用液氮冷却在五～八小时内达到 （５～８） × １０－１０乇，自然冷却达到（３～４） × １０－９乇。并用该试验系统试排了数只 ＴＭ－８５电子管，在基本上不改变原排气工艺规范和不延长排气时间的条件下封离时真空度为 （１～２） × １０－８乇比原系统提高了二个数量级，参数全部合格，试验结果说明，系统的操作步骤对极限真空有很大影响，如在管内采用锆铝吸气剂并适当改变排气工艺规范以适应系统的超高真空性能可能获得更高的极限真空度。     

大功率发射管排气用的无油超高真空系统

一 、引言 无产阶级文化大革命以来,无油真空技术在我国发展很快。无油超高真空系统由于具有气氛清洁、极限真空高、安全可靠、无噪音和无振动等优点,逐渐应用于电子器件的研究与生产中。例如用于真空电容器和多种微波管的排气,近年已有报导。〔1〕〔2〕 用于广播、电视与通讯中的各种短波大功率发射管(以下简称大发射管),大多加工复杂、成本较高。这类电子器件都要求长寿命,高可靠性。因此,如何把无油真空这一新技术应用于大发射管的研制中已提到日程上来了。 我们两个单位合作试制的用于大发射管排气的无油超高真空系统于七四年末安装调试…     

无油真空系统的探讨

在具有腐蚀和清洁的环境下，广泛使用油旋转泵存在某些缺点。在腐蚀环境中的各 种应用，腐蚀性蒸汽或磨损粒子会污染泵的润滑剂，缩短了泵的使用寿命，而在清洁环 境中的应用，润滑剂又反过来污染真空工艺过程。为了克服这些问题，开发了无油真空 系统。 本文对爪型泵同罗茨泵和叶片泵进行比较，表明爪型泵是无油系统的理想抽气设备。     

无油超高真空系统的发展和应用

本文介绍无油超高真空系统的主抽气系之──冷阴极溅射离子泵的发展 和应用,包括泵的工作原理、结构、性能、使用和维护等,同时介绍了无油真 空系统的前级泵。     

涡旋式无油真空泵抽气机理的研究

本文从涡旋式无油真空泵涡旋体型线的基本几何理论入手，对涡旋式无油泵的抽气机理进行了深入研究，在此基础上建立了涡旋式无油真空泵的主要性能参数的计算公式，并给出了涡旋式无油泵的计算实例，为涡旋式无油泵的设计计算提供了理论依据。     

油扩散泵抽气速率与被抽气体的关系

通过对油扩散泵抽气速率、气体分子平均热运动速度和分子流态下气体流导的分析，指出油扩散泵对不同气体的抽气速率具有选择性，给出了泵对不同气体和空气抽气速率比值的计算值，同时指出电离规的规管常数与气体种类有关。     

程控无油超高真空排气台的研制

由外冷式吸附泵作为前级泵、溅射离子泵作为主抽真空泵构成无油超高真空系统,采用计算机控制技术,以真空度为工艺进程判据,对器件进行烘烤排气,实现电真空器件的真空排气工艺的自动控制.介绍了无油超高真空系统、控制系统、烘箱与热功率以及软件的设计.排气台为多工位结构,具有气体质谱分析和充气功能;空载时极限真空度优于8×10-7Pa;烘箱烘烤温度为25～600℃,连续可调,恒温精度优于±1%;分析质量数为1～80.程控排气台设计合理,操作简便,计算机控制技术精细了工艺过程控制量,排除了人为因素,其性能稳定可靠,可满足使用要求     

无油直线压缩机动态特性实验研究

成功研制了1台蒸气压缩制冷系统用的无油线性压缩机,基于无油线性压缩机在不同工况进行实验研究,分析不同压比和行程下吸排气压力对压缩机工作特性的影响。结果表明,压缩机的谐振频率受到活塞行程、吸排气压力的共同作用。随着排气压力的升高或吸气压力的降低以及行程的减小,谐振频率会逐渐增大。在排气压力不变,压缩比从2增加到4时,随着吸气压力的降低,压缩机的输入功率和流量、容积效率逐渐减小;在吸气压力不变,压缩比从2增加到4时,随着排气压力的升高,压缩机的输入功率逐渐增大,流量和容积效率随之减小。     

无油超高真空排气对磁控管性能的改善

无油超高真空排气工艺对磁控管性能有很大改善,根据生产实践有以下几点。一、阴极发射特牲的改善采用油扩散泵排气系统,在厘米波段的管子中,由于阴极结构大,所含发射物质的量也大,经过加重规范重新激活之后,一般发射电流能恢复正常。而在毫米波段的管子中(如八毫米脉冲同轴磁控管),由于阴极结构要小得多,所含发射物质的量也少得多,即使经过加     

KY-9油扩散泵的改进研究

ＫＹ—９油扩散泵是老产品,我们在不改变泵壳直径的条件下对各喷咀的几何尺寸和加热功率等作了一些调试分析。使抽气速率提高１４％。并将改进后的ＫＹ—９油散泵与日本ＪＶＥ公司的ＰＦＬ－０４油扩散泵进行了比较,其性能已基本上达到该产品水平     

具有冷冻升华阱的金属超高真空系统

在以金属油扩散泵为主泵的抽气系统中,附加一冷冻钛升华阱,消除了一般扩散泵抽气系统中普遍存在的压强脉动现象,获得了1× 10-11乇的极限真空。这是目前用来获得同等真空水平的简单、经济、适用的好方法。而且实质上是一台用有油的手段达到“无油”目的相当清洁的系统。 一、引言 油扩散泵抽气系统几十年来都是用以获得高真空和超高真空的重要抽气手段。但是近年来由于表面物理,空间模拟,电子器件等科研和生产对更清洁的真空环境的要求,完全采用无油抽气手段获得清洁真空环境的所谓“无油”系统迅速地发展起来。因此流行着一种看法:认为采用…     

L─100型三极溅射离子泵及JWZ─100型静电支承仪表无油超高真空排气台研究试验总结

我所为某单位研制的JWZ—100型静电支承仪表无油超高真空排气台,是以为完成一机部72181超高真空技术研究中10-12乇溅射离子泵为主泵的全无油真空机组,经过9月4日、11日、12日三次试验鉴定,于一九七六年九月二十一日经过所级鉴定委员会讨论结论认定;该机组全部达到或超过了72181溅射离子泵及排气台的技术指标。这些指标是: L—100型溅射离子泵 72181课题规定指标为10-12乇经过鉴定达到指标为2.2 × 10-12乇(用 SG-4型冷磁控极高真空计测)。 L—100型冷阴极溅射离子泵抽速达到160升/秒。 JWZ—100型静电支承仪表无油超高真空排气台系统真…     

CD-J50型超高真空阀门

前言 随着电子工业的迅速发展,对清洁超高真空等基础工艺提出了新的更高要求。自一九七三年以来,我厂研制了一些长寿命、高可靠、低噪音的电子管。因而逐步对原有的油扩散泵抽气系统进行了技术改造。用冷阴极钛溅射离子泵和钛球升华离子泵抽气系统更换了油扩散泵抽气系统。经过几年来的生产实践和不断改进,已能适应和满足生产的工艺要求,收到了初步的效果。在制造钛泵抽气系统的过程中,由十一车间,技术科、八车间等单位三结合设计,制造了CD──J50型超高真空阀门(见图 1)。用作为联结主泵,被抽容器和子抽系统的控制阀。 一、 CD──J50超…     

爪式无油增压传输真空泵的设计

爪式无油增压传输真空泵的设计和制造,使其成功的应用于各种气体物料在真空负压条件下的增压传输工艺作业,成为核燃料浓缩工业等现代高新技术领域最新的科技成果,对于化工和其他工业应用爪式无油真空泵进行气体物料增压传输工艺作业也具有指导意义.本文简要的叙述了爪式无油增压传输真空泵的设计依据、技术要求、驱动传动系统、结构选择及其工作原理.该系列产品在实际应用中也取得了良好的效果.     

油蒸汽扩散泵性能试验方法(草案初稿)

一、总则 1.适用范围: 这一试验方法适用于油蒸汽扩散泵以及由该种泵组成的机组。 2.试验项目: ( 1)极限真空; (2)抽气速率; (3)排气压强; (4)返油率。 3.试验条件: (1)试验时周围环境没有较大的空气流动。没有震动和温度力:20℃±5℃ (2)被试泵的加热、冷却以及工作液体均应符合要求。 ( 3 ) 前级泵应满足被试泵的排气压强以及抽气量的要求。 (4)正个系统的漏气率L(毫米汞柱·升/秒)应为: L≤S. 10-7(毫米汞柱· 升/秒), 式中:S-被试泵名又抽气速率。 二、试验装置 4·试验用真空系统如图1所示,由试验罩、散流器、集油器、流量装置、前级…     

电离吸气钛泵及其在电子管排气中的应用

无油超高真空技术对真空器件的研制和生产来说都有它特殊的意义。从现有掌握的资料来看,无油超高真空排气不但能提高电子管的发射性能,改善耐压,耐高频性能,使管子的合格率和优品率提高,还能缩短管子的排气时间,改善排气环境,不怕突然停电等优点。现在国内在电子管排气中广泛使用以溅射离子泵为主,升华泵为辅的组合形式钛泵,这样的组合使排气系统体积庞大,笨重,价格贵,因此,在电子管生产上推广应用还有很多技术问题需要解决。 电子管排气与其它超高真空无油抽气装置有着很多不同的地方,如管子体积一般都较小,管子与系统联接都有一根通导能力…     

关于油增压泵的研制和改进

前言 为提高油增压泵的综合技术性能,特别是提高泵在高压强端的抽气能力,沈阳真空技术研究所在研制成功Z—400泵(一九七八年型)的基础上,又进行了Z—200泵的研制工作。经过测试,Z—200泵的抽气特性与Z—400泵非常相似。其泵口在高压强1×10-1托时测得的抽气速率,高于 1×10-2托     

无油真空检漏系统在空间环境模拟试验中的应用

介绍了我国某小型空间环境模拟无油检漏试验设备,并就无油真空系统、检漏系统灵敏度和反应时间等问题作了详细介绍,大量试验证明该无油检漏系统的设计是合理和正确的.