二等量块标准装置不确定度评定

以二等标准量块做标准器、接触式干涉仪为比较仪检定三等量块时，标准装置不确定度评定。     

三等量块标准装置不确定度评定

不确定度是测量工作的质量和测量结果可信赖程度和评价。利用三等量块、接触式干涉仪、平面平晶、温度湿度计、干涉显微镜等组成建立三等量块标准装置,通过对三等量块标准装置测量不确定度来源的分析,评定了三等量块标准装置测量不确定度大小,分析得到的结果满足采用比较测量法检定四等及四等以下量块。     

关于（0～100）mm0级量块的检验方法及测量不确定度分析

本文主要对利用二等陶瓷量块作为基准，利用接触式干涉仪进行比较测量，检验0级陶瓷量块的检验过程的测量不确定度进行分析。     

满足一等量块检定要求的接触式激光量块干涉仪

最新研制的接触式激光量块干涉仪主要用于测量一、二等量块的中心长度，其长度测量不确定度达到（0.02 0.2L)μm。文中介绍了其工作原理、测量不确定度分析，给出了量块测量的验证数据。     

采用电脑量块比较仪对0.5～100mm三等量块中心长度测量结果的不确定度的评定

依据JJG 146-2003<量块>检定规程,采用比较测量法,即以二等量块为计量标准器,以电脑量块比较仪为主要配套设备,检定三等量块中心长度为例,进行其测量不确定度的评定.     

高等级量块的检定技术

新量块检定规程(JJG146-94)，提高了各等级量块的测量不确定度要求，传统的目视测量方法在测试精度和效率上已经不适应实际需求。本文将对一、二等量块直接测量技术和用于三、四等量块的接触式干涉仪测量自动化技术作一介绍。     

三等量块比较测量不确定度的估算

测量结果的可靠性或测量结果的质量均是由其测量不确定度来表征的。本文拟以三等量块比较测量为例，依据《JJG146—94量块检定规程》，参照国际标准化组织（Ito）、国际法制计量组织（OIML）等共同颁布的《测量不确定度表征方法指南》进行测量不确定度分析估算。     

0.5—100毫米二等量块测量不确定度估算的讨论

文章意在根据《测量不确定度表示指南》，结合测量实际与实验结果重点分析讨论在柯氏干涉仪进行０．５－１００毫米二等量块光波干涉直接测量的各测量不确定度来源，以期获得其合理，贴切实际的测量不确定度报告。     

量块比较测量温度的量化及研讨

JJG146—2003《国家量块检定规程》不仅就量块测量温度对20℃的偏差而引人的不确定度做出了不超过被测量块长度测量总不确定35％的要求，同时还在规程的附录中对量块长度测量温度进行了列表量化。本文从三等量块长度测量不确定度分析人手，对三等量块长度比较测量的温度进行分析、量化和讨论，以期对新规程的实施有所帮助。     

三等量块比较测量不确定度的估算

测量结果的可靠性或测量结果的质量均是由其测量不确定度来表征的。本文拟以三等量块比较测量为例，依据《ＪＪＧ１４６￣９４量块检定规程》，参照国际标准化组织（ＩＳＯ）、国际法制计量组织（ＯＩＭＬ）等共同颁布的《测量不确定度表征方法指南》进行测量不确定度分析估算。     

0.5～100毫米二等量块测量不确定度估算的讨论

文章意在根据《测量不确定度表示指南》（ＧＵＭ） ，结合测量实际与实验结果，重点分析讨论在柯氏干涉仪上进行０－５ ～１００ 毫米二等量块光波干涉直接测量的各测量不确定度来源，以期获得其合理、贴切实际的测量不确定度报告     

3等量块中心长度校准结果不确定度评定

本文以新规程《JJG146-2003量块》为依据,对三等量块在接触式干涉仪上检定中心长度校准结果的不确定度分析、评定.     

引入平板系统对量块长度测量结果的影响

以光谱辐射线的波长作为标准、以光波干涉条纹小数部分重合的原理设计的光波干涉仪、用直接测量的方法测量量块长度时，必须引入一系列大孔径（Φ≥５０ｍｍ）的平板干涉系统，本文讨论各平板各自的平面度在干涉仪光学系统中的相互叠加对量块长度的测量结果的影响     

大量程位移传感器用于三等量块检定时不确定度分析

对于三等或三等以下量块的检定，受位移传感器测量范围的精度的限制，一直采用比较测量方法。近年来，随着高精度大量程位移传感器的出现，使得采用直接测量方法检定量块成为可能。本文介绍了用大量程位移传感器直接测量量块的方法，并对其不确定度进行了详细分析。     

二等量块检定装置

利用激光干涉测长原理研发二等量块自动测量系统并对其进行成果验证。该装置采用633 nm碘饱和吸收稳频He-Ne激光器作为标准;硬件设计包括开发机械主体,搭建激光光路和信号处理模块,研发精密柔性定位的传感器、选配相关电机驱动和环境参数监控系统;软件研发数据采集和监控处理程序、测量结果判定及环境参数补偿软件;该装置测量范围上限100 mm,测量量块的扩展不确定度为U=0.04~0.08μm(k=3)。该装置为华南地区的最高等级计量标准,对外开展长度尺寸为0.5~100 mm的二等量块检定业务。     

立式接触式干涉仪的核查方法及异常值排查

<正>立式接触式干涉仪是三等量块标准装置的主要配套设备,在量块检定过程中,立式接触式干涉仪通过对标准量块与被检量块的微差比较法,取得被检量块的修正值。因此,在检定前对立式接触式干涉仪进行有效的核查,是排除异因、保证检定数据真实准确的基础。笔者现结合多年工作经验,对立式接触式干     

三等量块比对测量值不确定度的评估

简述比对要求和方法,详细分析了测量量块中心长度的主要误差来源,包括:标准量块中心长度测量不确定度分量、比较差值估算的不确定度分量、标准量块与被测量块膨胀系数差给出的分量、标准量块与被测量块间的温度差给出的分量。并评定这些误差来源对测量值的影响。     

具有F-P标准具照明系统的白光干涉仪测量量块的测量不确定度分析

文献[1]F-P标准具用于量块量值的传递与溯源一文(中国测试技术2012年增刊第2期54-58页)介绍具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的光学原理及其结构,以及检定F-P标准具的等倾干涉的原理。而进一步对具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的测量不确定度的分析,则由本文完成。该文首先对F-P标准具的检定及其测量不确定度就行了分析。量块尺寸在白光干涉仪上与标准具作比较测量。为减少标准具的数量,量块尺寸可以与两块或三块标准具组成的尺寸进行比较,也可以是由一块尺寸较小的标准具经过光学倍增法实现与被检量块尺寸相同进行比较。例如80mm的量块用40mm的标准具进行比较,这时在量块上的光路在标准具中多一次反射达到;90mm量块则用30mm标准具进行比较。他们也可以由两块标准具组成的尺寸进行比较。分析时以倍增法测量误差最大,以其进行计算。充分证明具有F-P标准具的白光干涉仪完全满足检定1等量块的要求。通过文献[1]及本文的介绍,映证该技术可以实现普及1等量块的检定及量块的自动化检定,特别适用于量块生产厂00级、K级、0级量块的自动化检定。     

如何使用电炉内温度恒定

立式接触式干涉仪通常用于比较测量法测量量块 ,很少考虑混合测量法的应用。而一般小型企业不建立正、负微米组标准量块。只有在 83块组标准量块的情况下 ,才运用混合测量法 ,可使正、负微米组量块的检定问题得到解决。利用立式接触式干涉仪刻度上± 5 0分度值 (分度值取 0 1μｍ时 )以混合测量法进行检定正、负微米组量块中心长度尺寸和平面平行性尺寸。( 1)取 83块组标准量块中的 1 0ｍｍ块 ,将干涉仪“零位”线对准刻度中的“ 0值” ,分别进行检定 1 0 0 0ｍｍ、1 0 0 1ｍｍ、 1 0 0 2ｍｍ、 1 0 0 3ｍｍ、 1 0 0 4ｍｍ量块。注意 :读数…     

双波长激光量块干涉仪减小量块中心长度测量不确定度的措施

该文总结了双波长激光干涉仪研制过程中减小量块中心长度测量不确定度的几项重要措施,该干涉仪对量块中心长度的测量不确定度达到(0.02±0.2L)μm,并已成功应用于高等级量块的自动测量。