汽车防雾反射镜的研制

给出了汽车防雾反射镜的膜系设计原理和制备工艺。反射镜性能指标为 :在中心波长 590nm处 ,反射比 ρmax≥ 0 95,反射带宽约为 50nm ;短波范围内平均透射比达 0 75;长波范围内平均透射比达0 80 ,符合汽车防雾照明使用要求     

30.4nmSi／C多层膜反射镜的制备与测量

采用离子束溅射镀膜装置制备了一种新的材料组合Ｓｉ／Ｃ多层膜，用于３０．４ｎｍ波段的正入射多层膜反射镜。并用软Ｘ射线反射率计测得其反射比最大值为０．１４。有效地抑制了１５．０ｎｍ处的二级衍射峰。     

一种新型溅射系统中的电子反射镜对放电特性的影响

本文对一种带有电子反射镜的溅射系统的放电特性进行了研究．并对几种不同形状的电子反射镜进行了研究比较。从中看到，圆筒形反射镜中心部分对电子的反射能力较弱，电子和离子容易逃离放电空间而影响等离子体的密度，并造成靶面刻蚀不均匀；同心圆筒型反射镜提高了中心部分反射电子的能力，明显提高了等离子体的密度，并使靶面刻蚀情况得到了改善；栅网型与盘香型反射镜都对电子有较强的反射能力，并能获得较高密度的等离子体；靶面刻蚀均匀。是比较理想的电子反射镜。由靶到电子反射镜之间的距离与靶的直径之比为１：１时，可以获得较高的放电电流。距离过大或过小都对放电不利。另外，磁场强对放电有很大影响，磁场强度的减弱会造成放电电流急剧下降。 由于此系统的磁力线与靶面垂直，所以对磁性材料与非磁性材料都能溅射。     

平面连续抛光技术在大尺寸异型石英轻质镜制造中的应用

报导了采用１．６ｍ直径连续抛光机制造５８６ｍｍ×４４０ｍｍ、２０边形反射面板的大尺寸异型轻质平面反射镜的光学表面抛光技术。讨论了平面连续抛光理论和抛光工艺设备及特点。给出了最终制造结果。     

碳纤维织物/PEEK热塑性树脂基复合材料光学反射镜研究

研究了碳织物增强热塑性PEEK树脂基复合材料的力学性能、部分空间性能及光学反射性能.研究结果表明,碳织物/PEEK复合材料具有优异的力学性能、空间性能、耐辐照性能和光学反射性能;在1×10-3Pa真空中可凝挥发物(CVCM)为0、水气回收量(WVR)为0.08%,并制成φ128mm反射镜,测试了反射镜的反射率为96.89%.碳织物增强热塑性PEEK树脂基复合材料是一种适合空间环境的高性能复合材料,可以用于制作光学反射镜.     

真空蒸镀铝及保护膜的表面形貌和光学性能研究

采用工业化生产流水线的真空蒸发镀膜工艺制备一系列太阳能利用铝反射镜,研究了基底材料对铝反射镜反射率的影响,利用理论分析结合试验,探讨了基底材料表面面型及微观粗糙度对真空蒸镀铝膜反射的影响。光学反射率测量显示不同基底材料的平面铝反射镜的反射率存在较大的差异,其中在ABS工程塑料上制备的铝反射膜的光学均匀性较理想,研究成果为实现低成本轻型铝太阳能反射镜的大规模生产提供了借鉴。     

NPL改进的光谱响应标准（400nm—20μm）（上）

英国国家物理实验室已建立了两套光谱响应标准。用高量子效率的硅光电二极管建立４００－９２０ｎｍ范围内的光谱响应标准，ＮＰＬ此标准的传递不确定度为０．１％。用装有半球形反射腔的热释电探测器建立了１－２０μｍ范围内的光谱响应经标准的不确定度小于１．６％。     

Gd／GaAs（100）的界面形成和电子结构

利用同步辐射光电子能谱技术研究了Ｇｄ在ＧａＡｓ（１００）表面的吸附。当吸附厚度小于０．４７ｎｍ时,界面反应弱;在０．４７￣０．９ｎｍ范围内,界面反应变得强烈;大于０．９ｎｍ时,界面反应停止。在吸附过程中Ｇｄ４ｆ首先是一单蜂结构,随着Ｇｄ的增加,Ｇｄ４ｆ演变为双蜂结构。根据对实验数据的分析,认为Ｇｄ在反应层上以团簇的形式吸附。     

Al—MgF2镀层反射镜

用真空蒸发和电子束蒸发的方法，在Ａｌ膜外表面镀一层２０～３０ｎｍ的ＭｇＦ２保护膜。制成紫外反射镜。其反射率为８８％，且有抗腐蚀、耐磨损的良好性能，有广阔的应用前景。     

基于MEMS技术的新型变形反射镜

基于MEMS技术体硅工艺,提出一种新型大有效面积的连续变形反射镜的设计制造方法。依工艺流程中的实际情况与结果,分析了在制造过程中遇到的大面积腔体深腐蚀中凸角腐蚀和键合中小空隙粘合等关键问题,设计实施了T形补偿角、延长驱动线等解决方案。用此方法制造出有效反射面积30mm×30mm,最大变形量1.2μm,49驱动电极的新型变形反射镜。10-200V电压范围内得到的该变形反射镜镜面变形数据与模拟结果具有很好的一致性。     

超光滑表面轮廓的绝对测量

本文提出了一种测量超光滑表面轮廓的绝对测量方法。采用微分干涉显微镜直接测量表面轮廓的差分，从而无需使用标准参考反射镜，并能有效在抑制机械振动等环境干扰对测量结果的影响。在不采取隔振和恒温等环境控制措施的一般实验室场合下，就可达到优于０．１ｎｍ的垂直分辨率和０．１５ｎｍ的表面轮廓重复测量精度。     

平面边续抛光技术在大尺寸异型石英轻质镜制造中的应用

报导了采用１．６ｍ直径连续抛光机制造５８６ｍｍ＊４４０ｍｍ、２０边形反射面板的大尺寸异型轻质质平面反射镜的光学表面抛光技术。讨论了平面连续抛光理论和抛光工艺设备及特点，给出了最终制造结果。     

神经网络在快速反射镜控制系统中的应用仿真

根据快速反射系统设计了模糊控制器，介绍了用神经网络实现模糊推量的方法，然后给出该网络模型用于快速反射镜跟踪控制系统的仿真结果。最合给出本文的结论。     

磁控溅射法制备Mo／B4C软X射线多层膜

用ＤＣ和ＲＦ磁控溅射法制备出了波长小于１０ｎｍ的波段的Ｍｏ／Ｂ４Ｃ软Ｘ射线多层膜反射镜。掠入射Ｘ射线衍射仪的测量结果表明，磁控溅射法有很高的控制精度，制备出的Ｍｏ／Ｂ４Ｃ软Ｘ射线多层膜周期结构非常好，表（界）面粗糙度非常小，约为０．４ｎｍ。     

非晶态Ge／SiO2超晶格结构与特性

在双靶射频溅射系统中，以氩气为工作气体，交替溅射高纯Ｇｅ和ＳｉＯ２制备同非晶态Ｇｅ／ＳｉＯ２超晶格，小角度Ｘ射线衍射分析结果表明样品具有良好的周期性和界面平稳性，其光学带隙Ｅｏｐｔ由红外透射，反射谱确定，当储势阱层厚度从０．３８ｎｍ减小到０．１２ｎｍ时，超晶格光学带隙发生的０．３ｅＶ的蓝移。     

低能粒子辐照对铝膜反射镜光学性能的影响

地面模拟研究了低能质子和电子对铝膜反射镜光学性能的影响。结果表明,低能质子辐照后,在200~800nm波长范围内铝膜反射镜反射率随辐照剂量增加而下降。质子辐照能量越低射程越短,则反射镜表面膜层中质子浓度越大损伤也更为明显。电子辐照射程较深,辐照作用对铝膜反射镜光学性能影响很小。     

铝膜紫外反射镜的高频等离子体阳极氧化技术

用高频等离子体阳极氧化技术，对铝膜紫外反射镜进行阳极氧化，得到紫外波段的反射率为６６％和９３％，它比单一的真空氧化铝膜的反射性能要好。在高频等离子体的阳极氧化中，尤以浮动氧化的反射性能更好（Ｒ＝９３％）．铝膜的紫外反射率和俄歇电子谱表明，氧的暴露量控制１００～２００Ｌ之间，能在铝膜外表面生长一层２２～３５ｕｍ的氧化铝保护膜，既能保持优异的反射特性，又有良好的抗腐蚀能力，是一种性能优越的紫外反射镜。     

轻型结构石英反射镜光学稳定性的研究

研究了φ２００ｍｍ及φ４１０ｍｍ轻型结构球面石英反射镜的光学稳定性。φ２００ｍｍ轻型石英反射镜经两次高温２００℃，低温－４０℃实验及两年时效研究，用ＺＹＧＯＭａｒｋⅣ干涉仪测量均方根误差及变化。对φ４１０ｍｍ轻型熔石英反射镜进行高温１５０℃、低温－３５℃实验。实验结果表明，均方根值变化均小于０．０１λ（λ：６３２．８ｎｍ），具有满足要求的光学稳定性。     

大尺寸反射镜高精度光学镜面Ni-P过渡层的制备方法

为了解决高精度光学系统中铝合金、铍反射镜易钝化、难加工的问题,采用自催化镍-磷合金作为过渡层后进行抛光的方法得到了高精度光学镜面．采用该方法所得到的镍-磷合金过渡层厚度为85gm,磷质量分数为11．88％,镀层显微硬度为730MPa镍-磷合金过渡层与反射镜结合牢固、耐蚀性较好,可通过±200℃热震试验及96h中性盐雾试验检测,适用于进行古典法抛光．经抛光后反射镜面形精度均方根值（RMS）为0．049λ（面形检测波长λ为0．6328μm）,表面疵病等级为Ⅳ级,能够满足光学系统的要求．     

φ200mm轻型石英反射镜的研制

本文报导了φ200mm轻型石英反射镜研制结果。研究分析了轻型反射镜对材料的要求,选择了石英做主反射镜材料;研究了具有高结合强度的封接材料及封接技术;研究了环辐型、多环型、井字型及六角型轻型结构,选择了多环型及六角型结构制成了φ150及φ200mm轻型石英反射镜;进行了高温、低温、一年时效、高能电子辐照、高能质子辐照及振动对轻型石英反射镜光学质量影响的研究,研究结果表明具有稳定的光学质量。可做为天文望远镜、卫星及激光系统主反射镜以及高稳定性的台基。