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相似文献
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1.
从多极场像差校正理论出发,根据六极场对三级偏转像差的影响,提出了基于Trilermma常数调整的偏转像差校正方法,这种方法使偏转像差的校正更方便、更直观,同时可以应用于大偏转角偏转像差的校正。  相似文献   

2.
偏转像差中束夹角α的高次项研究   总被引:3,自引:0,他引:3  
通过计算超大偏转角下二极场的偏转像差,对偏转像差中α高次项进行了分析,得出了超大偏转角下α高次项不应忽略的结论。并应用多极场理论,研究了超大偏转角下十四极场对α高次项的校正作用。提出了在超大偏转角下偏转像差的多极场校正方法。  相似文献   

3.
七级像差的多极场分析与校正   总被引:7,自引:0,他引:7  
应用多极场理论,研究了超大偏转角情况下的偏转像差,给出了应用十四极场做七级像差校正时的多极场表达式,计算了在多种情况下十四极场对七级像差校正的影响,同时还分析了多极场像差校正的方法。  相似文献   

4.
七级像差的多极场分析与校正   总被引:5,自引:3,他引:2  
应用多极场理论,研究了超大偏转角情况下的偏转像差,给出了应用十四极场做七级像差校正时的多极场表达式,计算在多种情况下十四极场对七级像差校正的影响,同时还分析了我极场像差校正的方法。  相似文献   

5.
提出了可以应用于矩形偏转系统的近似多极场模型,并给出了应用该模型进行偏转系统优化设计的方法,计算比较了旋转对称多极场模型和矩形近似多极场模型的磁场分布,应用近似多极场模型对矩形偏转系统的偏转像差进行了优化计算,得到了较好的像差校正效果。  相似文献   

6.
提出了可以应用于矩形偏转系统的近似多极场模型,并给出了应用该模型进行偏转系统优化设计的方法,计算比较了旋转对称多极场模型和矩形近似多极场模型的磁场分布,应用近似多极场模型对矩形偏转系统的偏转像差进行了优化计算,得到了较好的像差校正效果。  相似文献   

7.
通过超大偏转角下二极场的偏转像差,对偏转像差中α高次项进行了分析,得出了超大偏转角下α高次项不应忽略的结论。并应用多极场理论,研究了超大偏转角下十四极场对α高次项的校下作用。提出了在超大偏角下偏转像差的多极场校正方法。  相似文献   

8.
对不同张角的一组偏转线圈的H_z分量对偏转像差的影响进行了计算分析。结果表明,在应用偏转磁场的解析式进行偏转像差分析时,偏转磁场的H_z分量是必须考虑的,这个分量对偏转像差和Trilemma常数、偏转像差的校正和优化场分布产生十分大的影响。  相似文献   

9.
对不同张角的一组偏转线圈的HZ分量对偏转像差的影响进行了计算分析。结果表明,在应用偏转磁场的解析式进行偏转像差分析时,偏转磁场的HZ含量是必须考虑的,这个分量对偏转像差和Trilemma常数,偏转像差的校正和优化场分布产生十分大的影响。  相似文献   

10.
刘珠明  顾文琪 《光电工程》2004,31(12):12-16
电子束曝光机的偏转系统控制电子束偏转扫描。像差低、偏转灵敏度高、扫描速度快是它的基本要求。对各种偏转器、偏转方式进行分析、比较,从偏转器空间场的数值计算方法、偏转系统的优化、像差校正、偏转器制作工艺、电气参数等方面阐述设计过程和工程实现上一些值得注意的问题。综合考虑偏转器和偏放电路的设计可以得到最优性能的系统。  相似文献   

11.
本文研究了静电偏转器高阶像差在三维空间的微分代数计算。利用有限元方法计算了静电偏转器电场的三维分布,通过三维数据拟合方法构造电磁场分布的三维局部解析式,将电场量转化为微分代数扩展数,利用微分代数方法分析计算偏转系统直至五阶的像差。验证了数据拟合方法的精度和可靠性,结果表明该方法具有非常高的精度,完全可以满足工程设计分析的需要。编写了相关的计算软件,具体分析计算了一个八瓣电极偏转器直至五阶的几何像差。  相似文献   

12.
提出了电子光学偏转像差的李代数理论 ,将这种新型数学工具的应用领域从带电粒子束的聚焦传输系统推广到扫描偏转系统。推导出了磁偏转系统的高斯光学性质及全部三级正则像差 (包括在任意观察平面的正则位置像差和正则动量像差 ) ,所导出的结果与传统的逐次近似像差理论相同 ,为将李代数方法用于扫描探针系统的高阶像差的分析计算奠定了理论基础  相似文献   

13.
提出了电子光学偏转像差的李代数理论,将这种新型数学工具的应用领域从带电粒子束的聚焦传输系统推广到扫描偏转系统,推导出了磁偏转高斯光学性质主全中三级正则像差(包括在任意观察平面的正则位置像差和正则动量像差),所导出的结果与传统的逐次近似像差理论相同,为将李代数方法用于扫描探针系统的高阶像差的分析计算奠定了理论基础。  相似文献   

14.
周博 《硅谷》2012,(7):164-164,114
介绍数码单反相机的基本结构,利用光学成像原理,分析相机成像过程中产生的各种像差,分别讨论单色像差和复色像差的校正原理和方法。  相似文献   

15.
本文论述傅里叶变换物镜的像差理论和设计方法,从像差理论上来论证实现光学系统前后焦面均校正像差的可能性,以及实现傅里叶变换的光学透镜应当采取的结构型式。文中例举了二种结构型式的设计方法。  相似文献   

16.
张翔  杨伟  许冰  柳建 《光电工程》2006,33(5):48-52,61
在理论分析基础上,采用Hartmann-Shack(H-S)波前传感器方法实验分析了无源正支共焦非稳腔失调后输出光束像差特性。结果表明,腔内倾斜像差对光束强度分布有显著的影响,约1′的腔内倾斜即可使强度分布呈现明显不均匀,并使相位中的倾斜像差Zernike系数增大。但小的腔内倾斜像差不会使波面中的高阶像差发生明显变化,当引入较大的腔内倾斜时相位中的离焦、像散等高阶像差则有所增大。大菲涅耳数,且腔长较长的非稳腔对于离焦像差有一定的容限度。因此,在进行腔内像差自适应校正时,应首先考虑腔内倾斜像差的校正。  相似文献   

17.
依据斯特列尔判断,采用解线性方程组的方法讨论了高斯光束初级和高级球差的最佳校正形式,并以表格方式给出了最佳校正形式。讨论了按照均匀光波最佳校正形式对高斯光束进行像差平衡时的中心点亮度变化,研究表明,在工程实际中,采用普通光学系统的像差平衡理论对激光光学系统进行设计是完全可行的。  相似文献   

18.
用于空间引力波探测的星载望远镜在航天器间进行激光的传输以支持精密干涉测量系统,因此望远镜的光程稳定性已经成为一项关键的技术指标。在此系统中,光瞳像差与传统的像平面像差相比在了解系统光程稳定性需求、评价望远镜成像质量以及抑制抖动光程耦合噪声等方面可提供更深刻的见解。本文基于传统像平面像差理论和光瞳像差理论,建立了望远镜的初始结构,然后利用光学软件Zemax的宏编程实现了光瞳像差和像平面像差的自动校正,从而实现了高性能星载望远镜的设计,仿真结果显示满足天琴任务的需求。  相似文献   

19.
根据光波在介质中的传播规律,首先详细分析了全光路像差校正自适应光学系统的工作原理,然后对常规方法标定共模波前传感器后的系统校正残余误差作了分析,并从校正残余误差和操作的简易程度两个方面分析了常规方法标定共模波前传感器存在的缺点,最后针对全光路像差校正自适应光学系统的特点,提出了两种新的共模波前传感器标定方法,详细推导了两种方法标定共模波前传感器后全系统的校正残余误差.结果显示,两种方法标定共模波前传感器后,其校正残余误差只与常规方法标定共模波前传感器后系统的校正残余误差中的一种误差有关.  相似文献   

20.
为了校正Schmidt棱镜的偏振像差,消除双像和鬼影像现象,根据棱镜Jones矩阵B因子与衍射光强的关系,推导出B因子与屋脊面反射相移差δ之间的关系,明确了消除偏振像差,要求B=0需要屋脊面反射相移差δ=π的条件。采用在屋脊面镀制相位膜的方案,对比了单层膜与多层膜的反射相移差特性,得到了在可见光区实现宽波段消除偏振像差的膜系特性;证明了B=0是一条可以同时校正所有不同偏振状态入射光偏振像差的有效技术途径。实验镀制了屋脊面相位膜样品,进行了多种入射光偏振状态下的偏振像差检测,得到了很好的消偏振像差结果。  相似文献   

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