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按抽气过程推出了溅射离子泵的抽速公式。实验研究了阳极结构、阴极材料对提高抽速的作用。通过离子泵抽氩清洗后抽速提高现象的分析研究.证实了阴极材料表层成分对离子泵抽速有几倍的影响;钛阴极的泵在抽氮气达到稳定值后,阴极表层即盖满 TiN,而泵的正常抽速是离子溅射 TiN 生成的钛原子在阳极表面抽气提供的。研究表明,理想的离子泵阴极材料不仅应当溅射率高,溅射膜有高的吸气性能,而且应对入射的被抽气体原子有足够高的扩散能力。 相似文献
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我所为完成原第一机械工业部下达的72181超高真空技术研究课题,研制了L-100型三极溅计射离子泵。经试验、鉴定,该泵抽速为160L/s,极限真空为2.9×10-10Pa(SG-4型冷磁控极高真空测量),并成功地应用到为航天工业部某单位研制的JWZ-100型静电支承仪表无油超高真空排气台上做为主泵。该排气台系统极限真空达到5.5×10-8Pa。 相似文献
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三级高真空罗茨泵是一种新型罗茨泵,具有极限真空高、压缩比高的特点.在10~10-3Pa范围抽速大,并获得无油真空。用于溅射、离子镀及真空沉积设备等抽气,优于扩散泵和分子泵。 相似文献
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本文介绍了一种非蒸散型吸气剂(NEG)与微型溅射离子泵(SIP)集成构成的微型复合溅射离子泵。测试结果表明,当吸气剂激活后,复合泵的抽速达到0.45L/8,比未加吸气剂的同型溅射离子泵抽速提高了28%。该复合泵使真空器件的真空维持效果良好,可广泛应用于中小型的密闭真空器件中。 相似文献
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三级差分抽气分子束质谱装置的设计和研究 总被引:5,自引:1,他引:4
研制了具有三级涡轮分子泵差分抽气系统的分子束质谱装置,该装置在13300Pa典型气体采样压力下,三级差分抽气区的压力分别达到5×10^-1,3×10^-3,1.2×1-^-4Pa。利用该装置,已成功地实现了对活性离子物种N^+和N2^+的“原位”检测。 相似文献
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根据潘宁放电机理,导出溅射离子泵抽速的理论公式。讨论了抽速对各种放电参数的依赖关系。计算了离子泵对N2和CO的抽速。计算结果和实验测试以及经验公式的结果有较好的符合。 相似文献
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本文通过各种实验结果相结合的理论考虑得出了计算溅射离子泵特性的一般方法,这种方法成功地应用于高能加速器中分配溅射离子泵的最佳设计。计算抽速和测量抽速的偏差小于30%。 绪言 尽管几乎所有的真空领域中广泛地使用溅射离子泵,但是,我们有关不同泵的参数对于抽速的影响的知识,经验的多于理论。这大概是由于溅射离子泵复杂的抽气机理,这种抽气机理,依赖于潘宁室的不同放电模型,高能离子轰击阴极的溅射率,以及气体分子和二个电极表面之间发生的物理化学现象。 除了阴极材料外,影响溅射离子泵抽速的主要参数是:磁场强度,施加电压和阳极室… 相似文献
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为满足微电子学、光电子学、超导电子学等获得超高清洁真空的需要而研制了3L- 220型溅射离子泵.该泵体积小,容积利用率高.采用了两种不同直径的阳极简组合的 三极结构型式等一系列措施。极限压力低、抽气压力范围宽,对氩气抽速较高。 文中论述了泵的方案选择、主要结构设计,泵性能测试及其结果分析. 相似文献
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标志溅射离子泵性能的主要技术指标是泵的抽速和泵所能达到的极限真空度。这两项指标密切地依赖于泵的工作状态和泵的历史。因此,为了能正确地评价溅射离子泵的性能,除了规定一个统一而合理的工作条件以外,还必须使泵处于大致相同的初始条件下。 溅射离子泵抽气特点是内部储存与自身消耗。它不是把被抽气体经过前级泵排往大气中。而是借助于予抽泵把被抽空间的压强抽降到一定的压强下(低于10-2乇),然后溅射离子泵通过潘宁放电使气体电离。气体离子在电场作用下轰击钛或钽阴极。使气体离子与钛或钽的原子发生化学反应,或者被溅射出来的金属原… 相似文献
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《真空与低温》2020,(4)
建立了描述溅射离子泵抽气单元抽气特性的计算模型。采用商业软件COMOL Multiphysics,将等离子体模块、磁场模块、带电粒子追踪模块进行耦合,计算得到了阳极筒内潘宁放电特性参数、气体离子入射阴极板能量和角度。引入非垂直入射溅射产额公式,计算得到阳极筒内壁溅射产额及抽气单元抽速。模拟计算结果与实验数据的对比表明,两者具有较好的一致性,验证了所建模型的适用性。基于所建计算模型,开展了溅射离子泵阳极筒-阴极板间距对抽气性能影响的数值研究。计算结果表明,阳极筒与阴极板间距对抽气单元的有效抽速有显著影响,并存在最优间距,该间距下抽气单元的抽速最大,同时最优间距随阳极筒半径增加而增大。基于模拟结果,提出了非等径、非等高阳极筒抽气单元阵列结构离子泵设计方案,为溅射离子泵的结构改进和性能优化提供了新的设计思路和可行路径。 相似文献
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BEPC储存环真空系统 总被引:3,自引:2,他引:1
本文描述了BEPC储存环真空系统的设计、制造和运行。为了使储存环中正负电子的寿命达到8—10小时,要求真空系统的动态压强低于3×10-9Torr。储存环真空系统的主要气载是由同步辐射光与真空盒壁相互作用产生的。由于弯转的铝真空盒具有容易加工、高的热导性和低的放气率等特性,被广泛应用于真空系统。110L/s的涡轮分子泵机组把系统预抽到10—6Torr左右,主抽泵是工作在弯转磁场中的分布式溅射离子泵。500L/s的溅射离子泵安装在特殊的部位,如高频腔,静电分离器以及物理实验区等.100L/s离子泵每隔6.5米安装一台,当分市泵不工作时用来维持系统真空.八个全金属闸板阀把真空系统分成八个部份。为了减少由于高次模造成的束流能量损失,要求真空系统光滑过渡。 相似文献
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通过对一般溅射镀膜装置特点以及镀膜过程中存在问题的分析,指出:由于溅射镀膜时的工作压力处于扩散泵的恒定排气量区(第一级喷口过载区).扩故泵在这种环境下工作,返流严重,并且由于喷流不稳定现象导致压力难于控制。提出了一种由扩散泵机组作为溅射镀膜油气系统的改进型设计方案。理论分析表明:使用该方案,扩散泵进气口压力维持在恒定抽速区.返流减小,镀膜室工作压力也易于稳定。 相似文献