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相似文献
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1.
阐述利用半导体激光的频率变化和波长变化测量干涉仪光程差的基本原理,探讨一种在长度的两个端点干涉测量长度的新方法,即端点干涉测长法的原理,推导这种方法测量长度的公式,指出这种方法区别于其它干涉测长方法的独特优点,最后讨论测量中的注意事项以及需要深入研究的问题。  相似文献   

2.
半导体激光端点干涉长法原理探讨   总被引:2,自引:1,他引:1  
阐述利用半导体激光的频率变化和波长变化测量干涉仪光程差的基本原理,探讨一种在长度的两个端点干涉测量长度的新方法,即端点干涉测长法的原理,推导这种方法测量长度的公式,指出这种方法区别二其它干涉测长方法的独特优点,最后讨论测量中的注意事项以及需要深入的研究的问题。  相似文献   

3.
分析影响正弦相位调制半导体激光干涉仪测量精度和系统分辨力的因素,提出了用分布布拉格反射半导体激光器DBR LD实现高分辨力亚纳米精度测量的方案。理论计算表明,DBR LD的波长连续调制深度比F-P腔LD高一个量级。指出邮于DBR LD的特殊结构可通过简单的反馈回路稳定输出光功率,有效地避免了光强波动对测量精度提高的限制。  相似文献   

4.
本文报道适用于象传感和数字处理系统的半导体激光泰伯(Talbot)干涉仪和夹层光栅干涉术在半导体激光准直调整中的应用,并给出实验结果。  相似文献   

5.
线性调频激光双干涉仪绝对距离测量的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
提出一种双干涉仪绝对距离方法,利用参考干涉仪的误差补偿作用,有效地抑制了激光器光学特性相关误差源对外腔半导体激光器线性调频绝对距离干涉测量系统的影响,提高了测距精度。文中介绍了测量原理和实验装置,作了误差补偿分析,并给出实验结果。  相似文献   

6.
7.
文章对光外差、移相、正弦相位调制等几种常见的纳米精度干涉测量技术进行了综述 ,并介绍了上海光机所的相关工作 .  相似文献   

8.
激光干涉仪是大型精密制造加工企业常用的工业生产线上的监测仪器,激光光源精度是激光干涉仪测量准确可靠的基本保证.随着国内引进的干涉仪数量的增加,激光干涉仪光源出现问题的情况有显著上升趋势.为了保证工业生产的质量,对干涉仪光源的定期检测溯源是非常必要的.  相似文献   

9.
半导体激光器线性调频新型外差干涉仪的研究   总被引:3,自引:0,他引:3  
徐左  谢巍 《计量学报》1989,10(1):18-23
  相似文献   

10.
11.
纳米级二维激光外差干涉仪的设计   总被引:1,自引:2,他引:1  
陈晓梅  曹航 《光电工程》1998,25(1):18-22
提出了一种50μm测量范围内,2nm不确定度,、0.5nm分辨率的二维激光外差偏振干涉仪的设计。其中用声制器和稳频He-Ne激光器获取频差小于200kHz的正交偏振双频激光束,X和Y二臂偏振干仪将采用差分干涉仪,采用相位解调技术进行外差干涉信号的处理。  相似文献   

12.
本文提出了固定NH_2D分子吸收线型中心频率而改变激光输出频率,用外差拍频计数记录激光频率的变化的外差拍频测定NH_2D Stark盒稳定CO_2激光频率系统中鉴频曲线的方法。利用一支稳频激光器提供参考频率,采用这种方法进行了鉴频曲线的测量。文中给出了实验结果并进行了误差分析。  相似文献   

13.
激光数字波面干涉仪傅里叶变换移相干涉术   总被引:4,自引:0,他引:4  
讨论了一种新的干涉图处理方法,能实时快速准确地提取干涉图信息,直接测量波面的位相分布,获得较高的位相分辨率和空间分辨率,使光学波面的检测精度达到λ/100以上,并且实现了波面的的实时显示。  相似文献   

14.
激光束角漂移对双频激光直线度测量的影响   总被引:2,自引:0,他引:2  
利用惠更斯关于波面传播的理论,分析计算了双频激光渥拉斯顿棱镜直线度测量系统中激光束角漂移以及渥拉斯顿棱镜和双面反射镜倾角对测量精度的影响,得到了相应的结论。  相似文献   

15.
提出激光干涉仪作为标准器代替测长机玻璃尺的改进方案.通过调校位于测长机尾座上的角锥反射镜,使干涉仪光轴与测长轴线同轴,消除阿贝误差对测量精度的影响.同时进行了理论分析并与三等最块进行了比对实验.结果表明,改进后的2 m测长机达到了较高的测量精度和测量效率,对提高长度尺寸的测量精度具有一定的参考价值.  相似文献   

16.
介绍激光干涉仪应用特点及对光电开关的要求。研制了一种普克尔开关和相应的控制系统。开关上升时间 4μs,效率 2 0 0∶ 1,全开时间可按实验要求调整  相似文献   

17.
多路激光跟踪干涉三维坐标测量系统冗余技术   总被引:1,自引:0,他引:1  
介绍了冗余技术在多路激光跟踪干涉三维坐标测量系统中的应用。在分析激光跟踪干涉仪工作原理的基础上 ,采用 3 n[G]表决冗余方式 ,进行了系统的冗余设计。详细论述了基于系统的冗余技术实现的各种重大作用如系统的自标定、挡光自恢复和误差补偿等。最后指出冗余设计应当成为系统设计的一项重要原则  相似文献   

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