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阐述利用半导体激光的频率变化和波长变化测量干涉仪光程差的基本原理,探讨一种在长度的两个端点干涉测量长度的新方法,即端点干涉测长法的原理,推导这种方法测量长度的公式,指出这种方法区别于其它干涉测长方法的独特优点,最后讨论测量中的注意事项以及需要深入研究的问题。 相似文献
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半导体激光端点干涉长法原理探讨 总被引:2,自引:1,他引:1
阐述利用半导体激光的频率变化和波长变化测量干涉仪光程差的基本原理,探讨一种在长度的两个端点干涉测量长度的新方法,即端点干涉测长法的原理,推导这种方法测量长度的公式,指出这种方法区别二其它干涉测长方法的独特优点,最后讨论测量中的注意事项以及需要深入的研究的问题。 相似文献
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分析影响正弦相位调制半导体激光干涉仪测量精度和系统分辨力的因素,提出了用分布布拉格反射半导体激光器DBR LD实现高分辨力亚纳米精度测量的方案。理论计算表明,DBR LD的波长连续调制深度比F-P腔LD高一个量级。指出邮于DBR LD的特殊结构可通过简单的反馈回路稳定输出光功率,有效地避免了光强波动对测量精度提高的限制。 相似文献
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线性调频激光双干涉仪绝对距离测量的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
提出一种双干涉仪绝对距离方法,利用参考干涉仪的误差补偿作用,有效地抑制了激光器光学特性相关误差源对外腔半导体激光器线性调频绝对距离干涉测量系统的影响,提高了测距精度。文中介绍了测量原理和实验装置,作了误差补偿分析,并给出实验结果。 相似文献
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纳米级二维激光外差干涉仪的设计 总被引:1,自引:2,他引:1
提出了一种50μm测量范围内,2nm不确定度,、0.5nm分辨率的二维激光外差偏振干涉仪的设计。其中用声制器和稳频He-Ne激光器获取频差小于200kHz的正交偏振双频激光束,X和Y二臂偏振干仪将采用差分干涉仪,采用相位解调技术进行外差干涉信号的处理。 相似文献
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激光数字波面干涉仪傅里叶变换移相干涉术 总被引:4,自引:0,他引:4
讨论了一种新的干涉图处理方法,能实时快速准确地提取干涉图信息,直接测量波面的位相分布,获得较高的位相分辨率和空间分辨率,使光学波面的检测精度达到λ/100以上,并且实现了波面的的实时显示。 相似文献
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