移动式标准表法气体流量标准装置的抗震研究

移动式标准表法气体流量标准装置,可将标准表法气体流量标准装置通过车载的方式运至流量计使用现场进行流量计检定校准工作,但由于标准装置运输过程中和流量计使用现场的路况及动力设备的高度集成等因素的存在,使得抗震设计及其方法研究成为保证移动式标准表法气体流量标准装置在运行过程中稳定可靠的首要问题。本文对一套移动式标准表法气体流量标准装置通过加装弹簧减震杆及气囊减震系统的方法进行抗震优化,并通过2022年的实际实验验证,验证了该抗震设计在保证此标准装置及其标准表性能稳定可靠方面的有效性。     

高精度标准气体流量测控仪设计

研究了利用涡街流量计测量标准气体流量的原理,介绍了以8098单片机为核心的高精度标准气体流量测控仪的硬件组成和软件功能。测控仪实际运行效果良好。     

示踪法测量气体流量的试验研究

以空气作为被测流体,以CO作为示踪气体,在直径为0.300m的90°弯曲管道内对示踪法测量气体流量进行了试验研究。结果表明,多点释放/多点取样比单点释放/单点取样时,取样点处示踪气体的浓度测量偏差小。释放点位于弯头上游7D～13D(D为管道直径)、取样点位于弯头下游10D～14D处,流量计算值(示踪法)与测量值(涡轮流量计)的相对误差在-2.15%～1.69%的范围内,释放点与取样点的位置越远,示踪法测量流量的相对误差越小。示踪气体的释放量需要与管道输送气体流量相匹配。对于含有脏污介质的大口径管道工业气体输送过程中的流量计,采用示踪法进行在线校准,是一种简单有效的校准方法。     

音速喷嘴法气体流量标准装置比对分析

本文主要介绍了华北大区五个省级计量实验室的音速喷嘴法气体流量标准装置间的比对,通过比对统一了音速喷嘴法气体流量标准装置的测量方法及不确定度分析,提高了计量实验室的气体流量标准装置的计量水平。     

PVTt法气体流量标准装置参数的选择与确定

本文基于PVTt法气体流量标准装置的流量基本方程及装置的基本特征,详细分析与论证了装置主要参数,如标准容器容积V、充气初态Pi与终态压力Pf、质量流量qm或体积流量qv的选择与确定,特别对于该装置在整体上为非定常流中要保持流经流量计为定常流的基本特征、措施与气动设计方法作了全面、系统而深入的分析,涉及确定充气终态压力Pf的流动阻力系数的概念是首次由作者明确地引入的。     

标准涡街流量传感器组合比较法气体流量装置的研究和探讨

本文介绍了用标准涡街流量传感器组合比较法的流量标准装置、检测原理和数据处理方法，解决了大口径气体流量仪表的标定问题。     

气体流量标准装置的恒温恒压控制系统

本文介绍了一种在正压式气体流量标准装置上使用的恒温恒压控制系统。详细介绍了该系统的技术方案和技术原理,以及在装置上的使用效果。     

半导体气体流量控制器原位校准装置研究

半导体制造需使用多种气体用于沉积、光刻等工序,气体流量控制的精度直接影响加工质量。而流量控制器需要经常检测和校准以确保其工作性能。半导体设备和工艺的特殊性决定了流量控制器只能进行原位校准。为解决流量控制器的原位校准问题,根据半导体设备的特点提出一种基于动态pVTt方法的流量控制器原位校准装置,基于CFD仿真对固定容器充气后的非稳态流场进行计算,并预测流场稳定后的平均温度,从而实现充气气体流量的快速检测。通过与高精度流量校准装置对比,装置可以实现N₂介质50～50000 mm³/s的流量校准,精度优于0.5%。     

钟罩式气体流量标准装置检定中的思考

本文介绍了钟罩式气体流量标准装置的原理和检定方法,并结合实际工作对检定过程中需要注意的问题进行了较为详细的阐述。     

Measurement of gas flow rate from helium standard leaks

Helium standard leaks are widely used to check and calibrate mass spectrometer leak detectors. Precisely known gas flows are required for measurement of quantities of standard leak rates. A fundamental task of the constructed and presented calibration apparatus is precise measurement of gas leak rate. Thus a primary standard for calibration helium standard leaks in the range from 10⁻¹⁰ to 10⁻⁵ Pa m³/s has been completed at the Laboratory of Vacuum Measurements in Tele & Radio Research Institute.     

Coriolis mass flow measurement of gas under normal conditions

This paper presents a new method of directly measuring the mass flow of gas using the well-known Coriolis principle, which has proved successful for mass flow measurement of liquids. The prototype consists of two U-shaped tubes, forming a device resembling very much a tuning fork, which is stimulated by electromagnetic actuators to perform autonomous bending oscillations. By this means the fluid is subjected to a radial velocity that, in combination with the axial velocity of the flow, induces harmonic Coriolis forces of the same frequency. This causes the U-shaped tube to perform torsional oscillations that superimpose on the bending oscillations. Both oscillations can be detected via electromagnetic transducers.

The amplitude of the torsional oscillation induced by the Coriolis forces is very small as the density of gas is very low. It can be amplified by tuning the eigenfrequencies of torsion and bending in a control loop. This results in an amplification of the torsional amplitude by a factor of 10², allowing the mass flow of gas to be measured under normal conditions.     

In situ calibration of Coriolis flowmeters for high-pressure gas flow calorimetry

An in situ calibration method for small Coriolis meters used for high-pressure gas flow calorimetry is presented. The method has an accuracy better than 0.02%, at level one standard deviation. Two meters, both with a totalizer function, have been evaluated, and the total long-term accuracy of the best meter is ±0.11% at level one standard deviation.     

温度补偿法在流量控制和标准气稀释中的研究及应用

分析了质量流量控制器中温度变化所引起的流量变化理论值与实际值之间的关系,提出一种实用的梯度温度补偿方法,即将环境温度划分为若干梯度,针对每一梯度配置不同修正系数,有效消除环境温度变化对标准气配气仪精度的影响.实验结果表明,该方法解决了环境温度的干扰问题,保证了流量控制及标准气稀释的精度,为其它温度敏感设备提供了参考.     

正压法气体流量标定系统的设计与实现

随着非标准流量仪表种类和数量的日益增加,为了保证仪表的测量精度。非标流量仪表的标定要求显得日益迫切。系统采用了国际标准文丘利作为标准表。应用标准流量计“比较法”原理,配合计算机程序控制,建立气体流量标定系统。进行流量计的检定和测试。依据有关的国家检定规程。该装置可对多孔孔板、V锥、楔形、巴类等差压式仪表以及涡轮、涡街、旋进旋涡等流量计进行检定、工业现场流量模拟实验以及风洞实验。通过运行实践证明,该系统测量精度高,稳定性好,标定流量范围宽。     

A new approach to gas flow calibration

Primary gas flow standards create calculable flow rates using two different techniques. Displacement systems rely upon the accurate determination of the first order change in position of an object being displaced by gas flowing at a constant pressure. Pressure, volume, temperature and time (PVTt) systems provide a nearly constant mass flow of gas to an accumulation tank of known volume over a fixed time interval. Measurements of pressure, temperature and time are used to calculate flow rate.     

气固两相流流速测量系统的传感器设计

介绍一种用于测量气固两相流流速的传感器,阐述了其工作原理,对传感器的结构和随机噪声提取电路进行设计和分析,试验证明该传感器能够检测微弱的随机流动信号。     

流气正比探测器窗口的研制

流气正比探测器用在大型X射线荧光光谱仪上,主要用来测量软X射线。探测器的窗口极薄,容易损坏。进口探测器窗口价格较贵,属于易损件。通过解剖进口流气正比探测器窗口,自制了用于荷兰飞利浦公司PW1400仪器的探测器窗口,并经多年使用,效果良好,可以代替进口。     

VOC_S在线气相色谱自动监测技术及相关仪器简介

VOCS是环境空气中非常重要的污染物之一,它不但对人体危害极大,还能参与光化烟雾污染反应,对VOCS进行长期在线观测是环境管理和科学研究的要求。本文以荷兰SYNSPEC生产的GC955系列在线气相色谱仪为例,介绍在线气相色谱方法及GC955系列监测设备的工作原理、仪器构造以及校准方法和日常维护等内容。