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用直流溅射法在ITO玻璃衬底上溅射金属Ti膜后再用辉光放电法沉积a-Si,研究了钛的硅化物的形成,利用XPS、RBS分析,确定了反应生成物为TiSi2,且生成物十分有效地阻挡了ITO中的In的扩散;用US/VIS分光光度计测量了生成物的透过率发现其透过率在紫外部分较ITO膜提高;测试了Ti/a-Si界面的I-V特性,发现界面无势垒;测量了生成物的电阻率,数量级为几十μΩ·cm数量级。该钛的硅化物膜可用于非晶硅太阳电池的前电极。 相似文献
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Bi4Ti3O12铁电薄膜的I—V特性测量及导电机理 总被引:4,自引:1,他引:3
Bi4Ti3O12薄膜是一种具有广泛应用前景的典型的铁电薄膜。本文报道了用MOCVD方法制备的Bi4Ti3O12薄膜的I-V特性测量及其导电机理。结果表明,在低场下,Bi4Ti3O12薄的I-V特性表现为欧姆性质,在中强场下,薄膜的导电机理遵从SCLC理论。 相似文献
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如何提高a-Si:H太阳电池的转变效率和稳定性一直是人们最关心的问题。本实验采用一种新型的Glass/ITO/TiSi2/pin/Al双层前电极a-Si:H太阳电池,通过老化处理后发现,这种新型电池较之常规电池主要参数均改善,电池的稳定性明显提高。 相似文献
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模拟自对硅化物技术的两退火工艺,对超高真空(UHV)下制备的Ti/Si样品依次进行低温退火、腐蚀和高温退火。利用俄歇微探针(AES)和X射线衍射的(XRD)分析样品的组分及晶相、发现高温退火后,薄膜内同时生成了Ti的硅化物及氮化物,这对发展MOS器件工艺中自对硅、氮化物技术很有意义。另外,还利用扫描电(SEM)观察了薄膜形貌,用Van de Pauw法测量薄膜电阻。 相似文献
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Ti(IV)在介孔氧化硅MCM-41中的液相移植 总被引:7,自引:0,他引:7
以钛酸丁酯为原料,通过液相移植反应,在介孔氧化硅MCM-41中成功地组装了Ti(IV),利用XRD、TEM、EDS、FT-IR、N2吸附-脱附、29Si MAS NMR等多种实验方法对材料进行了表征,并讨论了液相移植反应的机理.实验表明,通过与介孔材料骨架表面Q3硅原子中的硅醇键(Si-OH)的反应而形成钛-氧-硅(Ti-O-Si)键,Ti(IV)被成功地固定到介孔材料的骨架上面; 950~960cm-1红外共振吸收的加强是Si-O-Ti键形成的标志. 相似文献
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溶胶—凝胶法制备TiO2—SiO2复合薄膜的研究 总被引:8,自引:0,他引:8
采用溶胶-凝胶方法在单晶Si基片上制备了TiO2-SiO2复合薄膜,研究了溶剂、pH值对先体溶液成胶时间的作用,溶液的浓度、甩胶时的旋转速度、涂覆层数以及热处理温度对薄膜厚度、光学性能的影响。薄膜的折射率随温度增大,其主要贡献来自于薄膜中结构的变化。并测量了薄膜的I-V、C-f特性,由于薄膜中的热击穿效应而使得TiO2含量较高的薄膜2的I-V呈非线性变化。 相似文献
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Al2O3—SiO2—TiO2复合陶瓷薄膜的制备与结构 总被引:1,自引:0,他引:1
本文利用Sol-Gel法制备了Al2O-SiO2-TiO2复合陶瓷薄膜,讨论了主要内容是体系成分(Al:Si:Ti摩尔比)对落膜制备过程及结构的影响。通过分步水解法可以得到稳定的Al2O3-SiO2-TiO2复合溶胶,进而制备复合陶瓷薄膜。组分间的静电作用是溶胶凝结的原因。三组分中,Si/Ti摩尔比是决定溶胶稳定性的主要因素。通过XRD对薄膜的相组成进行了分析,表明复合薄膜由Al4Ti2SiO12 相似文献
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医用NiTi合金表面溶胶-凝胶法制备TiO2-SiO2薄膜 总被引:4,自引:0,他引:4
采用溶胶-凝胶法在NiTi形状记忆合金表面制备了TiO2-SiO2复合薄膜,在提高医用NiTi合金的抗腐蚀性方面,收到了显著的效果.运用电化学方法对不同组成的TiO2-SiO2薄膜在模拟体液中的腐蚀行为进行了研究,结果表明,随薄膜中 Ti/Si比的增加,TiO2-SiO2薄膜的抗腐蚀性增强.划痕试验表明 TiO2-SiO2(Ti/Si=4:1)膜与NiTi合金基体具有较高的界面结合强度.用原子力显微镜(AFM)对TiO2-SiO2薄膜的表面形貌及表面粗糙度进行观察和分析,解释并讨论了TiO2-SiO2薄膜的配方组成与其抗腐蚀性的关系,SiO2含量较少时,薄膜结构致密,膜层均匀平滑,且膜基结合力好,作为医用NiTi合金的表面保护层,可以使其耐腐蚀性有显著提高. 相似文献
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溶胶—凝胶法制备有机改性SiO2—TiO2涂层的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
用溶胶-凝胶法在PMMA上制得SiO2-TiO2涂层。溶胶粘度分析表明,溶胶以线性生长方式凝胶,适宜于制备薄膜。FTIR对涂层的干燥和热处理过程研究表明,涂层中形成Si-O-Ti-O-Si无机网络结构。扫描电镜对涂层中Ti-Si元素的分布进行了能谱分析,发现无机网络主要分布于涂层的表面及界面处。 相似文献
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合成条件对TS—2沸石的合成和催化性能的影响 总被引:6,自引:0,他引:6
本文通过改变H2O/SiO2比、Si/Ti比、模板剂的用量以及胶液的PH值等条件,合成了一系列TS-1沸石,用XRD、IR和SEM系统地考察了上述因素对合成手TS-1沸石的结晶纯度、骨架钛含量以及其晶体形貌4的影响;用苯酚羟基化反庆考察了其催化性能,就沸石的结晶度、骨架钛量,特别是晶体形貌与其催化活性的关系进行了探讨,找具有较高催化活性的TS-2分子筛的合成方法。 相似文献
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溶胶—凝胶制备TiO2/SiO2复合薄膜的FT—IR表征 总被引:14,自引:0,他引:14
FT-IR吸收谱用来研究具有多孔结构的TiO2/SiO2复合薄膜;薄膜在1200cm^-1有一较强的肩峰,其强度与峰位随热处理温度度而生变化。在955cm^-1的吸收峰是由于Si-O-Ti和Si-OH的结果,并随着热处理 度的提高其吸收峰完全是Si-O-Ti振动所引起的,其峰位随着TiO2的增加,向低频区域移动。 相似文献
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TiO_2在MCM-41内表面单层及双层分散的结构表征 总被引:6,自引:0,他引:6
首次以有机物钛酸丁酯为前驱体,合成了TiO2呈单层分散状态(Ti/Si=0.20)或双层分散状态(Ti/Si=0.39)的介孔分子筛MCM-41(Si/Al=35),并以 XRD,FTIR,N2吸附-脱附,固体UV-vis 漫反射等表征手段对其结构特征和氧化钛分散状态进行了研究.结果表明: TiO2在介孔分子筛MCM-41孔道中分散, MCM-41骨架结构结晶度降低,但是附着二层TiO2后,仍能保持长程有序结构; TiO2与MCM-41孔道表面的SiO2以化学键连接,生成Si-O—Ti键;无论是单层还是双层分散的 TiO2在 MCM-41内孔壁均匀分散;且由于TiO2粒子的减小使其对紫外光的吸收发生明显的蓝移现象. 相似文献
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运用XPS和AES研究了PZT膜/Si在热处理过程中的薄膜及界面化学反应;在热处理过程中,气氛中的气通过PZT的缺陷通道扩散到PZT/Si同旧,并与界面上的硅发生氧化反应形成SiO2界面层。同时基底上的硅通过PZT的缺陷扩散么样品表面形成SiO2表面层。此外,在PZT/Si界面上,Ti的氧化物和Si发生还原反应,形成了TiSix金属硅化物,并残留在PZT膜层和和SiO2界面层中。在PZT膜层内,有 相似文献
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硅藻上一莫来石陶瓷负载SiO2膜的制备与表征 总被引:1,自引:0,他引:1
将液晶模板技术与溶胶-凝胶法相结合,制备了硅藻土-莫来石陶瓷(K-M)负载型SiO2膜。表征实验结果表明:SiO2膜层与TiO2过渡膜层间通过Si-O-Ti键的价联方式形成了紧密、稳定的伦合型复合膜;SiO2膜孔径集中在4~5nm,孔分布较为均匀;K-M负载SiO2膜管对气体具有较强的渗透能力,并有较好的气体分离作用根据实验结果探讨了模板剂的性质及用量对SiO2膜孔结构的决定性作用。 相似文献
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低比电阻Si—Ti—C—O纤维先驱体的合成 总被引:1,自引:0,他引:1
通过液体聚硅烷( L P S) 与钛酸四丁酯 Ti ( O Bu)4 反应合成了不同钛含量的聚钛碳硅烷先驱体,经熔融纺丝、不熔化处理及高温烧结等工艺制备出比电阻为106 ~103 Ω·cm 的 Si Ti C O 纤维. 用 I R、 G P C、 V P O、 T G、 D T A 等方法分析研究了聚钛碳硅烷的组成、结构与特性及其与含钛量的关系 相似文献
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利用二次离子质谱(SIMS)深能级瞬态谱(DLTS)研究了TiN/n-GaAs体系。SIMS结果表明,退火后Ti的浓度剖面向胂化镓衬底略有移动,N则基本救济为;DLTS观察到的Ec=0.21eV处的Ti^3+*3d)/Ti^3+(3d^2)单受主中心,但其浓度较EL2要小得多。根据实验结果,探讨了退火后难熔金属氮化物/n-GsAs体系电学特性改善的原因。 相似文献