宽0.8微米深3~5微米沟槽深度的无损测量

日本电报电话公司电气通信研究所，使用迈克耳逊干涉仪（双光束干涉仪）和光纤等，研究成功对超大规模集成电路等刻划宽0.8微米、深3~5微米的沟槽深度进行无损测量。     

环境温度精密检测方法

用迈克耳逊干涉仪,通过干涉条纹的数目及中心圆斑内光能量随温度变化的关系,测量环境温度。精度可达0．1℃。     

高初始分辨率的光纤光栅横向负载传感

要提出了一种对光纤布拉格光栅(FBG)在横向斥力负载条件下的谐振波长分裂进行高灵敏检测的方案，并进行了实验研究。采用偏振分束器和偏振无关的光纤迈克耳逊干涉仪组成检测系统，利用相位调制技术．将光纤布拉格光栅的谐振波长分裂的检测转化为相位差的测量，从而大大提高光纤光栅横向压力负载传感的初始分辨率。利用该系统进行横向斥力负载传感实验，得到0．025N／mm横向负载初始分辨能力。     

微结构光纤色散参数的实验测量

利用基于迈克耳逊干涉仪的干涉法,在可见光波段测量了一种全内反射型微结构光纤的群速度色散和色散参数值,其中在450nm处,色散参数D为-416.987ps-2·nm-1·km-1,并用多极法进行了数值模拟,发现实验测量值与理论计算结果具有很好的一致性.     

新兴光子器件--Interleaver

系统介绍了新兴光子器件———Interleaver的特性、实现方法及其在DWDM系统中的应用。结合课题组的工作 ,主要介绍了光纤熔锥非平衡M Z干涉仪型、偏振光干涉晶体双折射型和迈克耳逊干涉仪 +GT反射镜型三种实现方案。     

用激光干涉仪空间天线验证外层空间是真空

直到 19世纪晚期 ,外层空间是真空还是充满“以太”的问题仍未解决。在 1887年 ,迈克耳逊和莫利进行了他们著名的干涉仪实验 ,有力地确立了外层空间是真空的事实。此理论预言也为爱因斯坦的光速是普适常量的推论铺平了道路。现在计划进行一个巨型迈克耳逊 /莫利实验探测这两位科学家以前曾认为不存在的实际波。　　用于探测引力波的三航天器 L ISA计划将在 2 0 10年发射。航天器的直径约是 2 m,两个航天器间的距离是 5× 10 9m激光干涉仪空间天线 (L ISA)基本上将是由位于太阳轨道的三个航天器组成等边三角形的巨大迈克耳逊 -莫利干涉仪…     

多臂迈克耳逊干涉仪激光脉冲整形系统——I.参数的设计

设计了纳秒级激光脉冲整形的多臂迈克耳逊干涉仪系统，并且从理论上分析了利用全光学手段对激光脉冲进行整形的过程。根据特定的输出波形计算了一组系统参数，比较了该组参数下实际输出的波形与参考波形的关系，指出在二倍到四倍初始脉宽之内，系统可以较好地进行整形。     

激光器的噪声对构迈克耳逊干涉仪的影响

介绍半导体激光器的噪声及其对干涉的影响,并在此了用半导体激光器构建了迈克耳逊干涉仪,从实验上国以证明,这种微小的干涉仪表现出良好的特性和广阔的应用前景。     

提高双光束激光干涉仪遥测精度的方法

迈克耳逊激光干涉仪的光学系统是一种用于遥测的最普及的干涉系统，图1示出了它的一种改型。     

激光器的噪声对构建迈克耳逊干涉仪的影响

介绍半导体激光器的噪声特性及其对干涉的影响,并在此基础上用半导体激光器构建了迈克耳逊干涉仪,从实验上加以证明。这种微小的干涉仪表现出良好的特性和广阔的应用前景。     

基于激光位移传感器的乘用车前悬外倾角在线检测系统的研究设计

针对现有乘用车前悬外倾角检测方法的不足,提出采用非接触式的激光位移传感器作为测量工具,并结合PLC设计了乘用车前悬外倾角在线检测系统,具体介绍了系统的测量原理、硬件构成及程序设计。经过调试运行证明,该系统有效提高了前悬外倾角的测量精度及效率。     

基于FPGA的双通道旋转变压器测角系统设计

设计了用于星载设备的双通道多对极旋转变压器的角度测量系统.以获取高精度的电机旋转角度值为目的,在旋转变压器测角工作原理、误差分析以及双通道数据组合算法和测角系统软硬件设计等方面进行了研究,并选用FPGA对步进电机的角位移量进行探测与解算.为验证所设计的双通道旋变角度测量系统的精度,采用了分辨率更高的海德汉光电编码器进行...     

用激光扫描投影法检测核燃料模拟组件变形

鉴于核燃料组件变形水下检测的需求,本文提出了一种基于激光扫描投影的模拟组件 整体轮廓变形检测系统的原理和实现方法:首先在光路部分分析了组件的变形情况及其各自的评价标准,以及位移测量法和CCD成像法的局限性;在数据采集和软件算法上,着重对信号调理部分采用的特殊整形方法和引入相对测量以提高系统精度作了介绍;最后给出了一批静态尺寸测量数据,对测量精度作了验证。     

Distorted laser interferometric angle measurements of a disk drivepivot

A laser interferometric measurement sensor is used for angle measurements of rotating ultralight structures in order to avoid the mechanical interaction between the system and the sensor. The laser interferometer detects a linear displacement which is a distorted image of the angle displacement. The distortion depends strongly on the amplitude and the laser misalignment angle. In this paper, a measurement procedure is presented based on an analytical expression that describes the nonlinear relationship between the measured displacement and the actual angle displacement. Furthermore, a distortion map is presented to quantify the nonlinear effects and to indicate the necessity for compensation of these effects. Finally, a calibration procedure for identifying the geometrical parameters, i.e., the arm length and laser misalignment angle, is included. The method is applied to the pivot of a Kitty Hawk, a miniature hard disk drive     

用于减少漂移的纳米定位干涉仪集成系统

基于表面等离子体共振 (SPR)的纳米定位装置可以实现纳米级的定位分辨率和重复性。通过设计特殊四面体棱镜 ,使四面体棱镜第一个反射面的入射角等于SPR的共振角 ,在该反射面上镀上金属膜 ,后面放置光纤探头构成SPR定位指零装置 ,实现了纳米定位装置和干涉仪系统的集成。干涉仪测量前利用SPR纳米定位系统确定一个零位 ,当发生漂移时回到定位零点进行读数校正 ,就可以减少干涉仪的漂移误差。建立了集成纳米定位装置的干涉仪系统。实验表明 ,干涉仪的测量不确定度从 70nm减小到 10nm ,提高了系统的测量精度和稳定性     

基于TWAIN接口的图像测量系统的设计

介绍了TWAIN接口的标准,并分析了开发基于TWAIN接口的应用程序的方法.建立了基于TWAIN接口的图像测量系统,并分析了其测量的原理及标定的方法.位移测量的实验结果证明图像测量系统可应用于位移、长度、直径等工件尺寸的测量.     

桅杆型红外搜索系统测角精度的误差分析

红外搜索系统安放在车载桅杆上升高使用,可以提高系统的探测距离。但由于车载桅杆的误差引入,系统的测角精度误差会增大。本文对桅杆型红外搜索系统的测角精度误差来源进行了分类和估算,提出了一种利用双天线差分GPS和姿态测量设备进行全系统测角精度评估的新方法。工程实践表明,该方法不仅可以快速完成测角精度标定,而且标定结果和理论计算结果基本一致。     

激光扫描角度测量研究

介绍一种用激光扫描技术进行角度精密测量的系统,该系统利用直角棱镜在激光扫描时能将转角转换为线性位移的测量原理,用CCD器件测出扫描光的线位移,也就可测出角度变化的大小,从而实现转角精密测量,具有测量范围大、精度高,数字化的特点.     

平行平板角位移干涉测量仪的优化设计

提出一种可提高平行平板角位移干涉测量仪测量精度的优化设计方法。对角位移干涉测量系统进行了误差分析,讨论了影响角位移测量精度的主要因素。分析了在干涉仪光路中入射到平行平板上的初始入射角度、平行平板的折射率以及厚度等参数的选取对角位移测量精度的影响。结果表明,优化选取最佳的初始入射角度以及元件参数,并在于涉光路中附加引入一平面反射镜形成光程差放大系统,可实现的角位移测量精度达10~(-8)rad数量级。     

光栅干涉位移测量技术发展综述

介绍了经典双光栅测量系统、非对称双级闪耀光栅测量系统、单光栅测量系统、基于2次莫尔条纹的光栅测量系统、同心圆光栅2维位移测量系统、2维光栅位移测量系统的测量原理,阐述了各系统的关键问题及不足之处。同时结合双频激光干涉仪外差干涉思想,在单光栅测量系统的基础上,提出了双波长单光栅式纳米级位移测量方法,并通过分析系统特点指出该方法能实现大量程测量、获得纳米级的精度和分辨力。在对各种测量方法进行综合比较之后,总结了光栅测量的关键问题,并展望了光栅干涉位移测量的未来发展方向。