冷阴极电离真空计校准方法研究

主要介绍了冷阴极电离真空计结构、工作原理及冷阴极电离真空计的校准方法和校准装置,并对校准数据进行了处理.由于冷阴极电离真空计为非线性真空计,通过比较,校准结果采用了校准曲线的方式,可提高校准的准确度,减小校准不确定度,保证真空测量的可靠性.     

以麦氏计校准电离计的动态平衡玻璃真空系统建立

真空计校准工作,是真空测量技术的基本工作之一。尤其对高精度真空计校准问题,更有重要意义。在校准过程中不仅需要有高精度的绝对真空计,而对校准用真空系统的要求,也是重要的环节。本文就麦氏计校准热阴极电离真空计的动态平衡玻璃真空系统作以分析。力建立校准用真空系统,将对系统结构、性能、产生误差原因及减小误差方法进行讨论,以便确定系统误差。 一、真空系统结构选取择 对于校准用真空系统除具有。一定容量的抽气机组外,对如何保证绝对真空计与被校准的相对真空计,在某一时间内能达到相同条件,是考虑方案的前提。为了能做到这一点,…     

工业机器人三维在线自校准系统的研制

针对工业机器人校准成本与校准精度难以平衡的问题,研究了一种针对工业机器人的三维低成本高精度接触式自校系统。该系统的三维校准器安装于机器人末端位置（TCP）,采用三个互相正交的高精度位置传感器,通过研究工业机器人D-H参数校准算法,并对专用四球校准台精密迭代测量,可实现对工业机器人D-H参数的低成本、高精度在线自校准。通过与激光跟踪仪进行验证试验,各测量点的最大En值为0.63,小于1,验证结果满意。     

复合型便携式真空计校准装置

在原有基础上研制出复合型便携式真空计校准装置。将静态比较法、静态膨胀法及动态流量法复合在一台装置上,仅采用一台满量程为1.33×105Pa的电容薄膜真空计作为参考标准,实现较宽的真空度校准范围。实验结果表明,装置的校准范围为105Pa～10-5Pa,合成标准不确定度为1.3%～2.5%。装置的外形尺寸为450 mm×400 mm×750 mm,总重量小于35 kg,在原有校准装置的基础上减小了重量和成本,更适用于许多应用领域中真空计的现场校准。     

标准表法明渠流量计在线校准装置的设计

为解决现场评定废水在线自动监测系统中明渠流量计准确度的技术难题,设计了一套以高精度管道式流量计作为标准表的标准表法明渠流量计在线校准装置,研制了专用的现场流量信号采集测量系统,进行了硬件电路设计,并采用Qt开发了配套的上位机操作软件。通过大量不同条件下的现场对比试验,验证了系统的可靠性和装置的有效性,为准确实现废水流量在线监测提供了技术基础。     

定容法正压漏孔校准装置

研制出定容法正压漏孔校准装置。采用满量程分别为133 Pa(差压式)、1.33×105Pa(绝压式)的两台高精度电容薄膜真空计测量压力变化,通过全金属密封结构减小定容室漏放气对测量结果的影响;采用高精度半导体双级恒温系统获得了296±0.02 K的恒温效果,减小温度对漏孔漏率的影响;通过三个不同的标准体积作为定容室,拓宽装置的校准范围。研究结果证实,研制的校准装置仅采用定容法实现了3×10-1~4×10-8Pa·m3/s的校准范围,合成标准不确定度为1.2%~3.2%。     

真空计现场校准不确定度分析

给出真空计现场校准的完整不确定度描述,列出了校准过程中详细的影响因素,帮助解决真空计现场校准过程中不确定度的计算问题,并通过实际案例分析,将最终测量结果控制在合理而有效的范围之内。     

便携式真空计校准装置

为了解决许多应用领域对真空度的现场校准需求,研制出便携式真空计校准装置.采用直径为200mm的球形容器作为校准室,用两台不同量程的电容薄膜真空计作为参考标准.为实现宽量程校准,装置集成了静态比对法、静态膨胀法及动态流量法三种校准方法.实验结果证实该装置的校准范围可达1×105～4× 10-6 Pa,合成标准不确定度为1.3％ ～4.7％.装置的外形尺寸为450 mm× 400 mm×750 mm,总重量小于40kg.总之,该装置具有体积小、重量轻、便携和成本低等优点.     

真空校准系统及真空计的校准

综述了真空校准系统,对其设计方法提出了一些要求.并详细分析了常用真空计在校准中的注意事项.     

CNC数控机床在线测量系统的校准装置研究

目前,国内尚无针对CNC数控机床在线测量系统的相关的标准和校准规范。为统一技术要求,本文研究了CNC数控机床在线测量系统的工况条件及其计量特性参数,提出了有别传统三坐标测量机校准方法的校准方案,研制了符合基于公差带位置判别废品原理的标准器组,以在线测量系统的测工件的方式,反向校准CNC在线测量系统的尺寸精度,解决其量值溯源问题。     

现场温湿度校准系统

介绍一套温湿度校准系统,用于多台环境试验设备温度、湿度参数的校准,其系统是由高精度的铂电阻温度传感器、湿度传感器、数据采集单元和校准软件组成,实践证明,该校准系统已经成功应用于环境试验设备的温度和湿度进行自动校准,提高了计量校准的工作效率.     

接触式在线测厚仪的静态校准板

概述接触式在线测厚仪是冷轧钢板在线检测的高精度测量仪器。该测量仪能实时测量轧制钢板的厚度，并将测得结果运馈给自动厚度控制系统AGC（AutomaticGaugeControl）。AGC根据测厚仪测得的结果，调整轧辊的缝隙来控制轧制钢板的厚度。因此，测厚仪的测量精确度直接影响轧制钢板的质量，必须对每台测厚仪进行核准。但是，对装调过程中的测厚仪进行在线动态检测受条件的限制。所以，只能模拟测厚仪的在线工作状态，对其进行静态校准。为此，提出了一种新的接触式在线测厚仪的静态校准板，解决了模拟测厚仪在线检测状态下，对测厚仪静态校…     

专用校准台校准技术研究

本文叙述了专用校准台的校准技术研究过程,规定了专用校准台的技术要求、校准条件、校准项目和校准方法,对测量结果不确定度进行评估与分析,该项目的完成,解决了专用校准台因无国家检定规程而无法校准的问题。     

放射性电离真空计的校准方法

主要介绍了放射性电离真空计结构、工作原理及放射性电离真空计的校准方法和校准装置,并对校准数据进行了处理。放射性电离真空计修正因子采用阿伦方差进行不确定度评定,可以提高校准的准确度,确保卫星、火箭发射的安全。     

基于无线温度采集系统的高温炉校准装置研制

本文研制了一种便携式高精度、基于无线温度采集系统的高温炉校准装置,实现对高温炉的在线计量,通过验证系统验证了该装置满足JJF1637-2017《廉金属热电偶校准规范》、JJF1376-2012《箱式电阻炉校准规范》等的技术要求。     

试飞测试系统压力参数在线校准方法与装置

当前试飞测试系统压力参数的校准主要采取拆卸后在实验室校准的方式,存在校准时间长,多次拆装容易造成接口损坏的问题。为了解决这个问题,研究一种压力参数的在线校准方法,实现了真实工况下的原位比对校准。通过实验获得了标准压力传感器在温度复合情况下的量值特性规律,构建了温度补偿模型,实现了标准压力值的准确获取。研制了由三个不同量程标准压力传感器、环境温湿度和大气压传感器以及在线校准软件等组成的校准装置,通过初步实验验证了校准方法和装置的合理性。该方法可以作为实验室校准的有效补充,降低校准的人力和时间成本,提高飞行试验的效率。     

一种(105～10-8)Pa真空计校准装置的设计

针对(105～10-8)Pa复合型真空计的一次性校准需求,设计出相应的校准装置.装置主要由校准室、真空测量模块、抽气与供气模块、标准气体流量计、烘烤模块等部分组成.设计的校准室为球形容器,通过串联分子泵组和离子泵抽气,在校准室中获得10-9 Pa量级的极限真空度.真空计的校准通过静态比较法、动态比较法及标准流量法实现,...     

玻璃膨胀系统校准中的若干问题

目前校准大量低真空计的主要标准是膨胀式校准系统.在校准工作的实践中发现校准的数据都偏大,分析了数据偏大的原因.利用我国研制的磁悬浮规和美国 MKS 的电容规没有吸放气的优点,对静态系统进行了测试,作了容器表面的放气实验、膨胀比实验和读数方法实验.实验结果认为读数方法是造成校准数据偏大的主要原因.通过实验提出膨胀系统前级压的高度差应从油柱的底部量到顶部,这样读的偏差要比过去读数的偏差小一倍左右.     

CCD在线式图像尺寸测量系统的自动化校准装置研究

目前,国内尚无在线式影像(图像)测量系统相关的标准和校准规范。为了统一技术要求,本文研制符合基于公差带位置判别废品原理的标准器组用以校准测量系统的尺寸精度,同时研究校准方法,解决量值溯源问题。为了实现高效的在线校准,提出一种磁电传感器内嵌式交流伺服技术方案,设计基于一体型伺服的自动化校准装置,解决装置物理尺寸大、在线校准时间长等问题。同时,为保证校准结果可靠性和一致性,研究标准器位置角度偏移自修正补偿算法,解决校准过程中标准器明显角度偏移影响校准结果的问题。     

YZ-111型压阻真空计的研制

介绍了一种基于扩散硅传感器的低真空测量仪表YZ-111型压阻真空计.仪表由传感器单元、信号调理单元、A/D采集单元、中央处理单元、按键和显示单元等组成.该仪器采用进口扩散硅压阻式传感器.信号被调理后由高精度数字采集系统采集、分析,直接输出数字信号.配以温度补偿技术,保证它的高精度.通过用高精度真空计校准,并与之比较,其测量结果达到预期.