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在以金属锆铝吸气剂泵为主泵,钛溅射离子泵为前级的真空系统中,用LP-4001型四极质谱计分析了锆铝吸气剂泵在不同工作条件下的吸气特性及泵内的气体成份,并分析了锆铝吸气剂泵在激活过程中的气体释放特性。一、试验装置试验装置如图1所示。本试验装置使用的锆铝吸气剂泵对H_2的名义抽速为1500升/秒,吸气 相似文献
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本文根据吸气剂吸气的三因素——蒸散吸气因素、表面吸附因素与扩散因素,研究并确定吸气剂吸气的数学模型,用以说明不同情况下的吸气规律:当扩散很快,或气体压力很低时,吸气处于表面吸附决定区;当扩散很慢,或压力很高时,吸气进入扩散决定区。从理论上分析了吸气剂激活与再生的机理;实验研究了锆铝吸气剂泵的多次再生的性能,结果表明,每经一次再生,抽速递减5%,吸气量递减17%。 相似文献
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申功烈 《真空科学与技术学报》1981,(3)
用四极质谱仪分析锆铝吸气剂泵在激活和再激活期间的气体释放特性,以及吸氢和吸甲烷期的分压强变化。这有助于我们对过程中发生的现象作吸气机理的探讨。 相似文献
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用粉末冶金工艺制备了一种改性的锆石墨类吸气剂,研究了激活工艺和吸气剂表面气体压强对该吸气剂吸气性能的影响。结果表明:该类吸气剂具有优越的室温吸气性能。高温短时间的激活效果优于低温长时间。增加吸气剂表面气体压强Pg有利于提高吸气剂的吸气速率和吸气量,且适当增加Pg比提高激活温度更有利于提高吸气剂的吸气性能。本文从吸气剂对气体分子的吸附和扩散作用机理解释了上述结果。 相似文献
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利用“闪炼灯丝脱附技术”,我们研究了锆铝吸气剂对氢的热脱附。实验结果表明其脱附谱出现双峰,第一个峰呈现一阶脱附作用,第二个峰呈现二阶脱附作用,它们的脱附活化能分别是2.15千卡/克分子和4.24千卡/克分子。并对热脱附的实验数据进行了分析和讨论,从而进一步深化了锆铝吸气剂对氢的吸附和脱附机理的本质认识。 相似文献
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非蒸散型吸气剂是以体吸气作用为主的吸气材料,它避免了蒸散型吸气剂蒸发时污染器件,升华时温度高且不易控制等缺点.近期的研究表明,锆铝吸气剂与其它抽气手段配合可以获得超高真空.真空系统中常用的锆铝吸气剂是双面涂复的带状材,一般选用康铜或镍作压结带的带基.国外产品多数采用康铜作带基,国产吸气剂带仅用镍作带基。实验中选用国产锆铝吸气剂材料.对它的特性作了一般性介绍,着重对锆铝吸气剂的超高真空和极高真空性能进行了研究.给出了所使用的真空系统示意图和实验得出的抽气曲线,以及各种情况下的质谱图.对实验结果作了详尽地分析. 相似文献
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本文从实验上研究了国产 Zr-Al16非蒸散型吸气剂的放气特性、吸气速率及极限压力,给出了超高.极高真空状态的运转规范,首次获得了 2.6×10-10Pa 的极低压力,从而证实国产锆-铝吸气剂的性能接近国际同类产品水平。 为了更有效地使用吸气剂,本文提出了非蒸散型吸气剂的物理模型,由该模型出发推导出了表示吸气剂特性的一组方程式.运用该方程可解释实验结果及吸气剂的某些特性,同时给出部分和实验结果较好符合的理论结论。 相似文献
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考察了锂硼基吸气剂在室温下对H_2、N_2、O_2、湿空气和干空气的长期吸气特性,采用XRD和SEM研究了锂硼基吸气剂在吸气后的物相及表面形貌的变化,分析了吸气机制。结果表明,室温下锂硼基吸气剂在H_2、O_2、N_2环境中吸气960h后,吸气量分别为QH=13._20Pa·m3/g、QO=4.35Pa·m~3/g、QN=_2.73Pa·m~3/g。锂硼基吸气剂关于纯气体的吸气模型主要分为3个阶段:Ⅰ阶段为表面锂反应控制阶段;Ⅱ阶段为Li和气体原子互扩散控制阶段;Ⅲ阶段为LiB中Li释出扩散或气体原子经产物层向内扩散控制阶段。锂硼基吸气剂在干空气和湿空气下的吸气过程不存在明显的3个阶段。封闭环境中一定量的水蒸气与吸气剂相互作用后,生成物有阻碍作用,使吸气量大大降低。 相似文献
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一种新型的超高真空热规──轴向式热阴极电离规管 总被引:1,自引:0,他引:1
本文提出了一种不同于现有BA式规管结构的新型轴向式热规,它的特点是灵敏度大、另散性小、结构简单、除气容易,测量范围宽,本文分析了规管的电子和离子的运动轨迹,并对电极结构和电参数与灵敏度的影响作了一定的实验。 一、概述 自从一九五○年发明了BA式规管之后,它作为超高真 相似文献
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对电离规灵敏度进行模拟计算是预测和优化其性能的关键.提出了一种基于离散电子轨迹片段的离散化方法,用于精确计算理论灵敏度.将考虑边界条件变化的电离规工作过程的基本理论模型表示为由许多离散片段组成的时间线性电子轨道.在每个微小的时间间隔内,通过构造有效电离空间计算和筛选离散的有效电子轨迹片段,并利用Binary-Encou... 相似文献
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目前,市场上的气体相对密度计主要是燃气相对密度计(指在相同温度和压力下,燃气密度对空气密度的比值)。燃气相对密度是燃气工业生产、科研和设计的重要技术特性指标。本文着重介绍气体相对密度计的测量原理和检测方法。一、测量原理气体相对密度计主要采用喷流法测定,喷流法原理是在相同温度和压力条件下,相等体积的不同气体经过给定结构的同一锐孔所需要的时间与各气体密度 相似文献
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采用沉淀前驱物混合法制备铈锆铝复合氧化物(CZ+A(pm))和沉淀机械研磨混合法制备铈锆铝复合氧化物(CZ+A(mm))(x(Ce)∶x(Zr)∶x(Al)=1∶1∶2)。将样品分别在空气和10%H_2/Ar气氛下进行热处理,利用X射线粉末衍射(XRD)、N_2吸脱附(BET)、O_2脉冲吸附、H_2程序升温还原(H_2-TPR)等手段研究了复合氧化物的结构及性能。结果表明,CZ+A(pm)、CZ+A(mm)新鲜样品经1 100℃还原热处理后的CZ+A(pm)-H_2-1 100样品的XRD图谱出现较多且尖锐的归属于CeAlO_3的衍射峰,而CZ+A(mm)-H_2-1 100样品没有观察到CeAlO_3晶相;其储氧量分别为157和773μmol/g,均大于CZA-H_2-1 100的23.2μmol/g;H_2-TPR耗氢量分别为960和1 916μmol/g,而CZA-H_2-1 100样品H_2-TPR耗氢量仅为310μmol/g,CZ+A(pm)储氧性能受还原热处理时CeAlO_3形成的影响,与还原性能的变化结果相吻合。研究发现,铈锆铝复合氧化物中CZ+A(pm)样品的铈锆和氧化铝粒子尺度较小,相互之间接触较紧密,使得CeO_2和Al_2O_3较易发生固相化合反应生成CeAlO_3,而CZ+A(mm)样品中铈锆和氧化铝粒子更大,相互之间间隔更远,经还原热处理时能抑制CeAlO_3的形成,从而改善材料在还原气氛下的储氧性能和还原性能。 相似文献
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提出了一种调整工艺流程,用低压转于流量计准确地测量高压气体小流量的方法。该法已在沈阳硬质合金厂和我所24标米^3/时高压氢气纯化装置中应用多年,实践证明,流程设计巧妙,操作方便,测量准确,是测量高压气体小流量的一种好方法,可予推广应用。 相似文献
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《低温与特气》2013,(5):54-54
申请(专利)号:201210400849.9公开(公告)日:2013.03.27申请(专利权)人:天津大学 摘要:本发明公开了一种氮氧化物气体传感器元件的制备方法,步骤为:(1)对n型单面抛光的单晶硅片进行清洗;(2)采用双槽电化学腐蚀法在硅片的抛光表面制备孔径尺寸在50~200nm的硅基孔洞有序多孔硅,腐蚀液为6%一8%的氢氟酸水溶液,施加的腐蚀电流密度为115~135mA/cm2,腐蚀时间为5—25min;(3)再将多孔硅置于超高真空对靶磁控溅射设备的真空室,制备基于硅基孔洞有序多孔硅的氮氧化物气体传感器元件。本发明的制备方法简单,灵活可调,工艺条件较少,易于控制;提供了一种可在室温及极低浓度(0.1×10-6)下具有高灵敏度、高选择性、快速响应/恢复特性、重复性好的氮氧化物气体传感器元件。 相似文献
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本文介绍了在i-s图上求(?)值的简捷方法。在没有i-e(焓-■)图时,可用此法在i-S图上直接查取(?)值,并在空气的i-S图上作了示例。图1,参考文献5。 相似文献
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本文对在中小型企业如何推动GT的开展进行了初步的探索,并介绍了济南仪表厂推动GT起步的一种方法——GTA及其所获得的效益。 相似文献