PVDF压电传感器在实验模态分析中的应用

提出通过聚偏氟乙烯(PVDF)压电传感器替代加速度计对振动结构进行实验模态分析。在固支梁表面分别布置矩形PVDF压电传感器和加速度计,测量外界激励与振动结构响应之间的频率响应函数,通过模态软件对数据进行分析,得到模态参数并将结果进行对比。实验结果表明,利用PVDF压电传感器对振动结构进行实验模态分析效果良好,且具有附加质量小,频响宽,操作简便等特点,与加速度计相比,具有明显的优越性。     

激光定位工件台长度测量的有理化电路

在激光干涉测量的数据处理中,常用迭代法对测量数据进行有理化(指小数有理化),本文讨论迭代参数的设计,并介绍一种用于电子束曝光机双频激光定位工件台中长度测量的有理化电路。     

某高精密光电转台结构设计与模态分析

以某高精密搜跟一体光电设备为目标对象,根据该产品的技术指标要求,设计了一种高精密光电转台,对高精密光电转台样机进行装配与检测,确保轴系晃动误差值满足技术指标要求运用 ANSYS 软件对光电转台的三维模型进行模态分析,得出高精密光电转台的固有频率高于工作频率,不会产生共振现象。该高精密光电转台的实际使用效果表明该结构设计是成功的,对同类型转台类产品结构设计具有参考借鉴意义。     

基于ANSYS Workbench的多功能精密组装系统焊接臂的模态分析

通过ANSYS Workbench对多功能精密组装系统悬臂型焊接臂进行模态分析,分析结果表明,初始设计焊接臂将会发生共振现象,因此需提高此焊接臂的刚度以避免产生共振。此方法也为多功能精密组装系统的避振设计提供了理论依据。     

光刻机超精密工件台研究

针对步进扫描投影型光刻机超精密工件台开展研究熏所搭建的超精密气浮运动试验台采用气浮直线导轨支撑、直线电机驱动、直线光栅尺反馈组成大行程直线运动系统,其上叠加洛仑兹电机驱动的气浮微动台,提供对直线电机运动的精度补偿,由双频激光干涉仪提供粗、精动运动系统的超精密位置检测和反馈,两套直线运动系统可研究同步扫描运动,并可灵活地组成多种x-y超精密运动系统。介绍了基于该试验台进行的超精密运动控制试验研究,运动定位精度已经达到12nm     

自动控制原理实验的模拟仿真

主要介绍如何利用电子工作台EWB进行自动控制原理实验的模拟仿真。     

通用计算法在精密工作台精度分析中的应用

本文应用无限小线性变换原理,导出了V—平型导轨工作台位置精度数学模型。通过实例说明新方法是正确的,并具有通用性广、精度高和计算简便等优点。     

除尘器轴承端盖模态分析

本文采用有限元分析软件ANSYS分析方法及模态分析技术,建立除尘器轴承端盖的有限元模型,对端盖进行模态分析,求得端盖固有频率和振型,为端盖的进一步优化设计提供了理论依据。     

组件的模态分析和随机振动分析

论述了用ANSYS有限元分析软件对组件进行模态分析和随机振动分析的方法。通过模态分析确定了部件的振动特性即固有频率和振型,它是其他动力分析如频谱分析的起点。通过随机振动分析确定了结构随机振动载荷的结构响应,通过随机振动分析得到结构的3σ定向变形、3σ定向加速度响应、3σ等效应力参数。根据振动响应中的最大应力计算结构的安全裕度,验证其设计能否成功克服共振现象和振动引起的不良效果。通过模态分析和随机振动分析可以优化结构提高可靠性、缩短研制周期。     

CMOS集成电路静电泄漏实验分析

CMOS集成电路的静电损伤一直是影响其可靠性的一个重要因素。当器件尺寸缩小到1μm以下时，在减小芯片I/O PAD 尺寸、提高工作频率的同时，保证较高的抗静电能力就显得尤为重要。本文首先对两种1μm MOS集成电路进行静电击穿实验，并对实验结果分析，并介绍了提高CMOS集成电路抗静电能力的各种措施。     

基于模态分析的散布式扬声器幅频特性研究

从薄板弯曲振动方程出发,论述了散布武平板扬声器薄板振动模态与声辐射模态和辐射声功率的内在关联。研究表明：振动模态简正频率密度和主导声辐射模态是影响辐射声功率的主要因素。试验证明,激励力所能激发的模态密度、模态阻尼对平板扬声器幅频特性有较大影响。     

高精度激光定位工件台系统研制成功

中国科学院光电技术所于1978年承担了两项为发展我国大规模集成电路（LSI）用的关键工艺设备的研制任务。经过三、四年的努力，已先后胜利完成研制工作。继1981年7月在北京通过了性能优良的、具有七十年代中期国际水平的JK-1型半自动接近式光刻机的院级技术鉴定之后，最近科学院成都分院受科学院技术科学部的委托在成都召开了高精度激光定位工件台系统院级鉴定会，通过了技术鉴定。     

微波部件模态分析在结构设计中的应用

用有限元法进行微波部件结构设计可以提高结构的可靠性.对某微波部件的结构进行了固有频率和固有振型模态分析,给出了通过改变结构来改善固有频率的仿真分析.提高微波部件结构固有频率的方法包括选择杨氏模量高、密度小的金属材料、增加部件的安装脚、减小部件盒体的高度和部件的整体结构等措施.微波部件的固有频率应足够高,要高于安装板基频,避免共振,通过分析微波部件的固有振型、改进结构的薄弱部位以提高结构的抗振能力.     

微型扬声器模态及声响应的有限元分析

有限元方法凭借其优越性,在扬声器设计中起着越来越重要的作用。介绍了有限元法在微型扬声器振膜模态分析以及声响应分析中的一些应用。     

半导体设备承载板的模态分析及拓扑优化

为提升半导体专用设备的动力学性能,需要对其中的承载板进行结构优化,以确保该零件模态频率和质量满足使用要求。采用有限元软件对优化前的承载板进行模态分析,得到特定边界条件下的垂向模态频率。之后利用拓扑优化的方法,将承载板需要的垂向模态频率作为前提条件,将承载板质量最小化作为目标值,求解承载板的最优结构。根据拓扑优化后的结果,进行几何重构,计算表明优化后承载板的垂向模态频率和质量满足设计需求。     

环形直线行波超声电机定子的模态分析

针对一类环形封闭式的行波型直线超声电机定子的振动模态进行了有限元与实验研究。该类电机的定子由两个半圆环和两段直梁构成。分析了有限元的单元尺度对固有频率及频率差的影响以及压电陶瓷片的粘贴位置对固有频率及弯曲振型的影响。对自行研制的超声电机进行了实验研究。实验结果表明，固有频率差的数值计算值与相应的共振频率之差吻合。     

掩模移动曝光系统精密定位工件台研制

为满足掩模移动曝光技术制作微光学元件的要求,研制了接近式曝光系统中使用的x-y二维精密移动工件台.该工件台由x-y二维整体手动工作台子系统、x-y二维掩模精密移动台子系统和承片台子系统组成.利用一个方导轨和两对V形导轨组成的滚动导轨副实现了x向和y向精密移动的导向功能;利用驱动器、电机、光栅、细分卡、单片机构成的闭环控制系统保证了x和y向的运动精度;在气浮的作用下,利用掩模版靠平基片实现了调平功能;利用差动螺旋机构和1∶2杠杆缩小机构实现了间隙的调整功能.经检测,工件台在8 mm的工作行程范围内,沿x,y方向移动的直线性分别达到了4"和3",两个方向的正交性达到了10",运动定位精度达到了1.2 μm.     

ANSYS在天线系统模态分析中的应用

介绍了用ANSYS软件进行天线系统模态分析的基本方法,并结合具体实例针对其中的难点及重点问题进行了讨论。     

一种异型转子的模态分析

针对一种设备上所用单支撑转子,在Solidwork中建立三维模型,并导入patran中进行网格划分及属性定义,最后用Nastran计算了前十阶固有模态,并结合生产实验结果进行对比,结果表明,由该模型得到数据与实验结果基本一致,由此计算结果可获得该类转子的临界转速,并用于指导实际的生产设计过程。     

直径测量床身的龙门结构模态分析

在本文中龙门是测量回转体直径的关键结构,其设计的合理性将直接影响测量结果的准确性和精确度。利用有限元分析软件ANSYS Workbench对已建立好的龙门三维模型进行模态分析,通过提取前六阶模型模态的分析结果,得出现有龙门结构上的缺陷和不足,并对龙门结构进行适当优化,使其优化后结果能够避开外部激励所引起的共振,并减小模态振型中的位移量,为提高龙门结构的测量精度提供一种设计方法。