基于自动化清洗设备的腔镜器械消毒灭菌方法研究

腔镜器械消毒灭菌是确保卫生安全和设备正常运行的关键，提出基于自动化清洗设备的腔镜器械消毒灭菌方法。结合腔镜器械装置的灭菌过程自适应控制，采用集成化设计方法，设计腔镜器械消毒灭菌自动化清洗设备的自动化控制模块，以单片机作为核心控制芯片进行腔镜器械消毒灭菌自动化清洗设备的往复式控制，采用VIX总线处理技术实现腔镜器械消毒灭菌清洗过程中的调速和调压处理，采用信号输出转换控制方法，以单片机作为信息处理中心单元的腔镜器械消毒灭菌自动化清洗装置，在ARM嵌入式微处理环境下，实现腔镜器械消毒灭菌自动化清洗和自适应控制。测试结果表明，采用该方法进行腔镜器械消毒灭菌自动化清洗的稳定性和可靠性较好，灭菌清洗的自动化水平较高。     

基于统计过程控制的水清洗控制系统

为了将水清洗机接入工业网络并实现智能自动化控制,本文提出了一种基于统计过程控制(SPC)可重构程序的水清洗控制系统.该系统根据水清洗设备的参数和组件特性构建了该设备的控制协议;根据协议指令制定了指令判断模块;根据SPC理论设计了过程控制模块.控制协议让该系统的清洗程序具有重构和联网的功能;指令判断模块为重构后的指令提供了安全性保障;过程控制模块让该系统的清洗过程具备动态调整清洗组件的功能.这些功能使得该设备可以实现智能自动化控制.通过测试,该系统比原有系统的清洗次数平均减少了15%,水清洗液的使用率提升了约5%,并扩展了3项功能,提高了设备的利用率和智能化水平,最终满足节能省水、多用途和联网的需求.     

借力台达自动化 超声波业者迎来新升级

近日,台达电子集团子公司中达电通在张宗港地区针对超声波清洗设备企业隆重举办了行业产品说明会。中达电通自动化的技术工程师和市场专京专程奔赴张家港,与超声波清洗设备行业的客户展开了深度交流,成功打开了台达自动化与超声波工业客户合作的阳光之窗。     

校园网DDoS攻击防御平台建设方案研究

分布式拒绝服务攻击(DDoS)已经成为互联网最大的威胁之一。分析了校园网现状,建立了业务模型,提出了流量清洗设备的功能要求,设计了一种校园网DDoS攻击防御平台的设计方案。并分析了DDOS攻击清洗方案的流量牵引技术、触发技术、流量清洗技术与流量回注技术。     

啤酒生产过程原位清洗系统的调度研究

对啤酒生产过程的原位清洗系统(CIP)进行了研究,利用甘特图描述了CIP系统各个清洗过程,并建立了主要过程的MINLP调度模型。用随机算法PSO算法对该模型进行求解,结果表明该模型可以节省清洗设备的辅助生产时间,相应地增加了生产时间,有利于提高工厂的实际效益。     

在线等离子清洗技术的应用

等离子清洗处理能有效清除氧化铟锡(ITO)玻璃表面的有机污染物,活化表面,增加玻璃表面附着力。而在线等离子清洗(in-line plasma cleaning)是在连续生产线的一个密封腔中对ITO玻璃进行的等离子处理,可以避免玻璃基片暴露在大气环境中而造成二次污染。本文主要阐述了等离子清洗在ITO玻璃清洗上发挥的重要作用和一种在OLED行业实现在线等离子清洗的设备。     

煤矿综采设备运行状态大数据清洗建模

针对煤矿综采设备运行状态数据量大、数据存在噪声和缺失值等问题,建立了一种基于MapReduce的煤矿综采设备运行状态大数据清洗模型。该模型采用双MapReduce协同工作:通过第1个MapReduce对数据中的噪声点和缺失值进行修正,输出多个清洗后的数据文件;通过第2个MapReduce对多个清洗后的数据文件按采集时间及日期进行排序,并合并成单个数据文件输出。实验结果表明,该模型能有效剔除噪声数据和补全缺失数据,具有较好的数据清洗效果。     

基于图像识别的智能炮管清洗机器人设计

针对当前士兵人工清洗炮管强度大,效率低等问题,以及现有清洗设备在实际应用中存在的体积大、质量重、智能化程度低等不足,基于图像识别技术和模式识别理论,研制了一种智能炮管清洗机器人.该智能炮管清洗机器人采用嵌入式控制系统,应用图像处理技术,实现了清洗过程的可视化,并通过色彩特征提取算法实现了对炮膛内挂铜区域的提取;利用模糊模式识别方法,根据炮膛内挂铜区域分布的规律性及实际图像处理后得到的信息来实现对炮膛的智能清洗.实际应用表明,此智能炮管清洗机器人鲁棒生强、清洗效率高,具有良好的应用前景.     

基于3D打印的船舶清洗机器人造型设计与实践

为提高船舶清洗的效率,在研究国内已有船舶清洗设备的基础上,笔者采用空化射流原理,分析现有船舶清洗设备的外观造型结构,对船舶清洗机器人产品结构进行造型设计研究。通过人机分析实验、造型设计创作等途径,融合现代产品的造型艺术形式,结合现代生产制造手段,进行船舶清洗机器人的造型创新设计。仿真效果表明,所设计的船舶清洗机器人外观造型合理,具有较高的灵活性和可靠性,克服传统产品造型和结构设计的局限性,实现产品造型和结构的精细化、智能化和快速化设计,达到产品结构设计与造型创新的目标,为3D打印技术在产品外观造型和结构创意设计与实践提供借鉴和参考。     

机电一体化茶青超声波清洗机的设计开发

介绍了一种基于PIC单片机控制的超声波茶青清洗设备，给出了系统及结构的设计、单片机控制电路和功率放大电路的设计，并较详细地阐述了几种换能器的性能比较和控制器的工作原理及结构，使其具有（超声波加气泡发生器）的恒功率清洗功能，满足了茶青表面杂质清洗及去除农残的要求。经试验证明：超声波清洗速度快、效果好、容易实现工业控制，能保持恒定输出功率，且可以方便地调节。     

J2ME与Jini技术在开发嵌入式系统中的结合应用

J2ME和Jini结合使利用Java计算平台在各种嵌入式设备上进行简单、迅速的编程开发成为可能,而Jini是一种全新的构建分布式系统的技术,具有动态的,自形成和自管理的特性,能使各种小型设备以一种简捷的方式接入到网络中,使各种Java技术的小型设备能够相互交流.重点介绍了J2ME与Jini技术结合在开发小型设备嵌入式系统中的应用.     

现代微电子行业的新型湿法清洗工艺

随着半导体技术的不断发展,集成电路的线宽在不断减小,对硅抛光片表面质量的要求也越来越高,为使芯片上的器件功能正常．避免硅片制造中的沾污是绝对必要的。传统的RCA清洗方法已不能满足其需求。因此,必须发展新的清洗方法。本文对传统的RCA清洗方法进行了简单的介绍,在此基础上,介绍新发展的HF／O3清洗法,从而对450mm硅片清洗方法的未来发展方向进行了简单论述。     

Bayesian Belief Network-based approach for diagnostics and prognostics of semiconductor manufacturing systems

Semiconductor manufacturing is a complex process in that it requires different types of equipments (also referred to as tools in semiconductor industry) with various control variables under monitoring. As the number of sensors grows, a huge amount of data are collected from the production; and yet, the relations among these control variables and their effects on finished wafer are to be fully understood for both equipment monitoring and quality assurance. Meanwhile, as the wafer goes through multiple periods with different recipes, failure that occurs during the process can both cause tremendous loss to manufacturer and compromise product quality. Therefore, occurred failure should be detected as soon as possible, and root cause need to be identified so that corrections can be made in time to avoid further loss. In this paper, we propose to apply Bayesian Belief Network (BBN) to investigate the causal relationship among process variables on the tool and evaluate their influence on wafer quality. By building BBN models at different periods of the process, the causal relation between control parameters, and their influence on wafer can be both qualitatively indicated by the network structure and quantitatively measured by the conditional probabilities in the model. In addition, with the BBN probability propagation, one can diagnose root causes when bad wafer is produced; or predict the wafer quality when abnormal is observed during the process. Our tests on a Chemical Vapor Deposition (CVD) tool show that the BBN model achieves high classification rate for wafer quality, and accurately identifies problematic sensors when bad wafer is found.     

硅片沾污检测及清洗技术研究进展

主要阐述了硅片表面沾污测试技术中的一些重要研究进展,同时介绍了几种常见的硅片清洗方法,并对各方法的优点及适用性进行介绍。     

腔室清洗的单臂组合设备初始暂态调度

为了提升腔室洁净度,晶圆厂需对组合设备腔室进行清洗操作,从而提高晶圆的加工质量.考虑腔室清洗时间和晶圆驻留时间的约束条件下,本文研究了单臂组合设备的初始暂态调度问题.首先,提出了机械手的初始暂态活动规则,并对机械手活动序列进行描述,实现了系统的初始暂态可调度性;其次,对机械手在初始暂态和稳态的活动时间进行了建模;然后,根据系统的时间特性,建立了初始暂态调度的线性规划模型;最后,通过实例验证了该方法的有效性.与已有的虚拟晶圆方法相比,该调度方法能有效减少初始暂态的完工时间,提高了组合设备的晶圆生产效率.     

现代微电子行业的新型湿法清洗工艺

随着半导体技术的不断发展,集成电路的线宽在不断减小,对硅抛光片表面质量的要求也越来越高,为使芯片上的器件功能正常,避免硅片制造中的沾污是绝对必要的。传统的RCA清洗方法已不能满足其需求。因此,必须发展新的清洗方法。本文对传统的RCA清洗方法进行了简单的介绍,在此基础上,介绍新发展的HF/O3清洗法,从而对450mm硅片清洗方法的未来发展方向进行了简单论述。     

基于虚拟样机技术的火炮维修仿真系统研究

该文提出了基于虚拟样机技术的火炮维修仿真训练系统建设总体方案，主要用于解决目前武器设备维修训练采用实物、实兵、实地训练，日常训练成本高、危险性大、训练效率与训练效果有待提高的问题。采用虚拟样机技术开发的装备维修仿真训练系统是解决目前武器装备维修训练突出问题的有效途径。巳开发成功的某武器维修训练仿真系统的推广应用受到了用户的好评。     

中小型企业设备管理系统的编码设计与应用

论文主要论述了编码设计是实现企业设备管理系统可操作性的关键,是实现设备管理标准化与通用化的基础。总体分析了编码设计的原则和结构,设计了一套适合中小型企业设备管理系统的柔性编码体系。其主要特点是使在线设备与备品备件和故障维修通过设备编码为查询主键成为整体化设计,有效地提高了设备管理效率。     

全自动上芯机的晶片检测系统

全自动上芯机是用于芯片生产后工序的关键设备之一,IC检测系统是其核心技术。晶片检测系统主要构件包括光源,CCD,图像采集卡等硬件设施,以及专用的芯片处理检测算法。文章详细介绍了基于图像处理的晶片专用检测系统的搭建,分析了图像检测要求,提出了相应的检测算法。系统地完成图像采集、图像预处理、芯片定位、芯片检测等多个功能。     

具有清洗工艺的单臂组合设备终止暂态调度

随着多品种小批量生产模式的普及,导致了组合设备频繁的暂态加工过程.为了提高组合设备的生产柔性,同时考虑晶圆驻留时间约束和腔室清洗时间约束,研究了单臂组合设备的终止暂态调度问题.首先,提出了 1-周期清洗工艺的暂态调度规则,并采用了面向资源的Petri网对单臂组合设备的终止暂态过程进行建模,引入避免死锁的变迁触发规则;其次,根据系统的终止暂态时间特性并考虑不同的调度情形,建立了终止暂态调度的线性规划模型;最后,通过实例验证了该方法的可行性.实验结果表明,与运用改进拉式策略的虚拟晶圆方案相比,该调度方案可有效地减少组合设备终止暂态的完工时间,并满足晶圆制造的工艺要求.