激光干涉定位中调制的作用及调制频率的选择

高精度的定位器是精密表密加工及机器人的重要保证。激光干涉定位器具有测量范围大，测量无接触，精度可达０．１－０．０１μｍ，因而具有乐观的应用前景。各国都作了大量的研究工作，并取得了进展。文章对激光干涉定位的机理进行了阐述，着重讨论了调制的作用，给出了实验数据。     

微机电系统(MEMS)的干涉测量方法的研究进展

目前大量的机械系统中应用了微电子机械设备，从而对微机电系统(MEMS)的测量提出了新的要求。现讨论了近几年MEMS主要的几种基于光干涉平台的位移和面形的测量方法。     

基于旋滤波的InSAR干涉条纹图滤波方法

InSAR干涉条纹图处理中，对噪声进行滤波是非常关键的一步。该文在分析现有滤波算法的基础上，考虑了干涉条纹图方向性特点，提出了基于旋滤波的InSAR干涉条纹图滤波方法。可以有效地去除残点对相位解缠的影响，同时保持相位信息不受损害。对仿真数据及真实InSAR数据的处理结果证明了该方法的有效性。     

复杂表面散射对干涉图对比度的影响及对干涉图的处理

以带有焊点的印刷电路板形成的干涉图为例,讨论了复杂物体表面的散射对干涉图对比度的影响,提出了处理复杂干涉图的简单方法.     

用视频显微镜实现显微干涉计量的实验研究

采用视频显微镜作为显微成像和电子记录的工具进行显微干涉计量,光路简洁,调整方便.用显微云纹干涉系统和显微散斑干涉系统分别测量了物体的面内变形、离面位移和物体的形状.实验结果表明视频显微镜可应用于各种显微干涉计量场合.     

一种改进的基于干涉相位的基线估计方法

该文研究了基于干涉相位的基线估计方法,对原有基于干涉相位傅里叶变换的算法从4个方面进行了改进。提出了精确计算干涉相位瞬时频率的方法;指出了干涉相位样本区域分布原则,能够有效改善采用最小二乘拟合方法时方程的病态性;提出了能够有效剔除干涉相位噪声较大及地形变化剧烈区域对估计精度影响的定量化样本区域选取准则;通过计算差分干涉相位迭代求解优化估计精度。利用改进算法对双天线干涉和重轨干涉数据进行了基线估计,结果表明该文算法相比原有算法鲁棒性和精度都大大提高,适合机载重轨干涉SAR的基线估计。     

双功率谱干涉实现图像识别

提出一种新的图像识别方法 ,直接利用输入图像和参考图像的联合变换相关功率谱进行双功率谱干涉 ,不需要特殊的光学元件 ,也不需要对功率谱进行调制和改造。实验表明 ,相同图像的双功率谱干涉出现明显的条纹 ,而不同图像则几乎不出现干涉条纹。     

径向剪切干涉波面重构的数值模拟分析

径向剪切干涉仪所采集到的干涉图并不直接反映原始待测波面信息,为了获得原始待测波面信息,波面重构是必要的。推导了波面重构的迭代算法,并用Matlab分别对径向剪切中不同迭代次数、不同剪切比的波面重构迭代算法进行了数值模拟,得出以下结论:合适的剪切比可以简化迭代运算,提高运算速度;与小畸变波面重构相比,残差波面PV值达到相同精度时,大畸变波面重构需要更多的迭代次数。待测波面的PV值大于10时,剪切比应在0.7以上,PV值大于6小于10,剪切比在0.5~0.7之间,PV值小于6,剪切比小于0.5。     

光波干扰测量结深

在半导体芯片制造过程中，结深是重要的工艺参数之一。本文介绍用光波干涉法测量结深，操作简便、精度高，特别对10μm以下的结深测量，有其独到的优越性。     

交轨干涉SAR涌浪干涉相位模型及数值模拟

建立了包含海表面高度和速度聚束的交叉轨迹干涉合成孔径雷达(AcrossTrack Interferometric Synthetic Aperture Radar,XTI-SAR)涌浪干涉相位模型,得到了涌浪成像的解析表达式.进一步研究了XTI-SAR沿方位向传播的涌浪成像机制.定义二次谐波振幅与基波振幅比率来表征成像非线性,通过比较XTI-SAR和沿轨迹干涉合成孔径雷达(Along-Track Interferometric Synthetic Aperture Radar,ATI-SAR)相位的二阶调和分量,分析不同海况和干涉SAR参数情况下的数值模拟,结果表明:当速度聚束弱时,XTI-SAR相位比ATI-SAR相位具有较强的非线性,ATI-SAR比XTI-SAR更适合测量海浪.当速度聚束强时,XTI-SAR相位比ATI-SAR相位具有较弱的非线性,XTI-SAR比ATI-SAR更适合测量海浪.     

FY-4大气垂直探测仪干涉系统光学元件容差分析

干涉分光系统是风云四号气象卫星（FY-4）大气垂直探测仪的核心部分,该系统对光学元件的加工和装校精度有着很高的要求.本文主要分析给出了光学零件加工误差对干涉系统性能影响的计算方法,并针对FY-4大气垂直探测仪的干涉系统计算了光学元件的容差要求.     

水中气泡激光远场干涉分析

根据干涉理论对水中气泡产生的激光远场干涉现象进行分析,并对干涉光强度、产生的干涉条纹数以及条纹间距进行了计算.结果表明:水中气泡产生的远场干涉与气泡大小及观察角密切相关;条纹数随气泡半径呈线性变化;条纹间距随观察角的增大而增大.实际拍摄的干涉图像得到了很好的证实.     

偏振光干涉强度到椭圆偏振光电矢量的变换

在偏振光实验中，测量量是偏振光干涉光强分布，而最后要表示的是椭圆偏振光电矢量。研究了偏振光干涉与椭圆偏振光电矢量之间的转换关系，解决了椭圆偏振光电矢量的测量问题。     

大角度照明全息图有害干涉条纹产生机理及消除方法

实验数据和理论分析证实,大角度照明全息图上的破坏性干涉条纹是扩束参考光在全息干版表面产生的等倾干涉条纹。实验结果表明,将参考光设置成平行光或曝光前在全息干版的玻璃面贴黑纸,均能有效消除此类干涉条纹。该技术已应用在全息灯具的制做中。     

方位瞄准中的高精度小角度的检测

利用激光干涉进行角度检测时对激光频率稳定性的要求很高，本文采用一种实用的方法降低了检测用激光器频率稳定性的高要求，降低了检测的成本，同时满足了检测的要求。