常压微波等离子体反应器的设计与实现

本文设计了一个基于BJ26矩形波导的常压微波等离子体反应器。微波反应器对于等离子体的产生起关键性作用,本设计中采用了矩形压缩波导结构。首先运用Ansoft HFSS仿真软件对反应器进行了模拟计算,得到不同矩形压缩波导腔体内的电场分布,从而对腔体进行了优化设计,最终制作了常压微波等离子体反应器。将反应器安装在微波系统中,获得了频率为2.45GHz功率可调的稳定的微波等离子体。     

径向三重流MOCVD反应器壁面温度的数值模拟

将研究辐射换热问题的区域法引入壁面间的辐射换热计算,建立了MOCVD壁面温度的计算模型,应用该模型计算了径向三重流MOCVD反应器的壁面温度分布.结果表明,在反应器的不同部位,壁面温度分布的规律有所不同.当径向三重流MOCVD反应器处于自然对流的环境时,壁面的最大温差可达123K,如此大的温差将会对反应器内的气体流动和沉积过程产生影响;为了使反应器的温度保持在较为恒定的低温,外壁面的强制对流换热系数应大于84W/(m 2·K).     

径向三重流MOCVD反应器壁面温度的数值模拟

将研究辐射换热问题的区域法引入壁面间的辐射换热计算,建立了MOCVD壁面温度的计算模型,应用该模型计算了径向三重流MOCVD反应器的壁面温度分布.结果表明,在反应器的不同部位,壁面温度分布的规律有所不同.当径向三重流MOCVD反应器处于自然对流的环境时,壁面的最大温差可达123K,如此大的温差将会对反应器内的气体流动和沉积过程产生影响;为了使反应器的温度保持在较为恒定的低温,外壁面的强制对流换热系数应大于84W/(m 2·K).     

基于FBG阵列的生物膜式反应器内温度场测量

生物有机废气废水处理过程中,温度是反应微生物生存环境的一个重要参数,温度的大小直接影响到微生物的活性,进而直接影响到微生物反应器的净化性能。为能对生物膜式反应器内的温度场进行在线准确的测量,提高微生物反应器的净化性能。文章采用FBG阵列对高0.5m、内径0.24m的圆柱形反应器内填料床段进行温度测量,其中轴向5层,每层7个传感器单元,共35个传感单元。实验研究表明：在生物膜式反应器挂膜阶段,反应器内已经出现了温度分布,且最大温差可达1.79℃。因此,采用FBG阵列对生物模式反应器内温度场测量,将为观察反应器内生物膜的生长环境条件、反应机理提供新手段,从而提高微生物反应器的净化性能。     

浅谈柴油机SCR反应器结构参数仿真选型优化方法

选择性催化还原（SCR）技术是是广泛使用的柴油机（氮氧化物）排放控制技术,利用AVLFire软件建立与某船用柴油机匹配的SCR反应器仿真模型,通过理论计算和仿真分析,得到SCR反应器优化的结构参数为：SCR反应器体积为0.036m3,横截面积为0.07m2,催化剂的长度为0.592m,孔密度为400目,涂层厚度为0.0...     

旋转生物反应器的设计及其用于细胞培养

目的：设计一种旋转生物反应器并评价在其中进行细胞培养的效果。方法：制造一套旋转生物反应器并与静态培养进行比较。结果：扫描电镜结果表明旋转生物反应器动态培养的细胞生长速度、数量和形态明显优于24孔板静态培养。结论：自制旋转生物反应器可较好实现细胞三维立体培养,能作为细胞工程实验室一种较为理想的细胞培养装置,可在细胞和组织工程领域中广泛应用。     

激光诱导1.2—二氯乙烷链式反应扩散过程探讨

我们考虑激光诱导1.2—二氯乙烷生成氯乙烯的链反应中由于浓度不均匀而引起的扩散过程。作为轴对称的情况考虑,设管式反应器直径为2R,激光在反应器中心沿轴方向入射,光斑直径为2b,若考虑在一段长度内,激光光强不随轴向衰减,当采用柱坐标系时,其扩散方程是一个二阶耦合偏微分方程组: ?u_i/(?t)=a~2((?u_i)/(?r~2)+1/r(?u_i)/(?r))+F_i(r,t),b相似文献   

中微公司发布新一代等离子刻蚀设备

近日,中微半导体发布了两款新一代刻蚀设备。新设备中的第一款是PrimoSSCAD—RIE（“单反应器甚高频去耦合反应离子介质刻蚀机”）,可应用于最先进的存储芯片和逻辑芯片的加工生产,包括2x纳米及lx纳米代高深宽比接触孔刻蚀、沟槽及接触孔刻蚀、串行刻蚀（在单反应器中实现多步操作）。PrimoSSCAD—RIE拥有独特的创新设计,能够在工艺控制方面实现前所未有的灵活性,并能帮助芯片生产商在确保芯片加工质量的同时达到更高的产出效率。     

新型厌氧反应器设计及启动实验

文章通过生产实际考察及各种厌氧反应器特征分析,设计了一种新型厌氧反应器。该新型厌氧反应器外循环旋流式水力搅拌装置有效解决了厌氧反应器普遍存在的泥水混合不均匀问题;反应器上部横向错排式半软性弹性填料层实现了污泥的高效截留,反应器顶盖上加装的喷头定期进水冲洗则可解决填料层堵塞问题。自配淀粉水溶液作为水样,采用ASBR模式进行常温启动。结果表明,该新型厌氧反应器在较短的时间内即可形成颗粒污泥,并且运行稳定。     

余热锅炉中脱硝反应器的优化及改造

国内电站实际应用SCR(选择性催化还原)烟气脱硝技术过程中,经常出现中、低负荷下SCR反应器入口烟温低于SCR催化剂的最佳反应温度窗口,严重时甚至低于正常反应温度等问题,导致SCR反应器运行效率明显偏低,严重影响余热锅炉的脱硝效率、NOx排放浓度和氨逃逸率。因此,需要在不影响余热锅炉整体运行下,有效提高SCR反应效率,维持SCR催化剂的较高活性,保证原SCR反应器系统高效稳定运行的是很有必要的。通过热力计算分析对比分析了高压过热器及高压蒸发器两种不同方案下主要热力参数的变化并根据工程实际情况建立了SCR脱硝反应器的模型图,文章分析了夏季运行工况,50%负荷情况下各个烟气参数,对SCR脱硝反应器流场模拟计算时的有关设置进行了说明。介绍了评价SCR脱硝反应器效果的两个指标,即流场均匀性和温度场均匀性指标。     

基于数值模拟的MOCVD反应器设计与优化

介绍了垂直喷淋式MOCVD反应器的最新计算机模拟仿真结果,并根据仿真结果对反应器的结构和参数进行了优化设计,应用在自行研制的用于GaN和四元化合物材料生长的设备中。     

卧式MOCVD反应器内涡旋分布数值模拟

本文用有限元法,通过求解耦合的动量、能量微分方程组,对卧式冷壁MOCVD反应器内气体流动出现的涡旋分布进行了数值模拟,文中考虑了热浮力及反应器几何参数对涡旋分布的影响,同时讨论了涡旋发生与无量纲参数Gr、Re的比值Gr/Re~2的关系。计算结果表明,适当控制比值Gr/Re~2可以避免涡旋产生,从而为获得均匀生长速率提供了理论指导。本文的方法可用于类似地二维或轴对称流动涡旋分布的数值模拟。     

水解净化硅外延尾气

<正>硅外延工艺用SiCl_4原料以H_2作载体,在磨口石英反应器中进行.当尾气用水溶液鼓泡或塔器吸收时,因排气阻力和SiO_2堵塞,使外延系统压力上升,带来H_2泄漏或磨口冲出的危险,也可能会影响外延工艺的稳定,因此,采用水喷雾法,对硅外延尾气进行净化.     

等离子体刻蚀和沉积中的辉光放电现象

评述了在等离子体刻蚀和沉积中会引起沾污,辐射损伤或表面轰击损伤的光辉放电的物理效应.用内外电极的反应器的效应是不同的,除了测量各种系统的电位以外,还分析了两种反应器中重要区域的电条件.证实了以下两点:基片、内壁和内电极的作用如同射频溅射的靶;而测得的电位与反应器的几何形状及工作条件有关.还提供了减少沾污和损伤的方法.     

聚砜膜生物反应器实验系统对重肝患者血浆的影响

目的：了解聚砜膜生物反应器实验系统对重肝患者血浆的影响,探索聚砜膜中空纤维反应器作为生物人工肝反应器的可行性。方法：用磁力搅动法将分离的新生实验小型猪肝细胞进行球形体培养,接种到聚砜膜中空纤维反应器外腔,观察聚砜膜生物反应器实验系统对重肝患者血浆的血氨、胆红素、凝血酶原时间、TNF-α、TGF-β1的影响。结果：该实验系统能降低重肝患者血浆的血氨、胆红素,缩短凝血酶原时间,降低TNF-α、TGF-β1水平。结论：聚砜膜生物反应器实验系统能够清除重肝患者血浆中的小分子有毒物质,补充有益成分,降低细胞因子水平。     

等离子腐蚀Al和Al-Si合金膜存在的一些问题

通常,Al和Al-Si合金膜在大规模集成电路中作为金属互连线而被广泛采用。在Al和Al-Si合金膜中精确形成微细图形的技术,对高密度、高速度的LSI来说,是必不可少的。在各种腐蚀薄膜的方法中,平行板电极反应器中的等离子腐蚀,是薄膜中形成高分辩率图形最有效的方法之一。 平行板电极反应器等离子腐蚀技术,已由一些科技工作者研究出来。众所     

矩形波导谐振腔微波化学反应器的研究

改变矩形波导谐振腔微波化学反应器的结构尺寸如:耦合膜片的形状、尺寸,反应管的直径、管壁厚度、材料和位置,利用HFSS软件计算不同结构尺寸反应器的S参数,仿真的最优结果与实验结果一致,得到了最优结构尺寸的反应器.反应管和短路活塞位置会影响反应器内的电磁场分布,因而直接影响微波化学反应器的工作.在反应管位置z₀为106mm,短路活塞位置L₀为146mm的最优结构尺寸反应器中,反应管以及内部的甲烷气体处在电场最强的位置且场分布均匀,这有利于甲烷得到足够的能量产生放电.仿真结果和我们的实验结果符合较好.     

关于硅外延反应器设备的商榷

文中讨论了硅外延反应器的部件:功率源、通风柜、反应管几何尺寸、气流控制及自动控制等。详述了反应管几何尺寸对反应器性能的影响,并对用闭环自动气流控制的全自动外延反应器作了描述。     

丝状炭径向生长的电镜原位观察

在烃类诸多催化转化过程中,通常会有炭沉积在催化剂及反应器、换热器等壁上,而造成种种不利的影响,如使催化剂失活、堵塞反应器、降低传热效率,甚至发生催化剂粉化和反应器等破损的严重问题。故催化炭沉积为人们所关注。实际对丝状炭沉积在过渡金属铁、钴、镍上的研究已有半个多世纪的历史。Baker和Harris曾对此作了全面系统的评论。不过,在以往的文献中,较多的研究是关于炭丝纵向的生长。本文将通过电镜原位观察来讨论丝径向生长的问题。     

JPP工艺反应器温度高的原因分析

反应温度的控制会影响聚合物的等规度,影响熔体流动速率等,若温度过高会导致粉料的堆积密度下降,会产生条状料和块料,还会引起聚合物熔融,堵塞反应器出口管线导致反应器停车,本文探讨了可能导致反应器温度高的原因及其采取的相应对策。