光楔列阵线聚焦系统的研制

报道七单元光楔列阵线聚焦系统的设计原理和焦线特性的测试结果。     

高斯光束通过光阑的传输

根据菲涅耳-基尔霍夫衍射积分公式，采用数值方法，详细研究了高斯光束经圆形孔径后的远场传输特性。     

焦点刀口法测量巨脉冲激光的光束发散角

本文介绍了焦点刀口法测量光束发散角的原理,并且实际测出了BBO晶体腔内倍频的灯泵Cr:LiSAF巨脉冲激光器的输出光束的远场发散角。     

用正交光楔列阵获得连续可调的均匀方形光斑

提出用两组相互正交的光楔列阵系统获得方形光斑，其特点是光斑尺寸在一定范围内连续可调，形状不受入射光截面形状影响，光斑强度空间分布均匀性好，且受入射光强度分布的影响很小。对该系统作了详细的理论分析和数值计算。     

焦线可控的光楔列阵均匀线聚焦系统

研制了一种可连续改变焦线宽纵比的光楔列阵均匀线聚焦系统。线长变化后，焦线宽度、光强分布均匀性、靶面位置仍然不变。实验研究与理论分析结果一致。     

激光平行光幕光能分布均匀性测量研究

激光平行光幕用途广泛,可以用来测量物体的直径,弹丸的速度、坐标、弹丸着靶密度等.光幕面内光能分布不均匀使得计时误差较大,直接影响测量精度.光幕光能分布均匀性的测量主要是为研究更大规模的光幕靶和密集度靶提供必要的数据准备和理论基础,有助于提高光幕测试的精度.从理论上介绍了激光光斑能量分布情况,对激光平行光幕的设计原理进行了说明,完成了激光平行光幕光能均匀性的测量实验,并使用origin软件对测量数据进行了分析.实验结果与理论分析相符,证明了测量方法的可行性.     

直角刀口法测量激光光束质量

针对当前几种主要的激光光束质量检测方法的优点和不足,本文提出了一种改进的测量激光能量分布的方法.并根据该方法的特点设计了一种先对模拟信号差分后再进行A/D转换的测量电路方案.使用MATLAB对该方法和方案进行仿真分析,证明了该方法能准确还原复杂的能量分布图形和该测量电路能有效提高测量精度.     

基于楔板剪切干涉的高斯光束远场发散角测量

为准确、方便地测量高斯光束远场发散角,提出了一种基于楔板剪切干涉的方法:将传统的双向剪切干涉仪进行改装,使能同时测出激光传输路径上两个不同位置处的波前曲率半径,并由曲率半径求出发散角.该方法解决了传统剪切干涉法只能定性判断光束准直状态而不能定量测量发散角的问题,实现了剪切干涉对基模高斯光束发散角的定量测量.实验测量误差和理论分析结果相符.误差分析表明影响发散角测量精度的主要因素为干涉条纹宽度测量误差.     

半导体激光器光束特性的计算机模拟与实验研究

为建立一套快速、准确的测量系统以适用于半导体激光器中、大规模生产的测试要求,利用有限元差分数值模拟方法对半导体激光器光束的近、远场分布,发散角等作理论模拟,利用测量系统对其光束的近远场分布、发散角等进行测量。最后提出相应方案处理测量结果以减小误差。与一般测量光束参数的系统相比,该测量系统具有兼顾简单快速与准确的优点。     

用于光刻的KrF准分子激光器

我们研制了一台用于光刻的ＫｒＦ准分子激光器（２４８ｎｍ），单脉冲能量２００ｍＪ平均功率５～９Ｗ，能量不稳定度＜土５％，脉宽３５ｎｓ，线宽０．５２ｎｍ，重复频率０．５～１００Ｈｚ，单次充气寿命＞５×１０５次脉冲数，储气寿命约一个月，近场光斑尺寸８ｍｍ×２０ｍｍ，性能指标和光束的均匀性满足了光刻的要求。     

用于光刻的小型KrF准分子激光器及光学系统

本文报道了用于半导体光刻的一体化小型ＫｒＦ准分子激光器及光学系统的性能。     

宽带高光束质量KrF激光器的实验研究

利用SBS作为相位共轭镜,对宽带KrF自由振荡激光器的光束质量进行了改善。在KrF激光能量为36mJ,脉宽为13.7ns,束散角为9.5倍衍射限的条件下,获得输出能量为20.8mJ,脉宽为4.3ns,束散角为6.4倍衍射限的高光束质量宽带KrF激光。     

双向四电子束泵浦KrF主放大器能量沉积

用三维电子输运Ｍｏｎｔｅ－Ｃａｒｌｏ（ＭＣ）方法研究了双向四电子束泵浦ＫｒＦ准分子激光器ＭＯＰＡ系统中主放大器（Ｈ１Ｍ）的能量沉积空间分布。计入了Ｈｉｂａｃｈｉ结构和主膜的影响。对０．５ＭｅＶ的电子，泵浦方向能量沉积基本均匀，而在轴向，因为两窗口间的１４ｃｍ“死区”使得能量沉积呈“马鞍形”，峰谷比为２～３。给出了能量沉积的总量及能量沉积效率与电子束能的关系曲线，为Ｍａｒｘ发生器的二极管电压进行优化设计提供了依据。     

高能CO2激光器光束质量测量实验研究

高能激光已广泛应用于科研、工业和军事领域。由于大气对激光传输过程会产生影响,测量研究高功率激光器远场光束质量一直是困扰研究者的一项难题。提出了一种远场光束质量相对测量和绝对测量相结合的测试方法,并测量分析了高功率1．4kw脉冲TEACO2激光器在500m处的光强分布。实验结果表明,高功率C02激光器光束经500In传输后达到靶面位置的最大功率密度为1．65W／cm2,光束的横向远场发散角达到0．96mrad。实验结果为提高系统的优化设计提供了重要的参考依据。     

大功率激光器阵列光场分布测试方法的研究

针对大功率半导体激光器阵列难以进行光场分布测试评价的问题,设计了大功率激光器光场分布测试系统。从测试系统探测器的抗损伤阈值方面,分析了对激光衰减的比例要求,提出了几种衰减的方法,设计了低透射系数高抗激光损伤的衰减方案,并进行逐一的测试比较,得到了理想的衰减效果。结合测试系统要求,完成了大功率半导体激光器光场分布的测试与评价。     

微加工准分子激光光束质量评价体系探讨

对在准分子激光微加工配套系统研制开发及微结构加工工艺研究的实际工作中碰到的准分子激光光束质量指标进行了详细分析,采用一整套光束诊断技术对LambdaPhysikLPX305iF型激光器进行测试评价。     

驾束制导仪激光束散角的数字化检测方法研究

介绍了一种出射激光束散角的数字化检测方法,计算机通过采集一定时间间隔内激光 光斑图像,在计算机中计算出各时刻的光斑大小,拟合出连续的束散角变化曲线。给出了实验装置和工作原理以及在计算机中进行数据处理的方法。     

高能激光光束质量的评价方法

分析常用光束质量定义用于评价高能激光时的局限性。考虑高能激光系统的组成,由激光器出射光束到高能激光发射系统出口光束以及考虑大气对高能激光作用后靶面上形成光斑的光束质量的评价、层层推进给出高能激光在能量空间输运应用中光束质量的评价方法,依据该套评价方法可以将影响高能激光系统光束质量的各个因素分离出来,便于高能激光系统的试验研究及发展。