铜互连CMP工艺中缓蚀剂应用的研究进展*

抛光液是铜互连CMP的关键要素之一,在CMP中每种成分发挥不同的功能,其中缓蚀剂的选择及性能对抛后的表面质量会产生直接影响。对近年来铜互连CMP中各类缓蚀剂的研究进展以及缓蚀剂与不同类型添加剂间的复配协同进行归纳总结,同时介绍缓蚀剂与不同类型添加剂间的作用机制。最后对未来铜互连CMP中缓蚀剂的应用前景进行展望,指出绿色环保的铜互连CMP缓蚀剂的开发,通过缓蚀剂的复配协同作用以提高抛光质量,以及从微观角度进一步揭示缓蚀剂的作用机制是未来的研究方向。     

一种能快速消解水样中铜、铁离子的预处理装置

在火力发电厂实验室测定脱盐水、锅炉给水和蒸汽中铜、铁离子含量时须对水样进行预处理以使水样中的铜和铁转化成离子态，便于测量。本文介绍了一种快速消解水样中铜、铁离子的加热预处理装置。     

江西研制成功新型稀土铜缓蚀剂

近日,由江西理工大学科研人员开发的“稀土铜缓蚀剂及其表面处理工艺”经国家知识产权局批准,获得国家专利。据介绍,该校研制成功的稀土铜缓蚀剂包括混合稀土盐、磺基水杨酸、苯丙三氮唑、柠檬酸和水等配方。铜缓蚀剂对环境无危害,缓蚀效率高,原料易得,成本较低,表面处理工艺操作简单,溶液成分稳定且维护调整方便,能有效提高稀土矿产资源的可持续发展利用效率。     

离子色谱法测定盐酸雾的浓度

文章介绍了用离子色谱法测定盐酸雾的浓度的方法、步骤以及该方法所使用的仪器、试剂等分析要素。     

水系沉积物中钴,镍,铜的分光光度法同时测定

本文研究了高碘酸钾与钴，镍、铜的显色条件，建立了同时测定水系沉积物中钴，镍，铜的分光光度法，该方法测定结果满意。     

环境水样中氰化物测定的预处理体系的研究

大环境水样中测定氰化物时，需对样品进行预处理，以消除干扰。本文研究了7种预处理体系对测定结果的影响，并对八种常见金属离子氰络合物的离散效率进行了实验，提出了实际可采用的预处理体系，并探讨了预处理体系中氰络合物的离解机理。     

硬铝合金LY11、LY12中铜的快速测定

介绍了酸溶解碘量法代替碱溶解，过滤分离铜、锰、镁三元素连测法测定硬铝合金中铜的单项检测。     

一种新型CdTe量子点关于测定铜离子的研究

本文以半胱氨酸和谷胱甘肽为稳定剂,在温和条件下制备了cdTe半导体量子点(或称纳米晶),基于荧光淬灭原理,实现了对Cu2+的定量检测.系统考察了影响量子点光学性质的各种因素,在pH值为6.2的磷酸盐缓冲溶液中,量子点的浓度(以Cd2+计)为1.013×10-4mol/L时,此方法对浓度在2-260μg/L范围内的Cu2+淬灭程度呈很好的线性关系,该方法的检出限为0.15 μ g/L.在同类方法中,目前尚无如此低的检出限和如此宽的线性响应区间.最后对这种新型量子点监测的高灵敏度的原因和淬灭机理进行了初步推测.     

铜抛光液中缓蚀剂5-氨基四唑(ATA)的作用机制研究

采用静态腐蚀实验、接触角测试、XPS等手段,比较在不同pH值下抛光液中缓蚀剂(5-氨基四唑(ATA),苯并三唑(BTA))对铜表面化学机械抛光(CMP)的影响,并探讨ATA在铜表面的作用机制。结果表明,BTA和ATA是优良的铜缓蚀剂,当pH值为3～10时,两者可在铜表面成膜,保护铜表面不受腐蚀,从而降低铜片的静态腐蚀速率和去除率,其中当pH=4时,2种缓蚀剂表现出最佳的缓蚀性能。当pH值为3～5时,ATA的缓蚀性能优于BTA。ATA通过四唑环上的N原子和氨基上的N原子吸附在铜表面,形成保护膜,从而抑制了H2O2对铜表面的腐蚀,改善了表面质量,是一种优良的适用于酸性铜抛光液的缓蚀剂。     

亚微米铜薄膜界面结合强度的测定

基于薄膜／基体界面结合强度对膜基体系的使用效果有直接影响，采用压痕法测定了1Cr18Ni9Ti钢基材表面物理气相沉积铜薄膜的界面结合强度，并通过分析界面处的受力情况，建立相应的数学模型计算出界面结合力。     

湖泊总磷测定中样品预处理的探讨

总磷包括所有的正磷酸盐和缩合磷酸盐,既包括溶解的和颗粒的,也包括有机的和无机的;为把有机物结合的磷分离出来,要进行消化和氯化。因为磷可以与有机物结合存在,测定总磷的样品必须经过预处理消化才能有效地氧化有机物,而把磷释放出来成正磷酸盐。《水和废水监测分...     

不同消解方法对番茄粉中铜的测定结果研究

干法灰化和湿法消解是无机元素测定中使用的两种传统处理方法。番茄粉样品使用此两种方法处理后的消解液,使用火焰原子吸收光谱法测定其铜的含量。将两种处理后的测定结果使用数学统计方法进行了检验,经F检验和T检验的检验结果表明：两种前处理所得结果的精密度和准确度是相一致的,即两种前处理方法对番茄粉样品中铜的测定结果无显著性差异。     

火焰原子吸收法对食模中铜,锌,铁的快速测定

首先用强氧化剂（ＨＮＯ３－ＨＣｌＯ４）对样品进行预处理,然后定容至一定刻度,在相应最佳条件下,分别测定Ｃｕ、Ｚｎ、Ｆｅ,根据吸收值与含量成正比,用标准溶液上值绘制标准曲线,从而比较出样品中该物质的含量。     

石墨粉表面化学镀铜工艺研究

用化学镀的方法在石墨粉表面镀覆铜层，以解决Cu／C受电弓滑板制造中的界面问题并提高其综合性能。试验结果表明，采用优化工艺可以得到平均厚度约7.lμm的镀铜层，改善了铜碳界面的相溶性。另外还论述了预处理过程以及主盐、还原剂、温度、装载量对施镀过程的影响。     

离子色谱法测定环境空气中氯化氢

用离子色谱法测定环境空气样品中的氯化氢，建立了该空气样品的氯化氢采集和离子色谱分析的条件，并将该分析方法与常用的硫氰酸汞分光光度法相比，具有操作简便、快速、灵敏度高的特点。在实际样品进行测定中，加标回收率和标准相对偏差均符合质量控制要求，是一种简便、准确、有效的方法。